一种测量晶体硅铸锭过程中温度梯度的方法和装置与流程

文档序号:11224604阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种测量晶体硅铸锭过程中温度梯度的方法,包括:(1)提供测试棒和坩埚,坩埚中装有硅熔体,将测试棒置于硅熔体中,向上提拉,测试测试棒在硅熔体中的拉力值F1;(2)调节温度进入长晶阶段,使硅熔体开始形核结晶形成晶体硅,此时坩埚中包括晶体硅、糊状区和未结晶的硅熔体,将测试棒伸入坩埚中并下降直至到达晶体硅的位置,然后将测试棒向上提拉,提拉的速度与步骤(1)的提拉速度相同,实时监测测试棒在提拉过程中的拉力值F变化;当拉力值F与F1相同时,停止提拉,测试此时测试棒的提升高度,提升高度即为糊状区的厚度L;(3)按照公式G=(TL–Ts)/L计算出温度梯度G与糊状区厚度L的数量关系,TL–Ts代表硅熔体TL与晶体硅Ts的温度差。

技术研发人员:钟德京;胡动力;邹军;刘卿;郭栋
受保护的技术使用者:江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
技术研发日:2017.05.26
技术公布日:2017.09.08
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