一种单晶炉的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种单晶炉，包括炉体，所述炉体设置有炉腔，所述炉腔内设置有石英钳锅，所述石英钳锅的外部设置有石墨钳锅，所述石墨钳锅的外部设置有加热器，所述炉腔内位于石英钳锅的上部设置有导流筒，所述导流筒的下端延伸至石英钳锅内部，所述导流筒的上部设置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至导流筒内，水冷套的外部设置有保温隔热装置。所述一种单晶炉通过在水冷套外部增设保温隔热装置，进而隔断了水冷套与外部的热交换，与此同时，水冷套内部可与硅单晶进行换热，对硅单晶进行冷却，从而可大大提高硅单晶的提拉速度，提高生产效率，结构简单、易于实现。
【专利说明】
一种单晶炉
技术领域
[0001]本实用新型涉及单晶硅生产领域，尤其涉及一种单晶炉。
【背景技术】
[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]单晶炉在生产过程中，硅单晶从熔体中不断凝固并向上提拉，如果凝固体的温度越低，通过固体导出的热量越多，硅单晶向上提拉的速度就可以越大，从而可大大提高生产效率。目前，为了提高生产效率，通常会增设水冷套来冷却硅单晶，然而，水冷套内部与硅单晶换热，与此同时，其外部与导流筒、石英钳锅内的熔体换热，使得导流筒和石英钳锅内的熔体降温，进而为了满足生产温度要求，需加大加热功率，从而使得水冷套提高晶体拉速的作用有限，由此，急需解决。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于针对上述问题，提供一种单晶炉，以解决现有水冷套对提高晶体拉速作用有限的问题。
[0005]本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现:
[0006]一种单晶炉，包括炉体，所述炉体设置有炉腔，所述炉腔内设置有石英钳锅，所述石英钳锅的外部设置有石墨钳锅，所述石墨钳锅的外部设置有加热器，所述炉腔内位于石英钳锅的上部设置有导流筒，所述导流筒的下端延伸至石英钳锅内部，所述导流筒的上部设置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至导流筒内，水冷套的外部设置有保温隔热装置。
[0007]作为本实用新型的一种优选方案，所述水冷套上焊接有螺母，所述保温隔热装置通过螺钉与水冷套固定连接。
[0008]作为本实用新型的一种优选方案，所述保温隔热装置为隔热筒，所述隔热筒由保温隔热材料制成。
[0009]作为本实用新型的一种优选方案，所述保温隔热材料为不锈钢材料或钼材料或石墨材料或石墨毡材料。
[0010]作为本实用新型的一种优选方案，所述隔热筒包括内筒、外筒，所述外筒套接在内筒上。
[0011]作为本实用新型的一种优选方案，所述隔热筒的下端设置有锥度。
[0012]本实用新型的有益效果为，所述一种单晶炉通过在水冷套外部增设保温隔热装置，进而隔断了水冷套与外部的热交换，与此同时，水冷套内部可与硅单晶进行换热，对硅单晶进彳丁冷却，从而可大大提尚娃单晶的提拉速度，提尚生广效率，结构简单、易于实现。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型一种单晶炉的结构示意图。
[0014]图中:
[0015]1、石英钳锅;2、石墨钳锅;3、加热器;4、导流筒;5、水冷套;6、隔热筒。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图并通过【具体实施方式】来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是，此处所描述的实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。
[0017]请参照图1所示，图1为本实用新型一种单晶炉的结构示意图。
[0018]于本实施例中，一种单晶炉，包括炉体，所述炉体设置有炉腔，所述炉腔内设置有石英钳锅I，所述石英钳锅I的外部设置有石墨钳锅2，所述石墨钳锅2的外部设置有加热器3，所述炉腔内位于石英钳锅I的上部设置有导流筒4，所述导流筒4的下端延伸至石英钳锅I内部，所述导流筒4的上部设置有水冷套5，所述水冷套5的下端延伸至导流筒4内，水冷套5的外部焊接有螺母，并通过螺钉固定连接有隔热筒6，所述隔热筒6的下端设置有锥度，且隔热筒6包括内筒、外筒，所述外筒套接在内筒上，所述内筒由不锈钢板制成，所述外筒由钼板制成。
[0019]虽然上述实施例中，内筒由不锈钢板制成，外筒由钼板制成，但是本实用新型不限于此，内筒、外筒亦可采用石墨、石墨毡或其他保温隔热材料制成，只要能够起到保温隔热作用即可。
[0020]虽然上述实施例中，隔热筒6由内筒、外筒两个构成，但是本实用新型不限于此，可根据保温隔热要求相应的增多或减少个数。
[0021]上述一种单晶炉，导流筒4的下端延伸至石英钳锅I内部，进而可将石英坩祸I侧面的热量与硅单晶隔离开来，也可将加热器3的热量与硅单晶隔离开来，并通过在水冷套5外部增设隔热筒6，进而隔断了水冷套5与外部的热交换，与此同时，水冷套5内部可与硅单晶进行换热，对娃单晶进彳丁冷却，从而可大大提尚娃单晶的提拉速度，提尚生广效率。
[0022]以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书界定。
【主权项】
1.一种单晶炉，其特征在于:包括炉体，所述炉体设置有炉腔，所述炉腔内设置有石英钳锅，所述石英钳锅的外部设置有石墨钳锅，所述石墨钳锅的外部设置有加热器，所述炉腔内位于石英钳锅的上部设置有导流筒，所述导流筒的下端延伸至石英钳锅内部，所述导流筒的上部设置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至导流筒内，水冷套的外部设置有保温隔热装置。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉，其特征在于:所述水冷套上焊接有螺母，所述保温隔热装置通过螺钉与水冷套固定连接。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉，其特征在于:所述保温隔热装置为隔热筒，所述隔热筒由保温隔热材料制成。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉，其特征在于:所述保温隔热材料为不锈钢材料或钼材料或石墨材料或石墨毡材料。5.根据权利要求3所述的一种单晶炉，其特征在于:所述隔热筒包括内筒、外筒，所述外筒套接在内筒上。6.根据权利要求3所述的一种单晶炉，其特征在于:所述隔热筒的下端设置有锥度。
【文档编号】C30B29/06GK205711031SQ201620606405
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年6月20日
【发明人】惠梦君
【申请人】无锡市蓝德光电科技有限公司