一种掩膜板的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种掩膜板，包括多个掩膜条和安装框架，多个掩膜条经过拉伸后安装于安装框架上，每个掩膜条的掩膜单元包括有效开口区和两个空置区，有效开口区内设置有掩膜开口，两个空置区分别设置在有效开口区的沿垂直于拉伸方向的两侧且靠近有效开区，空置区内设置有空置开口，掩膜开口的轮廓形状与空置开口的轮廓形状不同，且二者在拉伸过程中产生的应力能够相互补偿。本实用新型提供的掩膜板，可改善掩膜条在拉伸过程中的卷曲现象，从而可改善掩膜单元边缘shadow效应，进而改善显示面板在蒸镀时出现边缘混色不良的情况，从而增加产品良率。
【专利说明】
一种掩膜板
技术领域
[0001 ]本实用新型属于OLED显示技术领域，具体涉及一种掩膜板。
【背景技术】
[0002]有机电致发光(OLED,Organic Light-Emitting D1de)器件具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴的应用技术。在OLED技术中，真空蒸镀中的掩膜板技术是一项非常重要和关键的技术，OLED有机蒸镀膜的技术是利用高精度掩膜板作为模具，有机材料高温挥发后以材料分子状态透过掩膜板上的有效开口区内的掩膜开口蒸镀到背板玻璃上，作为有机发光层，用于实现有机发光。其中，蒸镀使用的掩膜板一般包括掩膜条和安装框架，具体地，在将每个掩膜条通过夹具拉伸调整到其参数满足要求后，将其贴合并固定到安装框架的表面。
[0003]其中，请一并参阅图1、图1-1和图1-2，每个掩膜条I上设置有多个掩膜单元11(cell)，每个掩膜单元11包括有效开口区和两个空置区(可称为dummy区)，有效开口区内设置有掩膜开口 11a，两个空置区分别设置在有效开口区的沿垂直于拉伸方向的两侧且靠近有效开口区，空置区内设置有空置开口 lib。
[0004]如图1-1所示，其示出了一种现有技术中的掩膜条的掩膜单元的示意图。图1-1中的掩膜条I，其有效开口区的掩膜开口 I Ia和空置区的空置开口 I Ia的轮廓形状均为孔状(即，该掩膜条为slot型掩膜条)。然而，在使用由图1-1所示的掩膜条I构成的掩膜板的过程中发现:在夹具拉伸调整过程中，掩膜条I的边缘会出现向下卷曲的现象(如图1-2所示)，且拉伸力越大卷曲变形现象越严重，该种卷曲在蒸镀时会造成掩膜单元11边缘出现shadow效应，最终会导致显示面板在蒸镀时出现边缘混色不良的情况，进而导致产品良率不高。
[0005]如图2-1所示，其示出了另一种现有技术中的掩膜条的掩膜单元的示意图。图2-1中的掩膜条I，其有效开口区的掩膜开口 Ila和空置区的空置开口 Ilb的轮廓形状为均为细条状(即，该掩膜条I为slit型掩膜条)。然而，在使用由图2-1所示的掩膜条I构成的掩膜板的过程中发现:在夹具拉伸调整过程中，当拉伸调节掩膜条I的拉力在一定范围内时，掩膜条I不会发生较大形变(如图2-2所示)；当拉力逐渐增大超过一定范围后，掩膜条I发生向上卷曲的现象(如图2-3所示)，该种卷曲同样在蒸镀时会造成掩膜单元11边缘出现shadow效应，最终会导致显示面板在蒸镀时出现边缘混色不良的情况，进而导致产品良率不高。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种掩膜板，可改善掩膜条在拉伸过程中的卷曲现象，从而可改善掩膜单元边缘shadow效应，进而改善显示面板在蒸镀时出现边缘混色不良的情况，从而增加产品良率。
[0007]本实用新型提供了一种掩膜板，包括多个掩膜条和安装框架，所述多个掩膜条经过拉伸后安装于所述安装框架上，每个所述掩膜条的掩膜单元包括有效开口区和两个空置区，所述有效开口区内设置有掩膜开口，所述两个空置区分别设置在所述有效开口区的沿垂直于拉伸方向的两侧且靠近所述有效开区，所述空置区内设置有空置开口，所述掩膜开口的轮廓形状与所述空置开口的轮廓形状不同，且二者在拉伸过程中产生的应力能够相互补偿。
[0008]优选地，所述掩膜开口的轮廓形状为孔状，所述空置开口的轮廓形状为细条状;所述空置开口的长度方向趋于拉伸方向。
[0009]优选地，所述掩膜开口的轮廓形状为细条状，所述空置开口的轮廓形状为孔状;所述掩膜开口的长度方向趋于拉伸方向。
[0010]优选地，所述空置开口的长度方向平行于拉伸方向。
[0011 ]优选地，所述掩膜开口的长度方向平行于拉伸方向。
[0012]优选地，所述有效开口区设置有多个所述掩膜开口，多个所述掩膜开口的轮廓形状和大小相同且均匀分布;所述空置区设置有多个所述空置开口，多个所述空置开口的轮廓形状和大小相同且均匀分布。
[0013]优选地，所述掩膜条采用焊接的方式固定于所述安装框架上。
[0014]优选地，每个所述掩膜条沿水平方向固定在所述安装框架上；多个所述掩膜条沿垂直方向依次紧挨设置。
[0015]优选地，所述掩膜条采用金属材料制成。
[0016]优选地，所述金属材料包括因瓦合金。
[0017]本实用新型具有以下有益效果:
[0018]本实用新型提供的掩膜板，通过设置掩膜开口的轮廓形状与空置开口的轮廓形状不同，来使二者在拉伸过程中产生的应力能够相互补偿，因而可改善掩膜条在拉伸过程中的卷曲现象，从而可改善掩膜单元cel I边缘shadow效应，进而改善显示面板在蒸镀时出现边缘混色不良的情况，从而增加产品良率。
【附图说明】
[0019]附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
[0020]图1为现有技术中的掩膜条的示意图；
[0021]图1-1为掩膜图1中的掩膜单元的一种示意图；
[0022]图1-2为图1-1所示的掩膜条在被拉伸过程中出现卷曲现象时的右视图或左视图；
[0023]图2-1为图1中的掩膜掩膜单元的另一种示意图；
[0024]图2-2为图2-1所示的掩膜条在被拉伸过程中未出现卷曲现象时的左视图或右视图；
[0025]图2-3为图2-1所示的掩膜条在被拉伸过程中出现卷曲现象时的左视图或右视图；
[0026]图3为本实用新型实施例提供的一种掩膜条的掩膜单元的示意图；
[0027]图4为本实用新型实施例提供的另一种掩膜条的掩膜单元的示意图。
【具体实施方式】
[0028]为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图来对本实用新型提供的掩膜板进行详细描述。
[0029]本实用新型实施例提供了一种掩膜板，该掩膜板包括多个掩膜条和安装框架，多个掩膜条经过拉伸后安装于安装框架上，每个掩膜条包括多个掩膜单元，每个掩膜单元包括有效开口区和两个空置区，有效开口区内设置有掩膜开口，两个空置区分别设置在有效开口区的沿垂直于拉伸方向的两侧且靠近有效开区，空置区内设置有空置开口。其中，掩膜开口的轮廓形状与空置开口的轮廓形状不同，且二者在拉伸过程中产生的应力能够相互补m
Iz? O
[0030]本实用新型提供的掩膜板，通过设置掩膜开口的轮廓形状与空置开口的轮廓形状不同，来使二者在拉伸过程中产生的应力能够相互补偿，因而可改善掩膜条在拉伸过程中的卷曲现象，从而可改善掩膜单元cel I边缘shadow效应，进而改善显示面板在蒸镀时出现边缘混色不良的情况，从而增加产品良率。
[0031]下面结合图3和图4详细描述本实用新型提供的掩膜板的具体结构。
[0032]如图3所示，有效开口区内的掩膜开口Ila的轮廓形状为孔状(slot型)，空置区内的空置开口 Ilb的轮廓形状为细条状(slit型)；并且，空置开口 Ilb的长度方向趋于拉伸方向，具体地，延伸方向为图3所示的水平方向，因此，空置开口的长度方向趋于水平方向。
[0033]可以理解，采用图3所示的掩膜条，由于在拉伸调整过程中有效开口区产生的应力偏下(即，偏向纸面向里)，而空置区产生的应力偏上(即，偏向纸面向外)，因此，该掩膜条均衡应力的能力增强，可以改善该掩膜条在拉伸过程中向下卷曲的现象。
[0034]优选地，空置开口I Ib的长度方向平行于拉伸方向。结合图3，空置开口 I Ib的长度方向为水平方向，拉伸方向也为水平方向。
[0035]具体地，在将各个掩膜条固定于安装框架上时，可以采用焊接的方式将掩膜条固定于安装框架上。
[0036]其中，每个掩膜条可以沿水平方向固定在安装框架上，多个掩膜条沿垂直方向依次紧挨设置。也就说，各个掩膜条由上至下依次固定于安装框架上。
[0037]进一步地，由于在蒸镀往往在高温高压的环境中进行，为避免掩膜条发生严重形变，掩膜条的材料需要具有耐高温高压、热膨胀系数小且形态稳定等特点。其中，掩膜条可以采用金属材料制备。该金属掩材料包括但不限于为因瓦合金。
[0038]如图4所示，有效开口区的掩膜开口Ila的轮廓形状为细条状(slit型)，空置区的空置开口 Ilb的轮廓形状为孔状(slot型)；空置开口的长度方向趋于拉伸方向，具体地，拉伸方向为水平方向。
[0039]可以理解，采用图4所示的掩膜条，由于在拉伸调整过程中有效开口区产生的应力偏上(即，偏向纸面向外)，而空置区产生的应力偏下(即，偏向纸面向里)，因此，该掩膜条的均衡应力的能力增强，可以改善该掩膜条在拉伸过程中向上卷曲的现象。
[0040]优选地，掩膜开口I Ia的长度方向平行于拉伸方向，即为水平方向。
[0041]需要在此说明的是，图3和图4为本实用新型提供的掩膜条的两种具体实现方式，而本实用新型并不局限于此，只要满足掩膜开口 Ila的轮廓形状与空置开口 Ilb的轮廓形状不同，且二者在拉伸过程中产生的应力能够相互补偿，均属于本实用新型的保护范围。
[0042]还需要说明的是，本实施例提供的掩膜板中，有效开口区设置有多个掩膜开口11a，多个掩膜开口 Ila的轮廓形状和大小相同且均匀分布；空置区设置有多个空置开口11b，多个空置开口 Ilb的轮廓形状和大小相同且均勾分布，如图3和图4所不。
[0043]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种掩膜板，包括多个掩膜条和安装框架，所述多个掩膜条经过拉伸后安装于所述安装框架上，每个掩膜条包括多个掩膜单元，每个掩膜单元包括有效开口区和两个空置区，所述有效开口区内设置有掩膜开口，所述两个空置区分别设置在所述有效开口区的沿垂直于拉伸方向的两侧且靠近所述有效开口区，所述空置区内设置有空置开口，其特征在于，所述掩膜开口的轮廓形状与所述空置开口的轮廓形状不同，且二者在拉伸过程中产生的应力能够相互补偿。2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜开口的轮廓形状为孔状，所述空置开口的轮廓形状为细条状； 所述空置开口的长度方向趋于拉伸方向。3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜开口的轮廓形状为细条状，所述空置开口的轮廓形状为孔状； 所述掩膜开口的长度方向趋于拉伸方向。4.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述空置开口的长度方向平行于拉伸方向。5.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜开口的长度方向平行于拉伸方向。6.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述有效开口区设置有多个所述掩膜开口，多个所述掩膜开口的轮廓形状和大小相同且均匀分布； 所述空置区设置有多个所述空置开口，多个所述空置开口的轮廓形状和大小相同且均勾分布。7.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜条采用焊接的方式固定于所述安装框架上。8.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，每个所述掩膜条沿水平方向固定在所述安装框架上； 多个所述掩膜条沿垂直方向依次紧挨设置。9.根据权利要求1至8中任一权利要求所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜条采用金属材料制成。10.根据权利要求9所述的掩膜板，其特征在于，所述金属材料包括因瓦合金。
【文档编号】C23C14/04GK205576262SQ201620413388
【公开日】2016年9月14日
【申请日】2016年5月9日
【发明人】吕守华, 孙朴
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司