一种托盘的制作方法

文档序号:13442508阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种托盘,用于安装坩埚,所述坩埚用于生长人工晶体,其特征在于:所述托盘上设有多个用于一一对应的安装所述坩埚的安装孔,所述托盘中设有用于通入通出冷却媒介的冷却沟槽,所述冷却沟槽的槽向沿多个所述安装孔的排列方向分布,所述冷却沟槽包括分别设于其槽向两端的进料口和出料口。

2.根据权利要求1所述的一种托盘,其特征在于:所述托盘还包括与其同轴分布的固设于其下表面的固定轴,所述固定轴中开设有与所述进料口连通的进料通道、与所述出料口连通的出料通道。

3.根据权利要求1所述的一种托盘,其特征在于:所述托盘的下表面向上凹设形成所述冷却沟槽,所述托盘还包括固设于其下表面的用于封堵所述冷却沟槽的封板。

4.根据权利要求1所述的一种托盘,其特征在于:多个所述安装孔间隔均匀的环设于所述托盘上,所述冷却沟槽包括环设于多个所述安装孔内侧的第一环形槽、至少一圈环设于所述第一环形槽内侧的第二环形槽,所述第一环形槽的一端与所述进料口连通,所述第一环形槽的另一端与最外圈的所述第二环形槽连通。

5.根据权利要求4所述的一种托盘,其特征在于:所述冷却媒介在最外圈的所述第二环形槽中的流向与所述冷却媒介在所述第一环形槽中的流向相反。

6.根据权利要求4所述的一种托盘,其特征在于:当所述第二环形槽至少有两圈时,所述冷却媒介在相邻的两圈所述第二环形槽中的流向相反。

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