改进型光学镜片真空镀膜装置的制造方法

文档序号:10971953
改进型光学镜片真空镀膜装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了改进型光学镜片真空镀膜装置,包括:真空镀膜室、高真空阀、低温冷阱、油扩散泵、以及机械真空泵,其特征在于,所述高真空阀设置于所述真空镀膜室的一侧,所述低温冷阱一端与所述高真空阀连接,另一端与所述油扩散泵连接,所述油扩散泵跟所述真空镀膜室和所述机械真空泵之间设有控流检测系统,其用于配合所述机械真空泵控制检测所述真空镀膜室和所述油扩散泵的真空气压。本实用新型通过控流检测系统实现了整个改进型光学镜片真空镀膜装置的连接、控制结构更加简单、紧凑,从而能够大大地降低空间的占用率。
【专利说明】
改进型光学镜片真空镀膜装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光学镜片镀膜制造技术领域,具体来说是涉及一种改进型光学镜片真空镀膜装置。
【【背景技术】】
[0002]随着人们生活水平和安全意识的不断提高,手机、行车记录仪、安全摄像头等普及率也随之提高,然而光学镜片是其手机、行车记录仪、安全摄像头等作为对光折射成像的重要部件,必然也导致光学镜片需求日益增多,而光学镜片镀膜生产过程中,其真空镀膜是一项重要的生产工艺技术,对于光学镜片的生产是否合格起着决定性的作用,但是现有的真空镀膜设备存在有结构较为复杂、空间庞大的问题,对于设备生产企业来说无疑是大大地增加企业的经济成本,对于设备使用企业来说则是增加设备了成本以及企业车间的空间浪费,所以现有的产品不利于提高市场竞争力,于此,如何提供一种结构简单、空间更加紧凑的改进型光学镜片真空镀膜装置是本领域技术人员一直研究的方向。
【【实用新型内容】】
[0003]本实用新型主要解决的技术问题是:提供一种改进型光学镜片真空镀膜装置,通过控流检测系统实现整个改进型光学镜片真空镀膜装置的连接、控制结构更加简单、紧凑,从而大大地降低空间的占用率,同时减少企业的经济成本。
[0004]为解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现:
[0005]改进型光学镜片真空镀膜装置,包括:真空镀膜室、高真空阀、低温冷阱、油扩散栗、以及机械真空栗,其特征在于,所述高真空阀设置于所述真空镀膜室的一侧,所述低温冷阱一端与所述高真空阀连接,另一端与所述油扩散栗连接,所述油扩散栗跟所述真空镀膜室和所述机械真空栗之间设有控流检测系统,其用于配合所述机械真空栗控制检测所述真空镀膜室和所述油扩散栗的真空气压。
[0006]如上所述的改进型光学镜片真空镀膜装置,其特征在于:所述控流检测系统包括:
[0007]第一管道,其设置于所述真空镀膜室和所述机械真空栗之间;
[0008]第二管道,其设置于所述油扩散栗和所述第一管道之间;
[0009]低真空阀门,其设置于所述第一管道和第二管道之上,用于控制所述改进型光学镜片真空镀膜装置内部气流方向和调节气流大小,使得管道处于切断或接通状态;
[0010]热偶真空规管,其设置于所述第一管道和第二管道之上,用于测量所述改进型光学镜片真空镀膜装置内部低真空度。
[0011]如上所述的改进型光学镜片真空镀膜装置,其特征在于:所述低真空阀门包括第一低真空阀门、第二低真空阀门以及第三低真空阀门,所述第一低真空阀门设置于所述第一管道的中部,所述第二低真空阀门设置于所述第一管道与所述机械真空栗连接的连接处,所述第三低真空阀门设置于所述第二管道与所述第一管道连接的连接处,位于所述第一低真空阀门与所述第二低真空阀门之间;
[0012]当所述第一低真空阀门和所述所述第二低真空阀门开启时,其两者配合所述机械真空栗对所述真空镀膜室进行低真空处理,为所述油扩散栗对所述真空镀膜室进行高真空处理制备低真空基础;
[0013]当所述所述第二低真空阀门和所述第三低真空阀门开启时,其两者配合所述机械真空栗为所述油扩散栗排泄气体于所述改进型光学镜片真空镀膜装置之外,使得所述油扩散栗能够正常工作。
[0014]如上所述的改进型光学镜片真空镀膜装置,其特征在于:所述热偶真空规管包括第一热偶真空规管和第二热偶真空规管,所述第一热偶真空规管设置于所述第一管道上,位于所述第一低真空阀门和所述真空镀膜室之间;所述第二热偶真空规管设置于所述第二管道上。
[0015]如上所述的改进型光学镜片真空镀膜装置,其特征在于:所述控流检测系统还包括有设置于所述真空镀膜室上的电离真空规管,用于测量所述真空镀膜室的高真空度。
[0016]如上所述的改进型光学镜片真空镀膜装置,其特征在于:所述机械真空栗为旋片式机械真空栗。
[0017]与现有技术相比,上述实用新型有如下优点:
[0018]1、本实用新型通过控流检测系统实现了整个改进型光学镜片真空镀膜装置的连接、控制结构更加简单、紧凑,从而能够大大地降低空间的占用率;
[0019]2、本实用新型通过低真空阀门配合机械真空栗,既能够完成对真空镀膜室低真空处理,为油扩散栗对真空镀膜室高真空处理制备低真空基础,又能够为油扩散栗排气于大气,保证油扩散栗的正常工作;
[0020]3、本实用新型通过结构简单,制作方便,从而可以最大限度的减少企业经济成本。【【附图说明】】
[0021 ]图1是本实用新型改进型光学镜片真空镀膜装置的结构示意图。
【【具体实施方式】】
[0022]改进型光学镜片真空镀膜装置,包括:真空镀膜室1、高真空阀2、低温冷阱3、油扩散栗4、以及机械真空栗5,所述高真空阀2设置于所述真空镀膜室I的一侧,所述低温冷阱3一端与所述高真空阀2连接,另一端与所述油扩散栗4连接,所述油扩散栗4跟所述真空镀膜室I和所述机械真空栗5之间设有控流检测系统6,其用于配合所述机械真空栗5控制检测所述真空镀膜室I和所述油扩散栗4的真空气压。
[0023]具体地,所述控流检测系统6包括:
[0024]第一管道61,其设置于所述真空镀膜室I和所述机械真空栗5之间;
[0025]第二管道62,其设置于所述油扩散栗4和所述第一管道61之间;
[0026]低真空阀门63,其设置于所述第一管道61和第二管道62之上,用于控制所述改进型光学镜片真空镀膜装置内部气流方向和调节气流大小,使得管道处于切断或接通状态;
[0027]热偶真空规管64,其设置于所述第一管道61和第二管道62之上,用于测量所述改进型光学镜片真空镀膜装置内部低真空度。
[0028]进一步地,所述低真空阀门63包括第一低真空阀门631、第二低真空阀门632以及第三低真空阀门633,所述第一低真空阀门631设置于所述第一管道61的中部,所述第二低真空阀门632设置于所述第一管道61与所述机械真空栗5连接的连接处,所述第三低真空阀门633设置于所述第二管道62与所述第一管道61连接的连接处,位于所述第一低真空阀门631与所述第二低真空阀门632之间。
[0029]更进一步地,所述热偶真空规管64包括第一热偶真空规管641和第二热偶真空规管642,所述第一热偶真空规管641设置于所述第一管道61上,位于所述第一低真空阀门631和所述真空镀膜室I之间;所述第二热偶真空规管642设置于所述第二管道62上。
[0030]当所述第一低真空阀门631和所述第二低真空阀门632开启时,其两者配合所述机械真空栗5对所述真空镀膜室I进行低真空处理,同时所述第一热偶真空规管641时刻测量着所述第一管道61以及所述真空镀膜室I的低真空度,为所述油扩散栗4对所述真空镀膜室I进行高真空处理制备低真空基础;
[0031]当所述所述第二低真空阀门632和所述第三低真空阀门633开启时,其两者配合所述机械真空栗5为所述油扩散栗4排泄气体于所述改进型光学镜片真空镀膜装置之外,同时所述第二热偶真空规管642时刻测量着所述第二管道62以及所述油扩散栗4的低真空度,使得所述油扩散栗4能够正常工作。
[0032]更进一步地,所述控流检测系统6还包括有设置于所述真空镀膜室I上的电离真空规管7,用于测量所述真空镀膜室I的高真空度。其优点在于体积小、灵敏度高。
[0033]更进一步地,所述机械真空栗5为旋片式机械真空栗。其优点在于该旋片式机械真空栗体积小、重量轻、启动简便,符合本装置的需求。
[0034]综上所述对本实用新型的实施方式作了详细说明,但是本实用新型不限于上述实施方式。即使其对本实用新型作出各种变化,则仍落入在本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.改进型光学镜片真空镀膜装置,包括:真空镀膜室(I)、高真空阀(2)、低温冷阱(3)、油扩散栗(4)、以及机械真空栗(5),其特征在于,所述高真空阀(2)设置于所述真空镀膜室(I)的一侧,所述低温冷阱(3)—端与所述高真空阀(2)连接,另一端与所述油扩散栗(4)连接,所述油扩散栗(4)跟所述真空镀膜室(I)和所述机械真空栗(5)之间设有控流检测系统(6),其用于配合所述机械真空栗(5)控制检测所述真空镀膜室(I)和所述油扩散栗(4)的真空气压。2.根据权利要求1所述的改进型光学镜片真空镀膜装置,其特征在于:所述控流检测系统(6)包括: 第一管道(61),其设置于所述真空镀膜室(I)和所述机械真空栗(5)之间; 第二管道(62),其设置于所述油扩散栗(4)和所述第一管道(61)之间; 低真空阀门(63),其设置于所述第一管道(61)和第二管道(62)之上,用于控制所述改进型光学镜片真空镀膜装置内部气流方向和调节气流大小,使得管道处于切断或接通状态; 热偶真空规管(64),其设置于所述第一管道(61)和第二管道(62)之上,用于测量所述改进型光学镜片真空镀膜装置内部低真空度。3.根据权利要求2所述的改进型光学镜片真空镀膜装置,其特征在于:所述低真空阀门(63)包括第一低真空阀门(631)、第二低真空阀门(632)以及第三低真空阀门(633),所述第一低真空阀门(631)设置于所述第一管道(61)的中部,所述第二低真空阀门(632)设置于所述第一管道(61)与所述机械真空栗(5)连接的连接处,所述第三低真空阀门(633)设置于所述第二管道(62)与所述第一管道(61)连接的连接处,位于所述第一低真空阀门(631)与所述第二低真空阀门(632)之间; 当所述第一低真空阀门(631)和所述所述第二低真空阀门(632)开启时,其两者配合所述机械真空栗(5)对所述真空镀膜室(I)进行低真空处理,为所述油扩散栗(4)对所述真空镀膜室(I)进行高真空处理制备低真空基础; 当所述所述第二低真空阀门(632)和所述第三低真空阀门(633)开启时,其两者配合所述机械真空栗(5)为所述油扩散栗(4)排泄气体于所述改进型光学镜片真空镀膜装置之外,使得所述油扩散栗(4)能够正常工作。4.根据权利要求2所述的改进型光学镜片真空镀膜装置,其特征在于:所述热偶真空规管(64)包括第一热偶真空规管(641)和第二热偶真空规管(642),所述第一热偶真空规管(641)设置于所述第一管道(61)上,位于所述第一低真空阀门(631)和所述真空镀膜室(I)之间;所述第二热偶真空规管(642)设置于所述第二管道(62)上。5.根据权利要求2所述的改进型光学镜片真空镀膜装置,其特征在于:所述控流检测系统(6)还包括有设置于所述真空镀膜室(I)上的电离真空规管(7),用于测量所述真空镀膜室(I)的高真空度。6.根据权利要求3所述的改进型光学镜片真空镀膜装置,其特征在于:所述机械真空栗(5)为旋片式机械真空栗。
【文档编号】C23C14/54GK205662596SQ201620480030
【公开日】2016年10月26日
【申请日】2016年5月23日
【发明人】杨嘉嘉, 杨文志, 陈招燕, 程亚丽
【申请人】中山市万物文化发展有限公司
再多了解一些
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