一种托盘的制作方法

文档序号:13442508阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种托盘,用于安装坩埚,坩埚用于生长人工晶体,托盘上设有多个用于一一对应的安装坩埚的安装孔,托盘中设有用于通入通出冷却媒介的冷却沟槽,冷却沟槽的槽向沿多个安装孔的排列方向分布,冷却沟槽包括分别设于其槽向两端的进料口和出料口。本实用新型一种托盘,通过在托盘中设置冷却沟槽,并使得该冷却沟槽的槽向沿多个安装孔的排列方向分布,在冷却沟槽中通入冷却媒介,使得各个安装孔处的温度基本保持一致,提高了人工晶体的生长质量和生长效率。

技术研发人员:李留臣;周正星
受保护的技术使用者:江苏星特亮科技有限公司
文档号码:201720837575
技术研发日:2017.07.11
技术公布日:2018.01.12

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