一种多晶铸锭炉的坩埚盖板的制作方法

文档序号:14681745发布日期:2018-06-12 22:23阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型实施例公开了一种多晶铸锭炉的坩埚盖板,包括具有第一通孔的碳化硅板和具有第二通孔的加强板,碳化硅板的上表面与加强板的下表面固定连接,第一通孔和第二通孔正对设置;碳化硅板的下表面与坩埚的顶端抵接。本实用新型实施例中的多晶铸锭炉的坩埚盖板是由碳化硅板和加强板两部分结合而成的,由于碳化硅板的韧性较低,所以在碳化硅板上设置一层加强板,以确保坩埚盖板的强度,在使用时碳化硅板的一侧与坩埚顶端直接接触,使硅蒸汽直接与碳化硅板接触,由于碳化硅板具有一定的抗腐蚀能力,故可以在一定程度上避免硅蒸汽腐蚀坩埚盖板,并且还可以有效防止向多晶铸锭中引入碳杂质,在提高坩埚盖板的使用寿命的同时,使多晶铸锭的质量提高。

技术研发人员:肖贵云;陈养俊;陈志军;闫灯周;李林东;陈伟;金浩
受保护的技术使用者:晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
技术研发日:2017.09.14
技术公布日:2018.06.12

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