一种多晶铸锭用异形转角加热器的制作方法

本实用新型涉及一种多晶铸锭用异形转角加热器。

背景技术：

多晶硅铸锭炉加热器主要包括顶部加热器和侧部加热器，侧部加热器通过转角加热器首尾连接，如图1所示，加热器为硅料提供加热源，形成多晶铸锭炉壳体内的加热场。现有技术中的转角加热器加热辐射面积小，加热功率有所欠缺，这就导致晶锭在生长中后期，晶锭四个角温度比中心温度低，导致晶锭在坩埚面优先引晶形成凹型固液界面，从而引起向内横向生长引起晶粒倾斜。

多晶铸锭定向凝固过程所追求的是平坦或微凸型的固液界面，这有利于晶锭中杂质分凝排出，且晶锭在自下而上的生长过程中形成竖直的柱状硅晶体结构。四个角温度比中心温度低，四个角优先长晶，晶锭表面容易凹凸不平引起长晶裂纹，更严重的会导致晶锭整锭隐裂，造成生产损失。

技术实现要素：

本实用新型其目的就在于一种多晶铸锭用异形转角加热器，解决了长晶分凝排杂效果差和晶粒倾斜的问题。

为实现上述目的而采取的技术方案是，一种多晶铸锭用异形转角加热器，包括由4个加热器经4个转角体连接呈口字形结构的异形转角加热器本体，所述转角体包括转角体本体，转角体本体上端设有转角体副体，转角体本体两侧均设有连接体，所述加热器两侧和连接体上均设有相对应的4个固定孔，所述加热器和连接体经固定件固定连接。

有益效果

与现有技术相比本实用新型具有以下优点。

1.长晶固液界面更平坦，改善晶粒倾斜；

2.降低晶锭杂质点，提升晶锭0.5%成品率。

附图说明

以下结合附图对本实用新型作进一步详述。

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型中转角体的结构示意图。

具体实施方式

本装置包括由4个侧部加热器4经4个转角体1连接呈口字形结构的异形转角加热器本体5，如图1、2所示，所述转角体1包括转角体本体11，转角体本体11上端设有转角体副体12，转角体本体11两侧均设有连接体13，所述侧部加热器4两侧和连接体13上设有相对应的4个固定孔3，所述侧部加热器4和连接体13经固定件2固定连接。

所述转角体副体12宽度为100-150mm，转角体副体12和转角体本体11厚度一样、表面齐平且为一体结构。

所述转角体本体11、转角体副体12和侧部加热器4均为高纯等静压石墨材质制成，固定件2为碳碳材质制成。

本实用新型的工作原理为，转角体本体11上增加转角体副体12，这样会增加发热辐射面积，晶锭四个角处受热加强，使得晶锭四周受热更均匀，实现了晶锭长晶固液界面更平坦，解决了长晶分凝排杂效果差和晶粒倾斜的问题。