1.一种玻璃膜层叠体的制造方法,其特征在于,其是在支撑体上层叠玻璃膜而制作的玻璃膜层叠体的制造方法,其具有以下工序:
对所述玻璃膜和所述支撑体的至少周边部施加超声波的超声波施加工序;
将经过所述超声波施加工序的所述玻璃膜和所述支撑体进行清洗的清洗工序;以及
在经过所述清洗工序的所述支撑体上层叠所述玻璃膜来制作玻璃膜层叠体的层叠工序。
2.根据权利要求1所述的玻璃膜层叠体的制造方法,其特征在于,
所述支撑体为支撑玻璃。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃膜层叠体的制造方法,其特征在于,
在所述超声波施加工序中,使用喇叭型超声波发生器来施加超声波。
4.根据权利要求3所述的玻璃膜层叠体的制造方法,其特征在于,
在所述超声波施加工序中,仅对所述玻璃膜和所述支撑玻璃的所述周边部施加超声波。
5.根据权利要求2~4中任一项所述的玻璃膜层叠体的制造方法,其特征在于,其具有以下所述的超声波清洗工序:将所述玻璃膜和所述支撑玻璃在超声波清洗槽的内部浸入液体中,利用所述超声波清洗槽,对所述玻璃膜和所述支撑玻璃的整体进行超声波清洗。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的玻璃膜层叠体的制造方法,其特征在于,其进一步具有以下所述的开口泡检查工序:检查存在于所述玻璃膜层叠体的所述玻璃膜与所述支撑玻璃的界面中与所述玻璃膜的端边相接的气泡即开口泡的有无。
7.根据权利要求6所述的玻璃膜层叠体的制造方法,其特征在于,
在所述开口泡检查工序中,进一步检查与所述玻璃膜的周边部对应的所述玻璃膜层叠体的周边部中的除所述开口泡以外的气泡的有无。
8.根据权利要求7所述的玻璃膜层叠体的制造方法,其特征在于,
所述玻璃膜层叠体的周边部为从所述玻璃膜的端边起10mm以上的宽\t度。
9.根据权利要求7或8所述的玻璃膜层叠体的制造方法,其特征在于,
所述玻璃膜层叠体的除周边部以外的气泡的个数为0.1个/m2以上且10000个/m2以下。
10.一种玻璃膜层叠体,其特征在于,其是将玻璃膜与支撑玻璃直接层叠而制作的玻璃膜层叠体,
所述玻璃膜的全部端边没有间隙地与所述支撑玻璃相接。
11.根据权利要求10所述的玻璃膜层叠体,其特征在于,
所述玻璃膜以从所述玻璃膜的全部端边起10mm以上的宽度没有间隙地与所述支撑玻璃相接。
12.根据权利要求10或11所述的玻璃膜层叠体,其特征在于,
所述玻璃膜层叠体的除所述玻璃膜与所述支撑玻璃没有间隙地相接的部位以外的部位中的气泡的个数为0.1个/m2以上且10000个/m2以下。
13.根据权利要求10~12中任一项所述的玻璃膜层叠体,其特征在于,
在所述支撑玻璃设置有薄膜层。
14.一种电子设备的制造方法,其特征在于,其具有以下工序:
在电子设备制造关联处理前在支撑体上层叠玻璃膜来制作玻璃膜层叠体的层叠工序;
通过对所述玻璃膜层叠体中的所述玻璃膜进行电子设备制造关联处理而在所述玻璃膜层叠体的所述玻璃膜上形成元件,用密封基板将所述元件密封来制作带支撑体的电子设备的工序;以及
将所述带支撑体的电子设备中的电子设备制造关联处理后的所述玻璃膜从所述支撑体剥离来制造电子设备的工序,
其中,所述层叠工序为通过权利要求1~9中任一项所述的玻璃膜层叠体的制造方法来制作玻璃膜层叠体的工序。