一种升降转动定位装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种升降转动定位装置，包括有四个支撑架以及位于支撑架上的上面板，上面板中设置有腔体，腔体包括有上盖，腔体的一端设置有支撑管，支撑管通过焊接板组件与上盖相连，支撑管的上端设置有轴套，其中，在轴套上设置有卡环法兰，卡环法兰上设置有定位块，定位块中设置有定位孔，在焊接板组件上设置一个定位螺栓，所述定位螺栓与定位孔相匹配。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：与现行设备相比，增加上盖转动定位装置以后，设备操作过程安全、灵活，可控程度高。
【专利说明】
一种升降转动定位装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及机械加工技术领域，具体为一种升降转动定位装置。
【背景技术】
[0002]生产用的小型真空镀膜设备和科研用的真空镀膜设备一般以三靶磁控溅射镀膜机、多弧离子镀膜机、电子束镀膜机、化学气相沉积(CVD)镀膜设备和等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)镀膜设备为主。
[0003]以上镀膜设备或采用侧开门式，或采用上开门式，其中上开门又有上盖升降式和掀盖式两种。现阶段通用的上盖升降式设备则只有升降定位和升降过程中防转动定位，对上盖没有任何相关的装置，在上盖下降过程中，还需要一个操作人员一直用手操作将上盖与设备腔体对准。这是一个比较危险的过程，很容易夹伤手指，而且上盖与腔体对准的精度也取决于操作人员的眼力和反应灵敏度。
[0004]为避免上述情况的发生及提高设备的可控性，发明人根据在实际操作中的经验，提出了解决问题的方案。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种升降转动定位装置，以解决上述【背景技术】中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:一种升降转动定位装置，包括有四个支撑架以及位于支撑架上的上面板，上面板中设置有腔体，腔体包括有上盖，腔体的一端设置有支撑管，支撑管通过焊接板组件与上盖相连，支撑管的上端设置有轴套，其中，在轴套上设置有卡环法兰，卡环法兰上设置有定位块，定位块中设置有定位孔，在焊接板组件上设置一个定位螺栓，所述定位螺栓与定位孔相匹配。
[0007]优选的，所述支撑管为可升降的。
[0008]优选的，所述支撑管的下端设置有定位板。
[0009]—种升降转动定位装置，其中，定位螺栓上设置有转轴。
[0010]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0011 ]与现行设备相比，增加上盖转动定位装置以后，设备操作过程安全、灵活，可控程度高。
【附图说明】
[0012]图1是上盖升降式设备立体图；
[0013]图2是上盖升降定位与转动防滑立体图；
[0014]图3是上盖示意图；
[0015]图4是本实用新型侧视图。
【具体实施方式】
[0016]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0017]如图1、图2、图3和图4所示，一种升降转动定位装置，包括有四个支撑架以及位于支撑架上的上面板，上面板中设置有腔体3，腔体3包括有上盖4，腔体3的一端设置有支撑管7，支撑管7通过焊接板组件5与上盖4相连，支撑管的上端设置有轴套6，其中，在轴套6上设置有卡环法兰14，卡环法兰上设置有定位块，定位块中设置有定位孔，在焊接板组件5上设置一个定位螺栓15，所述定位螺栓15与定位孔相匹配。
[0018]作为本实用新型一个优选的实施例，所述支撑管7为可升降的。
[0019]作为本实用新型一个优选的实施例，所述支撑管7的下端设置有定位板9。
[0020]一种升降转动定位装置，其中，定位螺栓上设置有转轴20。
[0021]如图1所示，在设备支撑架I一侧，安装有两块定位板9，板上装有行程开关10，升降管7上安装有接触块16。如图4所示，升降管7顶部有轴套6，轴套6内有轴承17;如图3所示，上盖4通过焊接板组件5和转轴20连接;在图4中，转轴20穿过轴承17内环。当提升电机11的螺杆转动时，通过法兰螺母18会带动升降管7做轴向运动，当接触块16和行程开关10触碰时，控制系统采集到信号，可以对上盖4的运动状态加以控制。
[0022]如图2所示，在升降管7管壁加工有狭缝，狭缝的长度比上盖4的升降高度略长;在固定套管8管壁安装有定位螺栓15，通过定位螺栓15与狭缝的配合，可以避免升降管7升降过程中在固定套管8转动打滑的情形出现。
[0023]在图3和图4中，可以看到焊接板组件5上安装有定位螺栓19。如图4所示，升降管7端部有卡环法兰14，卡环法兰14上固定有定位块13，定位块13上有一定位孔。在设备整体组装时，腔体3、上盖4、焊接板组件5和转轴20以及升降管7的位置如图1所示，可以调整升降管7端部卡环法兰14的位置，将定位螺栓19底部穿过定位块13上的定位孔，这时上盖4就处于和腔体3对准的固定态。在使用设备时，上盖4提升到预定高度后，就可以松动定位螺栓19，使其脱出定位块13上的定位孔，这时上盖4就处于可以转动的自由态，转动到合适的角度，就可以对腔体3内部或上盖4进行一系列操作。操作实施完毕，再将上盖4转动到原处，将定位螺栓19底部穿过定位块13上的定位孔，上盖4又处于固定态(即和腔体3对准)。当升降管7下降时，可自动完成和腔体3的对接密封。
[0024]和现行设备相比，本设备在上盖4下降前，就通过定位螺栓19和定位块13的作用关系与腔体3完成了对准;而非传统的在下降过程中依靠操作人员手动对准的方式。不仅操作简单方便、安全性也高，而且节省了一个人力。
[0025]对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0026]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
【主权项】
1.一种升降转动定位装置，包括有四个支撑架以及位于支撑架上的上面板，上面板中设置有腔体，腔体包括有上盖，腔体的一端设置有支撑管，支撑管通过焊接板组件与上盖相连，支撑管的上端设置有轴套，其特征在于，在轴套上设置有卡环法兰，卡环法兰上设置有定位块，定位块中设置有定位孔，在焊接板组件上设置一个定位螺栓，所述定位螺栓与定位孔相匹配。2.根据权利要求1所述的一种升降转动定位装置，其特征在于，所述支撑管为可升降的。3.根据权利要求1所述的一种升降转动定位装置，其特征在于，支撑管的下端设置有定位板。4.根据权利要求1所述的一种升降转动定位装置，其特征在于，定位螺栓上设置有转轴。
【文档编号】C23C16/00GK205556760SQ201620216457
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年3月21日
【发明人】杨元才, 林晨, 谭新, 郑战伟, 钱鹏亮, 朱振东, 周通
【申请人】上海福宜真空设备有限公司