一种防堵光伏扩散尾气装置的制作方法

本实用新型属于光伏电池制造设备领域，具体地说，涉及一种防堵光伏扩散尾气装置。

背景技术：

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

参考图1，在正常生产过程当中，在扩散工艺中产生的废气需要通过扩散炉的尾气管排出。但由于设备尾气接口裸露在扩散炉炉体的外部，排出的热废气很容易在尾气管内冷却，而热废气的冷却会导致偏磷酸凝固并堆积在尾气管及尾气球头上。随着偏磷酸堆积的越来越多，尾气管和尾气球头就会被堵塞。

通常情况下，偏磷酸的堆积会造成如下后果：

1)腐蚀尾气管及尾气球头，增加采购成本及维修成本；

2)缩短维护周期，降低设备运行率；

3)影响气流的正常流通，造成硅片方阻异常返工；

4)尾气从其它部位泄露，造成污染和/或其他部件的腐蚀。

因此，目前急需一种尾气装置能够克服上述缺陷，实现尾气正常排放，并保证尾气管和尾气球头的使用安全。

技术实现要素：

为了解决扩散炉炉体外部的尾气管温度相对较低，致使偏磷酸凝固、堆积，而导致的尾气管堵塞并与炉管球头粘连，偏磷酸腐蚀尾气管及炉管球头使其逐渐变薄、破损，尾气管堵塞后气流不均造成电池片方阻异常等缺陷。本实用新型提供了一种防堵光伏扩散尾气装置。

根据本实用新型的一个方面，提供一种防堵光伏扩散尾气装置，所述防堵光伏扩散尾气装置包括：尾气球头、尾气管；

所述尾气球头的前端与扩散炉的尾部相连接，所述尾气球头的后端与所述尾气管大球碗相连接；

所述尾气管的后端与废液瓶相连接；

所述尾气球头与所述尾气管之间设置有球夹；

所述尾气管与所述废液瓶之间，近所述废液瓶端设置有球夹；

在所述废液瓶前端小管、尾气管和尾气球头外侧包裹有保温装置。

根据本实用新型的一个具体实施方式，所述保温装置为耐高温石英棉。

根据本实用新型的另一个具体实施方式，所述保温装置的外侧还设置有至少两个固定装置。

根据本实用新型的又一个具体实施方式，所述固定装置为卡箍。

根据本实用新型的又一个具体实施方式，所述卡箍的直径为10cm。

本实用新型提供的技术方案的改进集中在原扩散炉管尾气排放区域，在尾气管外面添加保温装置。通过这种改造，可以增加裸露部分的尾气管和尾气球头的温度，防止偏磷酸在尾气管和尾气球头上堆积，预防尾气球头与尾气管粘连，保护尾气管与尾气球头不被腐蚀。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1所示为现有的一种光伏扩散尾气装置的一个具体实施方式的结构示意图；

图2所示为根据本实用新型提供的一种防堵光伏扩散尾气装置的一个具体实施方式的结构示意图。

附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。

具体实施方式

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。应当注意，在附图中所图示的部件不一定按比例绘制。本实用新型省略了对公知组件和处理技术及工艺的描述以避免不必要地限制本实用新型。

如图2所示，图2为本实用新型提供的一种防堵光伏扩散尾气装置，该防堵光伏扩散尾气装置包括：尾气球头2和尾气管3。

所述尾气球头2的前端与扩散炉1的尾部相连接，所述尾气球头2的后端与所述尾气管大球碗相连接；所述尾气管3的后端与废液瓶5相连接。

在所述尾气球头2与所述尾气管3之间设置有球夹4。在所述尾气管3与所述废液瓶5之间也设置有球夹4，该球夹4设置于尾气管3接近于废气瓶5的一端。在所述尾气管3和尾气球头2的外侧包裹有保温装置6。

扩散工艺在扩散炉1内进行，扩散工艺产生的废气经过与尾气球头2连接的尾气管3排出，并经过废液瓶5冷却成液体收集下来，未冷却的尾气通过排风管排出。但是扩散炉1尾部以外均暴露在空气中，导致排出的热尾气遇到温度较低的尾气球头2后温度迅速降低，部分废气未到达废液瓶5就已经冷却下来，堆积在尾气管3及尾气球头2上，导致逐渐堵塞。

而在废液瓶前端小管、尾气管3和尾气球头2外侧包裹保温装置6可以有效保持由扩散炉1排出的废气的温度，使其不至于过快冷却而堆积于尾气管3和尾气球头2上。该保温装置6的设置能够有效防止废液瓶前端小管、尾气管3和尾气球头2被堵塞。

优选的，所述保温装置6为耐高温石英棉。为了使保温装置6能够更好地固定于废液瓶前端小管、尾气管3和尾气球头2外侧，在所述保温装置6的外侧还设置有至少两个固定装置，例如：卡箍。优选的，所述卡箍的直径为10cm。

本实用新型通过在废液瓶前端小管、尾气球头和尾气管的外侧添加保温装置，能有效保持裸露部分废液瓶前端小管、尾气管及尾气球头温度，防止热废气过快冷却，能够有效解决废液瓶前端小管、尾气管及尾气球头堵塞、腐蚀问题，节省备件及维修成本，延长了设备的正常保养时间，增加了设备运行率；减少了因堵塞而导致的低效片及返工片。

虽然关于示例实施例及其优点已经详细说明，应当理解在不脱离本实用新型的精神和所附权利要求限定的保护范围的情况下，可以对这些实施例进行各种变化、替换和修改。对于其他例子，本领域的普通技术人员应当容易理解在保持本实用新型保护范围内的同时，工艺步骤的次序可以变化。