一种掺杂装置用石英杯吊装结构的制作方法

文档序号:14681740发布日期:2018-06-12 22:23阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种掺杂装置用石英杯吊装结构,包括掺杂罐,所述掺杂罐为中空结构,掺杂罐的顶端内壁上焊接有安装座,安装座的底端开设有连接杆槽,连接杆槽内滑动安装有连接杆,且连接杆的一端延伸至连接杆槽外,连接杆的底端连接有石英杯,安装座的两侧均开设有定位通孔,定位通孔与连接杆槽连通,定位通孔内滑动安装有定位卡块,且定位卡块的一端延伸至定位通孔外,定位卡块位于定位通孔外的一端焊接有推板,定位卡块外套设有第一弹簧,第一弹簧的一端焊接在推板上。本实用新型结构简单,使用方便,可以将石英杯快速拆装,操作容易,缩短时间,增加了稳定性和安装性。

技术研发人员:范桂林;李茂欣
受保护的技术使用者:上海磐盟电子材料有限公司
技术研发日:2017.09.29
技术公布日:2018.06.12

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