镀膜机的制作方法

文档序号:12700838阅读:559来源:国知局
镀膜机的制作方法与工艺

本实用新型涉及一种镀膜机,特别是涉及一种光学玻璃化学镀膜机。



背景技术:

现有的光学玻璃化学镀膜机一般都采用单槽单工位镀膜作业,在需要镀不同的涂层时需要人工更换不同的镀膜溶液,无法在一台设备上同时完成多种涂层的镀膜作业,并且其镀膜槽体不带自动过滤功能,需要人工过滤,造成设备的使用效率低。



技术实现要素:

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种具有自动循环过滤功能且满足不同类型的光学玻璃镀化学膜的镀膜机。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是:镀膜机,包括机座、平移导轨、平移伺服电机、机身、升降伺服电机、升降导轨、悬臂、镀膜夹具和镀膜槽,所述平移导轨与机座连接固定,所述机身通过滑块与平移导轨连接,并通过平移伺服电机驱动丝杆旋转使机身在平移导轨上左右移动,所述机身与滑块固定;所述升降伺服电机通过电机座与机身连接,所述升降导轨与机身连接固定,所述悬臂通过滑块与升降导轨连接,并通过升降伺服电机驱动丝杆旋转使悬臂在升降导轨上上下移动,所述悬臂与滑块固定。

进一步的,还包括踏板,所述踏板固定在地面上,所述镀膜槽与踏板固定。

进一步的,所述镀膜槽采用多个。

进一步的,所述机身和平移导轨上还设置有风琴罩防尘。

进一步的,所述平移伺服电机与丝杆之间设置配重块,平移伺服电机经过柔性联轴器直接驱动丝杆。

进一步的,所述镀膜槽上还设置有密封盖、管路阀门、过滤器、蠕动泵,所述密封盖与镀膜槽采用快速门栓式夹钳锁紧。

进一步的,所述悬臂上设置有挂钩、液位探测传感器和驱动气缸,所述镀膜夹具设置在挂钩上,所述液位探测传感器给所述驱动气缸发出信号。

进一步的,所述镀膜夹具由框架、V型垫块、压块组成。

本实用新型的有益效果是:可通过控制系统驱动装置的二维运动,自动找到所需要的镀膜溶液,完成镀膜;采用多个镀膜槽,可以根据需要选用不同的镀膜溶液;带自动循环过滤功能和自动取、放料功能。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

图2是图1的侧视图。

图3是本实用新型的立体图。

图4是本实用新型的镀膜槽的示意图。

具体实施方式

如图1-3所示,本实用新型的镀膜机包括踏板1、机座2、平移导轨3、平移伺服电机、机身4、升降伺服电机6、升降导轨、悬臂8、镀膜夹具9、镀膜槽10。

防滑踏板1最好采用镂空设计,并通过螺栓固定在地面上;机座2也通过螺栓固定在地面上;平移导轨3与机座2通过螺栓连接固定,机身4通过滑块与平移导轨3连接,并可通过平移伺服电机驱动丝杆旋转从而使机身4在平移导轨3上左右移动,机身4通过螺栓与滑块固定;升降伺服电机6通过电机座与机身4连接,升降导轨通过螺栓与机身4连接固定,悬臂8通过滑块与升降导轨连接,并可通过升降伺服电机6驱动丝杆旋转从而使悬臂8在升降导轨上上下移动,悬臂8通过螺栓与滑块固定;镀膜槽10通过螺栓与踏板1固定。

机身4和平移导轨3上还设置有风琴罩5防尘。机座2和机身4采用铸钢铸造,表面经过喷涂处理,防止腐蚀。平移导轨3采用精密宽座直线导轨,导轨高度误差0.005mm,宽度误差0.005mm,与滑块的行走平行度5um/1600mm,保证二维运动的稳定性。丝杆采用研磨丝杆,丝杆直径为32mm。平移伺服电机与丝杆之间的传动采用加配重块方式,以平移伺服电机经过柔性联轴器直接驱动丝杆的方式,有利于排除传动间隙。

如图4所示,镀膜槽10上还设置有密封盖7、管路阀门11、过滤器12、蠕动泵13。镀膜槽10采用不锈钢焊接而成。密封盖7与镀膜槽10采用快速门栓式夹钳锁紧,由于镀膜槽10中镀膜溶液含有94wt%乙醇及二氧化硅颗粒,易挥发,密封盖7可防止乙醇挥发。镀膜槽10内表面采用热喷涂工艺喷涂氟树脂涂层。管路阀门11、过滤器12、蠕动泵13之间的连接管道采用医用级高级硅胶管,可定期对镀膜槽10内的镀膜溶液进行循环过滤。过滤器12可以分离液体中大分子物质、微粒、胶体、有机物,截留细菌、藻类等。循环部分采用蠕动泵13,流体只接触泵管,不接触泵体,非常适合输送敏感、侵蚀性强的流体。蠕动泵13密封性好,具有良好的自吸能力,可空转,防止回流,且维护简单,只需更换泵管。

悬臂8上设置有挂钩、液位探测传感器和驱动气缸。镀膜夹具9设置在挂钩上。悬臂8采用不锈钢板焊接而成,表面抛光,用于悬挂镀膜夹具9。满足承载60KG无明显形变。当镀膜作业时,驱动气缸驱动挂钩下降,镀膜夹具9下降到与镀膜槽10内的镀膜溶液液面一定距离时,液位探测传感器发出信号使驱动气缸停止,挂架自动停止下降,可防止镀膜夹具9的上半部分浸入镀膜溶液中。

镀膜夹具9由框架、V型垫块、压块组成。框架采用不锈钢焊接而成,表面采用抛光或喷涂氟树脂涂层。V形垫块和压块采用聚四氟乙烯材料制成,压块具有调节锁紧功能。

由于整个镀膜作业过程中,对空间环境要求比较高,本实用新型另外配备一套100级的洁净室,工作时上述整个装置都整体放置在洁净室中。洁净室内部洁净度采用几台FFU高效过滤器进行保证,换气次数50次/H。FFU高效过滤器采用斜向出风,另外为了方便监控内外压差,洁净室设置有压差计。

本实用新型的上述二维运动控制、循环过滤系统的控制、液面探测的控制、洁净室FFU高效过滤器的控制,可集中显示在人机显示屏上。

本实用新型的镀膜机主要可用于光学玻璃镀化学膜。由于镀膜所采用的镀膜溶液成分不一样,因此采用多个镀膜槽10(图中画的是4个)。当镀膜时,可以根据需要选用不同的镀膜溶液,装置可通过控制系统驱动装置的二维运动,自动找到所需要的镀膜溶液,完成镀膜。

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