一种智能化防水镀膜装置的制造方法

文档序号:10844657阅读:319来源:国知局
一种智能化防水镀膜装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种智能化防水镀膜装置,包括密封盖和蓄电池,所述密封盖安装在外壳体的上方,且密封盖的上方设置有太阳能电池板,所述外壳体的内部设置有真空腔,所述真空腔的内部设置有镀膜基片,所述镀膜基片的下方设置有防水镀膜靶材,所述防水镀膜靶材的下方设置有高能激光溅射装置,所述紫外线消毒装置的下方设置有自动检修装置,所述外壳体的前方设置有控制面板。本实用新型一种智能化防水镀膜装置操作安全方便,可对溅射速率进行调控,以保证镀膜的均匀性与适宜厚度,增加镀膜成功率,且可进行清洁杀菌,出现基本故障时故障指示灯自动亮起进行提示,自动检修装置发送报告进行检修。
【专利说明】
一种智能化防水镀膜装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及智能化防水镀膜装置技术领域,具体为一种智能化防水镀膜装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点一岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。传统真空镀膜机密封性不好,不易检修,清洁不到位,不易控制镀膜的均匀度。
[0003]因此我们提出一种智能化防水镀膜装置。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种智能化防水镀膜装置,以解决上述【背景技术】中提出的传统真空镀膜机易控制镀膜的均匀度的问题。
[0005]为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种智能化防水镀膜装置,包括密封盖和蓄电池,所述密封盖安装在外壳体的上方,且密封盖的上方设置有太阳能电池板,所述外壳体的内部设置有真空腔,所述真空腔的内部设置有镀膜基片,所述镀膜基片的下方设置有防水镀膜靶材,所述防水镀膜靶材的下方设置有高能激光溅射装置,所述高能激光溅射装置上设置有溅射速率调控装置,且高能激光溅射装置的右侧设置有紫外线消毒装置,所述紫外线消毒装置的下方设置有自动检修装置,所述外壳体的前方设置有控制面板,所述蓄电池安装在外壳体的下方,所述蓄电池的右侧设置有真空抽气栗,所述外壳体的底部设置有万向自锁轮,所述高能激光溅射装置、蓄电池、紫外线消毒装置、溅射速率调控装置和真空抽气栗均与控制面板电性连接。
[0006]优选的,所述外壳体为圆柱体结构。
[0007]优选的,所述自动检修装置上设置有故障指示灯,且自动检修装置与故障指示灯电性连接。
[0008]优选的,所述控制面板上设置有液晶显示屏和控制按钮,且液晶显示屏和控制按钮均与控制面板电性连接。
[0009]优选的,所述万向自锁轮共设置有四个,且四个万向自锁轮均匀安装在外壳体的底部的四个拐角处。
[0010]与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型一种智能化防水镀膜装置结构科学合理,操作安全方便,该装置内置溅射速率调控装置,可对溅射速率进行调控,以保证镀膜的均匀性与适宜厚度,增加镀膜成功率,且增添的紫外线消毒装置可进行清洁杀菌,出现基本故障时故障指不灯自动壳起进彳丁提不,自动检修装置发送报告进彳丁检修。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型一种智能化防水镀膜装置的结构示意图;
[0012]图2为本实用新型一种智能化防水镀膜装置的控制面板的结构示意图。
[0013]图中:1_太阳能电池板、2-密封盖、3-镀膜基片、4-真空腔、5-外壳体、6-防水镀膜靶材、7-高能激光溅射装置、8-蓄电池、9-控制面板、91-液晶显示屏、92-控制按钮、10-紫外线消毒装置、11-溅射速率调控装置、12-自动检修装置、121-故障指示灯、13-真空抽气栗、14-万向自锁轮。
【具体实施方式】
[0014]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0015]请参阅图1和图2,本实用新型提供一种智能化防水镀膜装置技术方案:一种智能化防水镀膜装置,包括密封盖2和蓄电池8,密封盖2安装在外壳体5的上方,且密封盖2的上方设置有太阳能电池板I,外壳体5的内部设置有真空腔4,真空腔4的内部设置有镀膜基片3,镀膜基片3的下方设置有防水镀膜靶材6,防水镀膜靶材6的下方设置有高能激光溅射装置7,高能激光溅射装置7上设置有溅射速率调控装置11,且高能激光溅射装置7的右侧设置有紫外线消毒装置10,紫外线消毒装置10的下方设置有自动检修装置12,外壳体5的前方设置有控制面板9,蓄电池8安装在外壳体5的下方,蓄电池8的右侧设置有真空抽气栗13,外壳体5的底部设置有万向自锁轮14,高能激光溅射装置7、蓄电池8、紫外线消毒装置10、溅射速率调控装置11和真空抽气栗13均与控制面板9电性连接。
[0016]外壳体5为圆柱体结构,其结构科学合理。自动检修装置12上设置有故障指示灯121,且自动检修装置12与故障指不灯121电性连接,有故障时故障指不灯121会壳起提不。控制面板9上设置有液晶显示屏91和控制按钮92,且液晶显示屏91和控制按钮92均与控制面板9电性连接,通过控制面板9上的控制按钮92控制高能激光溅射装置7、蓄电池8、紫外线消毒装置10、溅射速率调控装置11和真空抽气栗13,并将信息反馈在液晶显示屏91上。万向自锁轮14共设置有四个,且四个万向自锁轮14均匀安装在外壳体5的底部的四个拐角处,达到方便移动,有效稳定机体,防止机体震颤,增加安全系数的效果。
[0017]工作原理:本实用新型安装好过后,接通电源打开开关,打开密封盖2,放入镀膜基片3,即需被镀膜的物品,启动高能激光溅射装置7,通过溅射速率调控装置11以控制镀膜的厚度,高能激光轰击防水镀膜靶材6,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在镀膜基片3的表面,经历成膜过程,最终形成薄膜,完成整个镀膜过程,其中紫外线消毒装置10进行杀菌消毒,真空抽气栗13保证真空环境。
[0018]尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
【主权项】
1.一种智能化防水镀膜装置,包括密封盖(2)和蓄电池(8),其特征在于:所述密封盖(2)安装在外壳体(5)的上方,且密封盖(2)的上方设置有太阳能电池板(1),所述外壳体(5)的内部设置有真空腔(4),所述真空腔(4)的内部设置有镀膜基片(3),所述镀膜基片(3)的下方设置有防水镀膜靶材(6),所述防水镀膜靶材(6)的下方设置有高能激光溅射装置(7),所述高能激光溅射装置(7)上设置有溅射速率调控装置(11),且高能激光溅射装置(7)的右侧设置有紫外线消毒装置(10),所述紫外线消毒装置(10)的下方设置有自动检修装置(12),所述外壳体(5)的前方设置有控制面板(9),所述蓄电池(8)安装在外壳体(5)的下方,所述蓄电池(8)的右侧设置有真空抽气栗(13),所述外壳体(5)的底部设置有万向自锁轮(14),所述高能激光溅射装置(7)、蓄电池(8)、紫外线消毒装置(10)、溅射速率调控装置(11)和真空抽气栗(13)均与控制面板(9)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种智能化防水镀膜装置,其特征在于:所述外壳体(5)为圆柱体结构。3.根据权利要求1所述的一种智能化防水镀膜装置,其特征在于:所述自动检修装置(12)上设置有故障指示灯(121),且自动检修装置(12)与故障指示灯(121)电性连接。4.根据权利要求1所述的一种智能化防水镀膜装置,其特征在于:所述控制面板(9)上设置有液晶显示屏(91)和控制按钮(92),且液晶显示屏(91)和控制按钮(92)均与控制面板(9)电性连接。5.根据权利要求1所述的一种智能化防水镀膜装置,其特征在于:所述万向自锁轮(14)共设置有四个,且四个万向自锁轮(14)均匀安装在外壳体(5)的底部的四个拐角处。
【文档编号】C23C14/34GK205529008SQ201620069883
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年1月26日
【发明人】闫都伦, 唐贵民, 王克斌
【申请人】深圳新南亚技术开发有限公司
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