镀膜机膜厚分布修正结构的制作方法
【专利摘要】镀膜机膜厚分布修正结构，包括修正板，所述修正板连接横杆，该横杆通过连接块连接立柱，横杆与立柱垂直设置，立柱安装在镀膜箱体的底部，调整位置使得修正板位于镀膜坩埚的上方；所述镀膜箱体的顶部设有挂具板，挂具板通过连杆连接滚轮，滚轮连接行星盘，行星盘上夹固反光镜；该镀膜机膜厚分布修正结构采用修正板置于蒸发源和被镀光学元件之间，以改变工作室中膜厚分布，使工件盘各个位置上的膜厚达到均匀的要求，解决镀膜工作室中膜厚分布不均匀的技术问题，解决三元或多元行星盘上的反光镜片不能有很好的膜层均匀性的问题，具有工艺简单、方便可靠等优点，值得大力推广。
【专利说明】
镀膜机膜厚分布修正结构
技术领域
[0001]本实用新型涉及镀膜加工设备领域，尤其是一种镀膜机膜厚分布修正结构。
【背景技术】
[0002]镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。现有的镀膜机工作室中存在着膜厚分布不均匀这一关键性的技术问题，对于要求很高的光学薄膜元件，常因膜厚均匀性不佳而不能使用，大大降低了光学薄膜元件的质量和成品率，特别是三元或多元行星盘上的反光镜片不能有很好的膜层均匀性，在膜厚没有修正的情况下，镜片左右两边的膜厚是不均匀的，这样的反光镜使用的话照射出来的光就会是五颜六色的，这样的产品根本是不能使用的。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型旨在提供一种采用修正板置于蒸发源和被镀光学元件之间，以改变工作室中膜厚分布，使工件盘各个位置上的膜厚达到均匀的要求的镀膜机膜厚分布修正结构。
[0004]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:镀膜机膜厚分布修正结构，包括修正板，所述修正板连接横杆，该横杆通过连接块连接立柱，横杆与立柱垂直设置，立柱安装在镀膜箱体的底部，修正板位于镀膜坩祸的上方。
[0005]作为本实用新型的进一步方案:所述修正板整体呈弧形。
[0006]作为本实用新型的进一步方案:所述修正板的材料为不锈钢板。
[0007]作为本实用新型的进一步方案:所述镀膜箱体的顶部设有挂具板，挂具板通过连杆连接滚轮，滚轮连接行星盘，行星盘上夹固反光镜。
[0008]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:该镀膜机膜厚分布修正结构采用修正板置于蒸发源和被镀光学元件之间，以改变工作室中膜厚分布，使工件盘各个位置上的膜厚达到均匀的要求，解决镀膜工作室中膜厚分布不均匀的技术问题，解决三元或多元行星盘上的反光镜片不能有很好的膜层均匀性的问题，具有工艺简单、方便可靠等优点，值得大力推广。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的整体不意图；
[0010]图2为本实用新型的正视图；
[0011]图3为本实用新型的侧视图。
【具体实施方式】
[0012]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0013]请参阅图1-3，本实用新型实施例中，镀膜机膜厚分布修正结构，包括修正板I，所述修正板I连接横杆2，该横杆2通过连接块3连接立柱4，横杆2与立柱4垂直设置，立柱4安装在镀膜箱体5的底部，调整位置使得修正板I位于镀膜坩祸6的上方;所述镀膜箱体5的顶部设有挂具板21，挂具板21通过连杆连接滚轮22，滚轮22连接行星盘23，行星盘23上夹固反光镜24。
[0014]修正板I的制作:在制作修正板I的过程中，是一个不断修剪的过程:刚开始剪一个初始的长方形板，把板弯成和轨道一样的弧度，然后镀制一个中心波长550NM的7层膜，测试镜片两边的波长是在55(MM的前面还是后面，如果波长向前了，就是把靠近修正板I的边剪去5mm，反之，则在修正板I上加5mm的薄铝片，然后再同样镀膜这样的一炉，再测镜片两边的波长，再修剪修正板I，直到镜片两边的波长都在550NM，这时把修正板I取下来，用一张新的不锈钢板剪成反复修剪的后的修正板I，这样的修正板I就能够正常使用了，不同的产品可能会用到不同的修正板I，每次用这个方法找到正确的修正板I后，作好标记，就可以在镀什么产品时用相对应的修正板I了，减去繁复的工作。
[0015]修正板I的作用就是去解决镀膜工作室中膜厚分布不均匀这一关键性的技术问题，我们采用截流蒸气云静止挡板技术，来消除膜厚分布的不均匀性，该项技术就是采用特定形状的静止挡板，置于蒸发源和被镀光学元件之间，以改变工作室中膜厚分布，使工件盘各个位置上的膜厚达到均匀的要求，该技术具有工艺简单、方便可靠等优点。
[0016]对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0017]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
【主权项】
1.镀膜机膜厚分布修正结构，包括修正板(I)，其特征在于，所述修正板(I)连接横杆(2)，该横杆(2)通过连接块(3)连接立柱(4)，横杆(2)与立柱(4)垂直设置，立柱(4)安装在镀膜箱体(5)的底部，修正板(I)位于镀膜坩祸(6)的上方。2.根据权利要求1所述的镀膜机膜厚分布修正结构，其特征在于，所述修正板(I)整体呈弧形。3.根据权利要求1所述的镀膜机膜厚分布修正结构，其特征在于，所述修正板(I)的材料为不锈钢板。4.根据权利要求1所述的镀膜机膜厚分布修正结构，其特征在于，所述镀膜箱体(5)的顶部设有挂具板(21)，挂具板(21)通过连杆连接滚轮(22)，滚轮(22)连接行星盘(23)，行星盘(23)上夹固反光镜(24)。
【文档编号】C23C14/54GK205529023SQ201620124700
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年2月17日
【发明人】朱文斌
【申请人】苏州灵菱照明镀膜科技有限公司