坩埚的制备方法及坩埚与流程

文档序号:13985321阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种坩埚的制备方法及坩埚,该制备方法包括:步骤1:制备坩埚本体;步骤2:在坩埚本体的底壁和侧壁上涂覆石英砂与磷的混合浆液以形成石英砂‑磷粉层;步骤3:在石英砂‑磷粉层上涂覆氮化硅、硅与磷的混合浆液以形成氮化硅‑硅‑磷层;步骤4:烘干步骤3中的坩埚本体。石英砂‑磷粉层中的磷在利用坩埚铸锭时用于吸附坩埚本体中的金属杂质以防止金属杂质向硅锭中扩散。氮化硅‑硅‑磷层中的磷在硅锭底壁和侧壁形成一层高磷区,这层高磷区就是一层吸杂层,该吸杂层用于将硅锭内的金属杂质吸附到硅锭的外表面,从而提高硅锭的铸锭质量。

技术研发人员:唐骏;常传波;袁聪;杨振帮
受保护的技术使用者:扬州荣德新能源科技有限公司
文档号码:201711286342
技术研发日:2017.12.07
技术公布日:2018.03.20

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