溅镀防着板降低peeling结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型是溅镀防着板降低peeling结构，其特征是防着板1的纵向设A加强肋2，防着板1的横向设B加强肋3。本实用新型的优点：利用A加强肋2、B加强肋3的材料拉伸、压缩屈服强度抵抗防着板1的变形。避免防着板1表面附着的膜层断裂、peeling。防着板自身的抵抗变形强度得到增强。
【专利说明】
溅镀防着板降低pee I ing结构
技术领域
[0001]本实用新型是溅镀防着板降低peeling结构，属于溅镀结构技术领域。
【背景技术】
[0002]物理气相沉积(Physical Vapor Deposit1n，PVD)技术，指在真空条件下，使用物理的方式将材料源气化为气态分子、原子或离子，通过低压气体或离子体过程在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。从开始气态到最终沉积的过程中，材料源气态化后除了在目标基体表面附着外，还有一部分会附着在其周围所有表面。为避免此现象，使用防着板(shield)将需要保护的表面覆盖，以减少附着沉积，使用一定寿命后，更换新防着板。
[0003]因溅镀过程中，材料源target随机方向溅射，为保护腔体内其他结构件避免附着、沉积膜层，需使用防着板覆盖。但防着板沉积膜层厚度增加后，因膜层的应力增加，导致膜层变形、断裂，形成发尘，导致腔体环境受污染，易形成不良品，如pinhole、异物等，也减少了防着板的使用寿命。
[0004]在防着板表面膜层累积到一定量(厚度)，因不同膜层应力、气化或等离子体过程中产生的热效应，膜层将与防着板剥离(peeling)，成为发尘源，污染真空环境，形成镀膜不良。
[0005]现有技术，为增加膜层与防着板之间的附着力，目前主要有两种解决方案:
[0006]1.防着板表面进行一定粒径、氧化铝等材质的喷砂处理，增加表面粗糙度；
[0007]2.防着板表面变形处理，增加凸起、凹陷等阵列，增加相对表面积，以期累积更多膜层。
[0008]上述二种解决方案在初期都可以发挥良好的附着效果，但随着镀膜过程的持续进行，膜层厚度的沉积不均，以及气态化或离子化伴随的热效应，防着板会发生变形，变形量与膜层厚度、防着板自身的尺寸都呈正相关性，将导致本来附着的膜层发生断裂、脱落，成为发尘源，影响良品率。
【实用新型内容】
[0009]本实用新型提出的是一种溅镀防着板降低peeling结构，其目的旨在克服现有技术所存在的上述缺陷，降低并改善防着板变形量。
[0010]本实用新型的技术方案:溅镀防着板降低peeling结构，其特征是在
[0011]防着板I的纵向设A加强肋2，防着板I的横向设B加强肋3。
[0012]本实用新型的优点:利用A加强肋、B加强肋的材料拉伸、压缩屈服强度抵抗防着板的变形;避免防着板表面附着的膜层断裂、peeling。防着板自身的抵抗变形强度得到增强。
【附图说明】
[0013]附图1是溅镀防着板降低peeling结构示意图。
[0014]图中的I是防着板、2是A加强肋、3是B加强肋。
【具体实施方式】
[0015]如图1所示，溅镀防着板降低peeling结构，其特征是在防着板I的纵向设A加强肋2，防着板I的横向设B加强肋3。
【主权项】
1.溅镀防着板降低peeling结构，其特征是防着板的纵向设A加强肋，防着板的横向设B加强肋。
【文档编号】C23C14/34GK205529010SQ201620214852
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年3月21日
【发明人】朱廷, 张飞, 闵淼淼, 朱子寰, 黎凤燕, 钟义顺, 陈长增, 石博平
【申请人】南京中电熊猫液晶材料科技有限公司