一种托盘的制作方法

文档序号:13442508
一种托盘的制作方法
本实用新型涉及人工晶体生长技术领域,特别涉及一种托盘。

背景技术:
下降法、热交换法、温度梯度法等人工晶体生长技术逐步向多坩埚同时生长的方向发展。为了提高多坩埚生长晶体的产品质量,需要保证各个坩埚所处的环境条件基本一致。这里不仅要保证各个坩埚加热条件与保温的条件一致,同时还需要保证各个坩埚安装基座上温度条件的一致性。

技术实现要素:
本实用新型的目的是提供一种托盘,能够保证用于安装各个坩埚的安装孔处的温度基本保持一致,提高了人工晶体的生长质量。为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种托盘,用于安装坩埚,所述坩埚用于生长人工晶体,所述托盘上设有多个用于一一对应的安装所述坩埚的安装孔,所述托盘中设有用于通入通出冷却媒介的冷却沟槽,所述冷却沟槽的槽向沿多个所述安装孔的排列方向分布,所述冷却沟槽包括分别设于其槽向两端的进料口和出料口。优选地,所述托盘还包括与其同轴分布的固设于其下表面的固定轴,所述固定轴中开设有与所述进料口连通的进料通道、与所述出料口连通的出料通道。优选地,所述托盘的下表面向上凹设形成所述冷却沟槽,所述托盘还包括固设于其下表面的用于封堵所述冷却沟槽的封板。优选地,多个所述安装孔间隔均匀的环设于所述托盘上,所述冷却沟槽包括环设于多个所述安装孔内侧的第一环形槽、至少一圈环设于所述第一环形槽内侧的第二环形槽,所述第一环形槽的一端与所述进料口连通,所述第一环形槽的另一端与最外圈的所述第二环形槽连通。更优选地,所述冷却媒介在最外圈的所述第二环形槽中的流向与所述冷却媒介在所述第一环形槽中的流向相反。更优选地,当所述第二环形槽至少有两圈时,所述冷却媒介在相邻的两圈所述第二环形槽中的流向相反。由于上述技术方案的运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:本实用新型一种托盘,通过在托盘中设置冷却沟槽,并使得该冷却沟槽的槽向沿多个安装孔的排列方向分布,在冷却沟槽中通入冷却媒介,使得各个安装孔处的温度基本保持一致,提高了人工晶体的生长质量和生长效率。附图说明附图1为本实用新型装置的结构示意图;附图2为附图1沿KK线的剖视图。其中:1、托盘;2、安装孔;3、冷却沟槽;4、进料口;5、出料口;6、固定轴;7、进料通道;8、出料通道;9、封板;10、第一环形槽;11、第二环形槽;12、第一连接管道;13、第二连接管道。具体实施方式下面结合附图来对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。参见图1-2所示,上述一种托盘1,用于安装坩埚,该坩埚用于在热场中生长人工晶体。该托盘1上设有多个用于一一对应的安装坩埚的安装孔2,该托盘1中设有用于通入通出冷却媒介的冷却沟槽3,该冷却沟槽3的槽向沿多个安装孔2的排列方向分布,通过这个设置,在冷却沟槽3中通入冷却媒介,使得各个安装孔2处的温度基本保持一致。该冷却沟槽3包括分别设于其槽向两端的进料口4和出料口5。该冷却媒介可以是液态或汽态,在本实施例中,该冷却媒介为冷却水。该托盘1还包括与其同轴分布的固设于其下表面的固定轴6,该固定轴6中开设有与进料口4连通的进料通道7、与出料口5连通的出料通道8。在本实施例中,该托盘1为圆盘,盘面沿水平方向分布。该固定轴6、该进料通道7、该出料通道8均沿竖直方向分布。该托盘1的下表面部分向上凹设形成该冷却沟槽3,该托盘1还包括固设于其下表面的用于封堵该冷却沟槽3的封板9。在本实施例中,该封板9的板面同样沿水平方向分布。多个安装孔2间隔均匀的环设于该托盘1上,该冷却沟槽3包括环设于多个安装孔2内侧的第一环形槽10、至少一圈环设于第一环形槽10内侧的第二环形槽11。多个安装孔2排列形成的环与第一环形槽10之间具有环形间隙,第二环形槽11与第一环形槽10之间同样具有环形间隙。多个安装孔2排列形成的环与第一环形槽10同轴分布,通过这个设置,进一步保证了各个安装孔2处温度的一致性。第二环形槽11与第一环形槽10也同轴分布。第一环形槽10的一端与进料口4连通,第一环形槽10的另一端与最外圈的第二环形槽11连通。在本实施例中,该冷却媒介在最外圈的第二环形槽11中的流向与其在第一环形槽10中的流向相反。当第二环形槽11至少有两圈时,该冷却媒介在相邻的两圈第二环形槽11中的流向也相反,即该冷却沟槽3是回形分布的。同时,相邻的两圈第二环形槽11之间同样具有环形间隙。在本实施例中,该冷却沟槽3包括第一环形槽10,以及一圈半第二环形槽11。该半圈的第二环形槽11的一端与出料口5连通,该半圈的第二环形槽11的另一端与整圈的第二环形槽11连通。在本实施例中,进料口4位于进料通道7的正上方,而出料口5则位于出料通道8的正上方。第一环形槽10的一端通过沿径向分布的第一连接管道12与进料口4连通,半圈的第二环形槽11的一端通过沿径向分布的第二连接管道13与出料口5连通。通过将冷却沟槽3设置为回形分布,保证了冷却沟槽3整体在同一个平面内。减少了托盘1的加工难度和生产成本的同时,也进一步保证了各个安装孔2处温度的一致性。以下具体阐述下本实施例的工作过程:将冷却水从进料通道7通入第一环形槽10中,冷却水在第一环形槽10中流动时,首先对各个安装孔2中的坩埚进行均匀的冷却,使得各个安装孔2处的温度基本保持一致,接着冷却水顺着第二环形槽11继续流动,进一步对各个安装孔2中的坩埚进行均匀的冷却,最后顺着出料通道8流出。上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。...
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