金属手机外壳的真空镀膜装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及镀膜装置技术领域，特指金属手机外壳的真空镀膜装置，包括有真空室、旋转台、气体捕集器、智能控制器、压力调节组件，旋转台上设有内溅射靶和内圈加热器，真空室的内侧壁上设有与内溅射靶对应的外溅射靶和外圈加热器，本实用新型利用气体捕集器可以加快抽真空的速率，可以有效去除杂质气体，使真空度达到更低的水平，并且真空室内设有压力传感器、温度传感器，气体捕集器、内圈加热器、外圈加热器、压力传感器、温度传感器、压力调节组件分别与智能控制器电连接形成闭环智能控制系统，能够自动控制真空室内的温度和压力，精度高，提高产品镀膜的质量。
【专利说明】
金属手机外壳的真空镀膜装置
技术领域
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[0001 ]本实用新型涉及镀膜装置技术领域，特指金属手机外壳的真空镀膜装置。
【背景技术】
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[0002]真空镀膜技术，即在高真空条件下，通过蒸馏或溅射等方式在工件表面沉积各种金属和非金属薄膜。其中，真空度对于薄膜的性能起到至关重要的影响，特别是金属膜层。现有的真空镀膜装置在使用一段时间后，按照现有的真空镀膜方法，其抽空性能大大降低，从而导致生产效率严重下降，并且制出的膜层附着力差，膜层不够致密等缺陷。
【实用新型内容】:
[0003]本实用新型的目的就是针对现有技术存在的不足而提供一种真空度高、抽真空耗时短、镀膜效果好的金属手机外壳的真空镀膜装置。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是:金属手机外壳的真空镀膜装置，包括有真空室、转动设置在真空室内腔底部的旋转台、设置在真空室中央的气体捕集器、设置在真空室外部的智能控制器、用于控制真空室内部压力的压力调节组件，旋转台上设有内溅射靶和内圈加热器，真空室的内侧壁上设有与内溅射靶对应的外溅射靶和外圈加热器，真空室内设有压力传感器、温度传感器，压力调节组件包括有与真空室连通的压力调节管路、压力控制阀、截止阀和真空栗，压力控制阀、截止阀和真空栗依次连接在压力调节管路上，气体捕集器、内圈加热器、外圈加热器、压力传感器、温度传感器、压力控制阀、截止阀和真空栗分别与智能控制器电连接。
[0005]所述旋转台周缘沿周向均匀分布有若干内溅射靶以及若干内圈加热器，在真空室的内侧壁上沿周向均匀分布有若干与内溅射靶对应的外溅射靶以及若干外圈加热器，在内溅射靶和外溅射靶之间设有工件悬挂件。
[0006]所述内圈加热器位于内溅射靶内侧，外圈加热器位于内溅射靶外侧。
[0007]所述真空室底部设置有振动器。
[0008]所述真空室上设有与真空室连通的进气管，进气管上设有进气阀门。
[0009]本实用新型有益效果在于:本实用新型提供的金属手机外壳的真空镀膜装置，包括有真空室、转动设置在真空室内腔底部的旋转台、设置在真空室中央的气体捕集器、设置在真空室外部的智能控制器、用于控制真空室内部压力的压力调节组件，旋转台上设有内溅射靶和内圈加热器，真空室的内侧壁上设有与内溅射靶对应的外溅射靶和外圈加热器，本实用新型利用气体捕集器可以加快抽真空的速率，可以有效去除杂质气体，使真空度达到更低的水平，其抽真空效率高，耗时短，并且形成膜层附着力好，并且膜层致密;并且真空室内设有压力传感器、温度传感器，压力调节组件包括有与真空室连通的压力调节管路、压力控制阀、截止阀和真空栗，压力控制阀、截止阀和真空栗依次连接在压力调节管路上，气体捕集器、内圈加热器、外圈加热器、压力传感器、温度传感器、压力控制阀、截止阀和真空栗分别与智能控制器电连接形成闭环智能控制系统，能够自动控制真空室内的温度和压力，精度高，提高产品镀膜的质量，可以在需要真空室快速达到适当的真空度时，连通真空室和压力调节组件，从而使真空室能够尽快地达到所需要的真空值。
【附图说明】
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[0010]图1是本实用新型的结构示意图。
[0011]图2是本实用新型真空室的内部结构示意图。
【具体实施方式】
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[0012]下面结合附图对本实用新型作进一步的说明，见图1?2所示，本实用新型包括有真空室1、转动设置在真空室I内腔底部的旋转台2、设置在真空室I中央的气体捕集器3、设置在真空室I外部的智能控制器4、用于控制真空室I内部压力的压力调节组件，旋转台2上设有内溅射靶5和内圈加热器6，真空室I的内侧壁上设有与内溅射靶5对应的外溅射靶7和外圈加热器8，气体捕集器3可以加快抽真空的速率，大大缩短抽真空时间，特别是对于杂质气体有很好的捕集作用。将气体捕集器3设置在真空室I的中央，远离内溅射靶5、外溅射靶7以及工件，可以避免气体捕集器3的低温对靶材以及工件的影响。
[0013]本实用新型利用气体捕集器3可以加快抽真空的速率，可以有效去除杂质气体，使真空度达到更低的水平，其抽真空效率高，耗时短，并且形成膜层附着力好，并且膜层致密；并且真空室I内设有压力传感器9、温度传感器10，压力调节组件包括有与真空室I连通的压力调节管路11、压力控制阀12、截止阀13和真空栗14，压力控制阀12、截止阀13和真空栗14依次连接在压力调节管路11上，气体捕集器3、内圈加热器6、外圈加热器8、压力传感器9、温度传感器10、压力控制阀12、截止阀13和真空栗14分别与智能控制器4电连接形成闭环智能控制系统，能够自动控制真空室I内的温度和压力，精度高，提高产品镀膜的质量，可以在需要真空室I快速达到适当的真空度时，连通真空室I和压力调节组件，从而使真空室I能够尽快地达到所需要的真空值。
[0014]旋转台2周缘沿周向均匀分布有若干内溅射靶5以及若干内圈加热器6，在真空室I的内侧壁上沿周向均匀分布有若干与内溅射靶5对应的外溅射靶7以及若干外圈加热器8，在内溅射靶5和外溅射靶7之间设有工件悬挂件。内圈加热器6位于内溅射靶5内侧，外圈加热器8位于内派射革巴5外侧。
[0015]真空室I底部设置有振动器15，用于使真空室I振动，该振动可以是周期性也可以是非周期性的，当真空室I振动时，可以使沉积于真空室I的侧壁上的沉积物剥离，从而进一步方便了对真空室I的清理。真空室I上设有与真空室I连通的进气管16，进气管16上设有进气阀门17。
[0016]当然，以上所述仅是本实用新型的较佳实施方式，故凡依本实用新型专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均包括于本实用新型专利申请范围内。
【主权项】
1.金属手机外壳的真空镀膜装置，其特征在于:包括有真空室(I )、转动设置在真空室(I)内腔底部的旋转台(2)、设置在真空室(I)中央的气体捕集器(3)、设置在真空室(I)外部的智能控制器(4)、用于控制真空室(I)内部压力的压力调节组件，旋转台(2)上设有内溅射靶(5)和内圈加热器(6)，真空室(I)的内侧壁上设有与内溅射靶(5)对应的外溅射靶(7)和外圈加热器(8)，真空室(I)内设有压力传感器(9)、温度传感器(10)，压力调节组件包括有与真空室(I)连通的压力调节管路(11)、压力控制阀(12)、截止阀(13)和真空栗(14)，压力控制阀(12)、截止阀(13)和真空栗(14)依次连接在压力调节管路(11)上，气体捕集器(3)、内圈加热器(6)、外圈加热器(8)、压力传感器(9)、温度传感器(10)、压力控制阀(12)、截止阀(13)和真空栗(14)分别与智能控制器(4)电连接。2.根据权利要求1所述的金属手机外壳的真空镀膜装置，其特征在于:所述旋转台(2)周缘沿周向均匀分布有若干内溅射靶(5)以及若干内圈加热器(6)，在真空室(I)的内侧壁上沿周向均匀分布有若干与内溅射靶(5)对应的外溅射靶(7)以及若干外圈加热器(8)，在内溅射靶(5)和外溅射靶(7)之间设有工件悬挂件。3.根据权利要求2所述的金属手机外壳的真空镀膜装置，其特征在于:所述内圈加热器(6)位于内溅射靶(5)内侧，外圈加热器(8)位于内溅射靶(5)外侧。4.根据权利要求1所述的金属手机外壳的真空镀膜装置，其特征在于:所述真空室(I)底部设置有振动器(15)。5.根据权利要求1所述的金属手机外壳的真空镀膜装置，其特征在于:所述真空室(I)上设有与真空室(I)连通的进气管(16)，进气管(16)上设有进气阀门(17)。
【文档编号】C23C14/56GK205556767SQ201620148815
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年2月26日
【发明人】肖猷坤
【申请人】深圳市梦之坊通信产品有限公司