一种新型的等离子镀膜机的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种新型的等离子镀膜机，包括底板、安装座和密封罩，所述安装座设在所述底板上，所述密封罩设在所述安装座上，所述密封罩与所述安装座卡持连接，所述底板底部设置有真空泵和蒸发源，所述底板上设置有第一接线座和第二接线座，所述第一接线座上设置有基板，所述第二接线座一侧连接有线圈，所述第二接线座下方连接有射频电源，所述线圈下方设置有绝缘子，所述绝缘子与所述线圈可拆卸连接，所述绝缘子与所述底板固定连接，所述安装座一侧设置有气阀，该新型的等离子镀膜机调控方便，有效地控制沉积过程，改善了镀层的物理性质，容易拆卸组装。
【专利说明】
一种新型的等离子镀膜机
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种新型的等离子镀膜机。
【背景技术】
[0002]离子镀在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离，并在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下，将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的方法。其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀(空心阴极蒸镀法)、多弧离子镀(阴极电弧离子镀)等。
[0003]目前现有的等离子镀膜机操控不方便，造成不能有效地控制沉积过程，不能改善镀层的物理性质，结构安装拆卸不方便。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种调控方便，有效地控制沉积过程，改善了镀层的物理性质，容易拆卸组装的新型的等离子镀膜机。
[0005]本实用新型是这样实现的一种新型的等离子镀膜机，包括底板、安装座和密封罩，所述安装座设在所述底板上，所述密封罩设在所述安装座上，所述密封罩与所述安装座卡持连接，所述底板底部设置有真空栗和蒸发源，所述底板上设置有第一接线座和第二接线座，所述第一接线座上设置有基板，所述第二接线座一侧连接有线圈，所述第二接线座下方连接有射频电源，所述线圈下方设置有绝缘子，所述绝缘子与所述线圈可拆卸连接，所述绝缘子与所述底板固定连接，所述安装座一侧设置有气阀。
[0006]作为优选，所述密封罩为有机玻璃密封罩，采用有机玻璃密封罩能够保持良好的绝缘效果和透明效果，方便进行观测。
[0007]作为优选，所述密封罩顶部呈弧形设置，保持结构稳定性高。
[0008]作为优选，所述第一接线座上安装有导电支杆，导线支杆具有导电和支撑基板的作用。
[0009]作为优选，所述第一接线座通过所述导电支杆与基板电性连接，保持连接顺畅。
[0010]本实用新型的有益效果是:设置的安装座与密封罩卡持连接，方便密封罩的安装，同时保持密封效果良好，方便通过真空栗进行抽真空;射频电源接通到线圈后，使得线圈内部的电子在高频电场作用下做振荡运动，延长了电子到达阳极的路径，增加了电子与反应气体及金属蒸气碰掩的概率，这样可提高放电电流密度，通过调节射频电源即可有效地控制沉积过程，改善了镀层的物理性质;设置的第一接线座和第二接线座保证了接线方便。
【附图说明】
[0011]为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1是本实用新型实施例提供的一种新型的等离子镀膜机的结构图。
【具体实施方式】
[0013]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0014]如图1所示，一种新型的等离子镀膜机，包括底板1、安装座2和密封罩3，安装座2设在底板I上，密封罩3设在安装座2上，密封罩3为有机玻璃密封罩，密封罩3顶部呈弧形设置，密封罩3与安装座2卡持连接，底板I底部设置有真空栗4和蒸发源5，底板I上设置有第一接线座6和第二接线座7，第一接线座6上设置有基板8和导电支杆9，第一接线座6通过导电支杆9与基板8电性连接，第二接线座7—侧连接有线圈10，第二接线座7下方连接有射频电源11，线圈10下方设置有绝缘子12，绝缘子12与线圈10可拆卸连接，绝缘子12与底板I固定连接，安装座2—侧设置有气阀13。
[0015]在使用时，将工件固定在基板8上，第一接线座6接地，第二接线座7与射频电源11接通，关闭气阀13，使用真空栗4对密封罩3进行抽真空作业，打开蒸发源5即可进行镀膜作业。
[0016]本实用新型的有益效果是:设置的安装座2与密封罩3卡持连接，方便密封罩3的安装，同时保持密封效果良好，方便通过真空栗4进行抽真空;射频电源11接通到线圈10后，使得线圈10内部的电子在高频电场作用下做振荡运动，延长了电子到达阳极的路径，增加了电子与反应气体及金属蒸气碰撞的概率，这样可提高放电电流密度，通过调节射频电源11即可有效地控制沉积过程，改善了镀层的物理性质；设置的第一接线座6和第二接线座7保证了接线方便。
[0017]以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种新型的等离子镀膜机，其特征在于:包括底板、安装座和密封罩，所述安装座设在所述底板上，所述密封罩设在所述安装座上，所述密封罩与所述安装座卡持连接，所述底板底部设置有真空栗和蒸发源，所述底板上设置有第一接线座和第二接线座，所述第一接线座上设置有基板，所述第二接线座一侧连接有线圈，所述第二接线座下方连接有射频电源，所述线圈下方设置有绝缘子，所述绝缘子与所述线圈可拆卸连接，所述绝缘子与所述底板固定连接，所述安装座一侧设置有气阀。2.根据权利要求1所述的一种新型的等离子镀膜机，其特征在于:所述密封罩为有机玻璃密封罩。3.根据权利要求1所述的一种新型的等离子镀膜机，其特征在于:所述密封罩顶部呈弧形设置。4.根据权利要求1所述的一种新型的等离子镀膜机，其特征在于:所述第一接线座上安装有导电支杆。5.根据权利要求4所述的一种新型的等离子镀膜机，其特征在于:所述第一接线座通过所述导电支杆与基板电性连接。
【文档编号】C23C14/32GK205576267SQ201620080740
【公开日】2016年9月14日
【申请日】2016年1月27日
【发明人】杨勇
【申请人】深圳晶钻智能科技有限公司