一种膜厚调节装置、薄膜蒸镀设备的制造方法

文档序号:10977579阅读:594来源:国知局
一种膜厚调节装置、薄膜蒸镀设备的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种膜厚调节装置、薄膜蒸镀设备,用以使蒸镀膜厚保持均一,并提高生产效率。膜厚调节装置包括:设置在线蒸发源腔体内部的至少两个反射器,以及设置在所述线蒸发源腔体外部的至少一个控制器,每一所述控制器至少与一所述反射器连接;每一所述反射器上均设置若干镂空区域,所述控制器用于通过控制与该控制器连接的所述反射器的移动,控制不同所述反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域的重叠区域的大小。
【专利说明】
一种膜厚调节装置、薄膜蒸镀设备
技术领域
[0001]本实用新型涉及显示技术领域,尤其涉及一种膜厚调节装置、薄膜蒸镀设备。
【背景技术】
[0002]在有机发光二极管(Organic Light Emitting D1de,0LED)生产过程中,蒸镀时膜厚的均一性是器件的一个重要参数,膜厚的均一性的好坏将直接影响OLED器件的光特性。
[0003]在薄膜蒸镀过程中,线蒸发源腔体内部的反射器如图1所示,当蒸镀时膜厚的均一性因线蒸发源的温度原因发生异常时,由于现有技术中的反射器是图1所示的光面型反射器,无法将多余的热量散出,会导致膜厚呈高低趋势分布,膜厚差异较大时会导致产品的报废,大大降低了产品的良率。
[0004]现有技术当膜厚的均一性异常时,需要开启线蒸发源腔体,手动对设置在线蒸发源腔体内部的反射器进行调节,如:调节反射器的厚度,此时需耗费大量的生产时间;同时,线蒸发源中蒸镀薄膜的材料会受到污染,材料等级降低,产品品质随之降低。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型实施例提供了一种膜厚调节装置、薄膜蒸镀设备,用以使蒸镀膜厚保持均一,并提高生产效率。
[0006]本实用新型实施例提供的一种膜厚调节装置,包括设置在线蒸发源腔体内部的至少两个反射器,以及设置在所述线蒸发源腔体外部的至少一个控制器,每一所述控制器至少与一所述反射器连接;
[0007]每一所述反射器上均设置若干镂空区域,所述控制器用于通过控制与该控制器连接的所述反射器的移动,控制不同反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域的重叠区域的大小。
[0008]由本实用新型实施例提供的膜厚调节装置,由于该膜厚调节装置通过在每一反射器上设置若干镂空区域,控制器用于通过控制反射器的移动,控制不同反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域的重叠区域的大小,当本实用新型实施例中不同反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域重叠时,可以将部分热量散出,进而使得反射器的保温性能随之发生变化,因此,本实用新型实施例通过调节不同反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域的重叠区域的大小,使得蒸镀膜厚保持均一;另外,本实用新型实施例与现有技术相比,不需要开启线蒸发源腔体,通过设置在线蒸发源腔体外部的控制器完成反射器的调节,减少了因开启线蒸发源腔体导致的时间浪费,大大提高了生产效率。
[0009]较佳地,每一所述反射器上设置的镂空区域阵列排列,同一所述反射器上设置的镂空区域的面积大小相等。
[0010]较佳地,同一所述反射器上设置的镂空区域的图案相同。
[0011]较佳地,每一所述反射器上设置的镂空区域的图案相同。
[0012]较佳地,每一所述反射器上设置的镂空区域的面积大小相等。
[0013]较佳地,膜厚调节装置包括正对设置的第一反射器和第二反射器,以及一控制器,所述第一反射器和/或所述第二反射器与所述控制器连接;或,
[0014]包括正对设置的第一反射器和第二反射器,以及两个控制器,每一所述反射器与一所述控制器分别一一对应连接。
[0015]较佳地,所述第一反射器包括以第一阵列排列的若干镂空区域,所述第二反射器包括以第二阵列排列的若干镂空区域;
[0016]所述第一阵列排列的若干镂空区域中的至少一列所述镂空区域与所述第二阵列排列的若干镂空区域中的至少一列所述镂空区域在列方向上位于空间的同一列;
[0017]所述第一阵列排列的若干镂空区域中的每一行所述镂空区域在垂直方向上的投影区域与所述第二阵列排列的若干镂空区域中的每一行所述镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域。
[0018]较佳地,所述第一反射器包括以第一阵列排列的若干镂空区域,所述第二反射器包括以第二阵列排列的若干镂空区域;
[0019]所述第一阵列排列的若干镂空区域中的至少一行所述镂空区域与所述第二阵列排列的若干镂空区域中的至少一行所述镂空区域在行方向上位于空间的同一行;
[0020]所述第一阵列排列的若干镂空区域中的每一列所述镂空区域在垂直方向上的投影区域与所述第二阵列排列的若干镂空区域中的每一列所述镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域。
[0021]较佳地,所述第一反射器包括以第一阵列排列的若干镂空区域,所述第二反射器包括以第二阵列排列的若干镂空区域;
[0022]所述第一阵列排列的若干镂空区域中的每一行所述镂空区域在垂直方向上的投影区域与所述第二阵列排列的若干镂空区域中的每一行所述镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域;以及
[0023]所述第一阵列排列的若干镂空区域中的每一列所述镂空区域在垂直方向上的投影区域与所述第二阵列排列的若干镂空区域中的每一列所述镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域。
[0024]本实用新型实施例还提供了一种薄膜蒸镀设备,该薄膜蒸镀设备包括上述的膜厚调节装置。
【附图说明】
[0025]图1为现有技术设置在线蒸发源腔体内的反射器的结构示意图;
[0026]图2为本实用新型实施例提供的一种膜厚调节装置的结构示意图;
[0027]图3为本实用新型实施例提供的膜厚调节装置中包括的两个反射器叠加后的结构示意图;
[0028]图4(a)和图4(b)为本实用新型实施例提供的膜厚调节装置中包括的反射器与控制器的连接关系示意图;
[0029]图5为本实用新型实施例二提供的膜厚调节装置中包括的反射器设置的镂空区域的结构示意图;
[0030]图6为本实用新型实施例三提供的膜厚调节装置中包括的反射器设置的镂空区域的结构示意图。
【具体实施方式】
[0031]本实用新型实施例提供了一种膜厚调节装置、薄膜蒸镀设备,用以使蒸镀膜厚保持均一,并提尚生广效率。
[0032]为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0033]下面结合附图详细介绍本实用新型具体实施例提供的膜厚调节装置。
[0034]如图2所示,本实用新型具体实施例提供了一种膜厚调节装置,包括设置在线蒸发源腔体20内部的至少两个反射器,如图中示出的第一反射器21和第二反射器22两个反射器,以及设置在线蒸发源腔体20外部的至少一个控制器23,每一控制器至少与一反射器连接,图中仅示出了一个控制器的情况,该控制器23与第二反射器22连接,当然,控制器23还可以与第一反射器21连接;
[0035]每一反射器上均设置若干镂空区域,如第一反射器21上设置若干镂空区域210,第二反射器22上设置若干镂空区域220,控制器23用于通过控制与该控制器23连接的反射器的移动,控制不同反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域的重叠区域的大小。
[0036]具体地,本实用新型具体实施例中的控制器具体用于控制与该控制器连接的反射器在水平方向、以及与水平方向垂直的方向上的移动,使得至少两个反射器移动到正对设置的位置。具体实施时,本实用新型具体实施例中以线蒸发源调节装置包括两个大小相等的反射器为例,参见图2所示,控制器23控制第二反射器22在水平方向上向左移动,使得第一反射器21和第二反射器22移动到正对的位置,如图3所示,此时第一反射器21上的镂空区域210在垂直方向上的投影区域与第二反射器22上的镂空区域220在垂直方向上的投影区域不重叠,实际生产过程中,将此时膜厚的均一性作为最佳状态。
[0037]优选地,本实用新型具体实施例中每一反射器上设置的镂空区域阵列排列,同一反射器上设置的镂空区域的面积大小相等,这样,在实际设计过程中,更加方便、简单。具体实施时,本实用新型具体实施例中同一反射器上设置的镂空区域的图案相同,参见图2和图3所示,本实用新型具体实施例中反射器上设置的镂空区域的图案为三角形;当然,在实际设计时,本实用新型具体实施例中反射器上设置的镂空区域的图案还可以设计为圆形、正方形、梯形等图案形状。
[0038]优选地,本实用新型具体实施例中每一反射器上设置的镂空区域的图案相同,每一反射器上设置的镂空区域的面积大小相等,参见图2所示。这样,在实际生产过程中,更加方便控制器对反射器移动的精确调节。
[0039]具体实施时,如图4(a)所示,本实用新型具体实施例中的线蒸发源调节装置包括正对设置的第一反射器21和第二反射器22,以及一控制器23,第一反射器21和/或第二反射器22与控制器23连接。图4(a)中第一反射器21和第二反射器22的正面形状参见图2所示,图4(a)以第二反射器22与控制器23连接为例,在实际生产过程中,第一反射器21和第二反射器22还可以同时与一控制器连接,该控制器能够同时控制第一反射器21和第二反射器22的移动,优选地,本实用新型具体实施例中的控制器为伺服电机,伺服电机运转时,可控制与其连接的反射器精确移动。
[0040]当然,在实际生产过程中,如图4(b)所示,本实用新型具体实施例中的线蒸发源调节装置还可以包括正对设置的第一反射器21和第二反射器22,以及两个控制器,每一反射器与一控制器分别一一对应连接,即:第一反射器21与其中一个控制器23连接,第二反射器22与另一个控制器23连接。这种情况下,第一反射器21和第二反射器22均可以在控制器的控制下进行移动。
[0041]下面以本实用新型具体实施例中的线蒸发源调节装置包括正对设置的第一反射器和第二反射器为例,结合附图详细介绍本实用新型具体实施例中第一反射器上镂空区域,以及第二反射器上镂空区域的设置位置。
[0042]实施例一:
[0043]参见图2所示,本实用新型具体实施例中的第一反射器21包括以第一阵列排列的若干镂空区域210,第二反射器22包括以第二阵列排列的若干镂空区域220;第一阵列排列的若干镂空区域210中的至少一列镂空区域与第二阵列排列的若干镂空区域220中的至少一列镂空区域在列方向上位于空间的同一列;第一阵列排列的若干镂空区域210中的每一行镂空区域在垂直方向上的投影区域与第二阵列排列的若干镂空区域220中的每一行镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域。如:第一反射器21中的第一列镂空区域与第二反射器22中的第一列镂空区域位于空间的同一列;第一反射器21中的第一行镂空区域在垂直方向上的投影区域与第二反射器22中的第一行镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域。
[0044]本实用新型具体实施例以第一阵列排列的若干镂空区域210中的每一列镂空区域与第二阵列排列的若干镂空区域220中的每一列镂空区域在列方向上位于空间的同一列为例,如图2所示,将本实用新型具体实施例中的第一反射器21和第二反射器22叠加安装后如图3所示,第一反射器21和第二反射器22上的镂空区域错位设置,第一反射器21的镂空区域210在垂直方向上的投影区域和第二反射器22的镂空区域220在垂直方向上的投影区域无重叠区域,此时膜厚的均一性为最佳状态。
[0045]在蒸镀过程中,当膜厚的均一性因线蒸发源温度原因发生异常时,控制器23控制第二发射器在竖直方向上、下移动,此时第一反射器21的镂空区域210在垂直方向上的投影区域和第二反射器22的镂空区域220在垂直方向上的投影区域产生重叠区域,这时第一反射器21和第二反射器22上会出现透孔,该透孔的大小随着第二反射器22的移动可控,第一反射器21和第二反射器22叠加后形成的透孔发生变化时,第一反射器21和第二反射器22的保温性能也随之发生变化,通过控制器23控制第二反射器22的移动达到控制第一反射器21和第二反射器22叠加后形成的透孔的大小,进而使得蒸镀膜厚保持均一。
[0046]与现有技术相比,本实用新型具体实施例不需要开启线蒸发源腔体,通过设置在蒸发源腔体外部的控制器控制完成线蒸发源腔体内的反射器的调节,减少了因开启线蒸发源腔体导致的时间浪费,大大提高了生产效率;同时,线蒸发源中蒸镀薄膜的材料也不会受到污染,广品品质较_ D
[0047]实施例二:
[0048]如图5所示,本实用新型具体实施例中的第一反射器21包括以第一阵列排列的若干镂空区域210,第二反射器22包括以第二阵列排列的若干镂空区域220;第一阵列排列的若干镂空区域210中的至少一行镂空区域与第二阵列排列的若干镂空区域220中的至少一行镂空区域在行方向上位于空间的同一行;第一阵列排列的若干镂空区域210中的每一列镂空区域在垂直方向上的投影区域与第二阵列排列的若干镂空区域220中的每一列镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域。如:第一反射器21中的第一列镂空区域在垂直方向上的投影区域与第二反射器22中的第一列镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域;第一反射器21中的第一行镂空区域与第二反射器22中的第一行镂空区域位于空间的同一行O
[0049]本实用新型具体实施例以第一阵列排列的若干镂空区域210中的每一行镂空区域与第二阵列排列的若干镂空区域220中的每一行镂空区域在行方向上位于空间的同一行为例,如图5所示,将本实用新型具体实施例中的第一反射器21和第二反射器22叠加安装后,第一反射器21和第二反射器22上的镂空区域错位设置,第一反射器21的镂空区域210在垂直方向上的投影区域和第二反射器22的镂空区域220在垂直方向上的投影区域无重叠区域,此时膜厚的均一性为最佳状态。
[0050]在蒸镀过程中,当膜厚的均一性因线蒸发源温度原因发生异常时,控制器23控制第二发射器在水平方向左、右移动,此时第一反射器21的镂空区域210在垂直方向上的投影区域和第二反射器22的镂空区域220在垂直方向上的投影区域产生重叠区域,即此时第一反射器21和第二反射器22上出现透孔,通过控制器23控制第二反射器22的移动达到控制第一反射器21和第二反射器22叠加后形成的透孔的大小,进而使得蒸镀膜厚保持均一。
[0051 ] 实施例三:
[0052]如图6所示,本实用新型具体实施例中的第一反射器21包括以第一阵列排列的若干镂空区域210,第二反射器22包括以第二阵列排列的若干镂空区域220;第一阵列排列的若干镂空区域210中的每一行镂空区域在垂直方向上的投影区域与第二阵列排列的若干镂空区域220中的每一行镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域;第一阵列排列的若干镂空区域210中的每一列镂空区域在垂直方向上的投影区域与第二阵列排列的若干镂空区域220中的每一列镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域。如:第一反射器21中的第一列镂空区域在垂直方向上的投影区域与第二反射器22中的第一列镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域;第一反射器21中的第一行镂空区域在垂直方向上的投影区域与第二反射器22中的第一行镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域。
[0053]如图6所示,将本实用新型具体实施例中的第一反射器21和第二反射器22叠加安装后,第一反射器21和第二反射器22上的镂空区域错位设置,第一反射器21的镂空区域210在垂直方向上的投影区域和第二反射器22的镂空区域220在垂直方向上的投影区域无重叠区域,此时膜厚的均一性为最佳状态。
[0054]在蒸镀过程中,当膜厚的均一性因线蒸发源温度原因发生异常时,首先,控制器23控制第二发射器在水平方向左、右移动,接着,控制器23控制第二发射器在竖直方向上、下移动,使得第一反射器21的镂空区域210在垂直方向上的投影区域和第二反射器22的镂空区域220在垂直方向上的投影区域产生重叠区域;当然,在实际生产过程中,本实用新型具体实施例的控制器23也可以先控制第二发射器在竖直方向上、下移动,之后再控制第二发射器在水平方向左、右移动,使得第一反射器21的镂空区域210在垂直方向上的投影区域和第二反射器22的镂空区域220在垂直方向上的投影区域产生重叠区域。
[0055]本实用新型具体实施例还提供了一种薄膜蒸镀设备,该薄膜蒸镀设备包括本实用新型具体实施例提供的上述膜厚调节装置,采用本实用新型具体实施例提供的薄膜蒸镀设备能够使蒸镀膜厚保持均一。
[0056]综上所述,本实用新型具体实施例提供一种膜厚调节装置,包括设置在线蒸发源腔体内部的至少两个反射器,以及设置在线蒸发源腔体外部的至少一个控制器,每一控制器至少与一反射器连接;每一反射器上均设置若干镂空区域,控制器用于通过控制与该控制器连接的反射器的移动,控制不同反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域的重叠区域的大小。由于本实用新型具体实施例通过在每一反射器上设置若干镂空区域,控制器用于通过控制反射器的移动,控制不同反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域的重叠区域的大小,当本实用新型具体实施例中不同反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域重叠时,可以将部分热量散出,进而使得反射器的保温性能随之发生变化,因此,本实用新型具体实施例通过调节不同反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域的重叠区域的大小,使得蒸镀膜厚保持均一;另外,本实用新型具体实施例与现有技术相比,不需要开启线蒸发源腔体,通过设置在线蒸发源腔体外部的控制器控制完成反射器的调节,减少了因开启线蒸发源腔体导致的时间浪费,大大提高了生产效率。
[0057]显然,本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种膜厚调节装置,其特征在于,包括设置在线蒸发源腔体内部的至少两个反射器,以及设置在所述线蒸发源腔体外部的至少一个控制器,每一所述控制器至少与一所述反射器连接; 每一所述反射器上均设置若干镂空区域,所述控制器用于通过控制与该控制器连接的所述反射器的移动,控制不同反射器上镂空区域在垂直方向上的投影区域的重叠区域的大小。2.根据权利要求1所述的膜厚调节装置,其特征在于,每一所述反射器上设置的镂空区域阵列排列,同一所述反射器上设置的镂空区域的面积大小相等。3.根据权利要求2所述的膜厚调节装置,其特征在于,同一所述反射器上设置的镂空区域的图案相同。4.根据权利要求3所述的膜厚调节装置,其特征在于,每一所述反射器上设置的镂空区域的图案相同。5.根据权利要求4所述的膜厚调节装置,其特征在于,每一所述反射器上设置的镂空区域的面积大小相等。6.根据权利要求1所述的膜厚调节装置,其特征在于,包括正对设置的第一反射器和第二反射器,以及一控制器,所述第一反射器和/或所述第二反射器与所述控制器连接;或, 包括正对设置的第一反射器和第二反射器,以及两个控制器,每一所述反射器与一所述控制器分别 对应连接。7.根据权利要求6所述的膜厚调节装置,其特征在于,所述第一反射器包括以第一阵列排列的若干镂空区域,所述第二反射器包括以第二阵列排列的若干镂空区域; 所述第一阵列排列的若干镂空区域中的至少一列所述镂空区域与所述第二阵列排列的若干镂空区域中的至少一列所述镂空区域在列方向上位于空间的同一列; 所述第一阵列排列的若干镂空区域中的每一行所述镂空区域在垂直方向上的投影区域与所述第二阵列排列的若干镂空区域中的每一行所述镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域。8.根据权利要求6所述的膜厚调节装置,其特征在于,所述第一反射器包括以第一阵列排列的若干镂空区域,所述第二反射器包括以第二阵列排列的若干镂空区域; 所述第一阵列排列的若干镂空区域中的至少一行所述镂空区域与所述第二阵列排列的若干镂空区域中的至少一行所述镂空区域在行方向上位于空间的同一行; 所述第一阵列排列的若干镂空区域中的每一列所述镂空区域在垂直方向上的投影区域与所述第二阵列排列的若干镂空区域中的每一列所述镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域。9.根据权利要求6所述的膜厚调节装置,其特征在于,所述第一反射器包括以第一阵列排列的若干镂空区域,所述第二反射器包括以第二阵列排列的若干镂空区域; 所述第一阵列排列的若干镂空区域中的每一行所述镂空区域在垂直方向上的投影区域与所述第二阵列排列的若干镂空区域中的每一行所述镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域;以及 所述第一阵列排列的若干镂空区域中的每一列所述镂空区域在垂直方向上的投影区域与所述第二阵列排列的若干镂空区域中的每一列所述镂空区域在垂直方向上的投影区域无重叠区域。10.一种薄膜蒸镀设备,其特征在于,包括权利要求1-9任一权利要求所述的膜厚调节 目.ο
【文档编号】H01L51/56GK205669063SQ201620628028
【公开日】2016年11月2日
【申请日】2016年6月21日
【发明人】马群, 胡海兵
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司
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  • 访客 来自[江苏省苏州市电信ADSL] 2020年02月17日 14:32
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