一种硅芯清洗架的制作方法

文档序号:14681743发布日期:2018-06-12 22:23
一种硅芯清洗架的制作方法

本实用新型属于多晶硅硅芯清洗技术领域;具体的说是涉及一种硅芯清洗架。



背景技术:

多晶硅属于单质硅的一种形态;其在高温熔融状态下,具有较大的化学活泼性,能与几乎任何材料作用;具有半导体性质,是极为重要的优良半导体材料;多晶硅又是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料;多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法,西门子法则主要通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅,硅芯作为改良西门子法工艺生产多晶硅,还原炉内多晶硅料沉积的载体,它的表面洁净程度直接影响到多晶硅成品的品质;硅芯在清洗的过程中主要是通过人工冲洗后然后进入酸洗机内进行酸洗清洗来达到清洗的目的;然而在目前进行人工清洗的过程中,没有良好的硅芯夹持清洗装置,所以提供一种适用于一定长度的硅芯清洗架就显的非常的必要。



技术实现要素:

本实用新型的发明目的:

主要是为了提供一种结构简单适用的硅芯清洗架,使得硅芯在人工清洗的过程中得到可靠的装夹固定,同时有效的保证在硅芯清洗后硅芯装夹部位不会残留沉料,有效的保证了硅芯人工清洗的洁净度等级,在人工清洗后得到较快的干燥,有效的提高硅芯的清洗效率和干燥效率,降低了工人的劳动强度,提高了企业的经济效益。

本实用新型的技术方案为:

提供了一种硅芯清洗架,该硅芯清洗架主要包括多个并排设置的硅芯清洗台座,其中每一个硅芯清洗台座呈U型框架结构设置,在每一个硅芯清洗台座的左右两端面内侧还分别设置有卡接槽,在每一个硅芯清洗台座的卡接槽之间堆叠放置有多个硅芯清洗卡盘,在每一个硅芯清洗台座的左右两端部还分别设置有定位通孔,在定位通孔内穿接的定位芯轴依次将多个硅芯清洗台座穿接固定;在定位芯轴的两端部还通过焊接固定有通风固定板;在通风固定板的上部还设置有悬挂托架。

所述的硅芯清洗卡盘上设置有多个硅芯卡槽,其中每个硅芯卡槽的底部设置为三角形卡底。

在每一个硅芯清洗台座的底部还对称设置有平衡定位孔,在平衡定位孔内穿接的平衡芯轴依次将多个硅芯清洗台座穿接固定。

在每个硅芯卡槽的底部设置的三角形卡底为等腰三角形,且腰长为14mm。

在定位芯轴的两端部焊接固定的通风固定板上设置有键槽型通风口。

在定位芯轴的两端部焊接固定的通风固定板上设置有内外风道组成的旋流通风口。

所述的相邻的硅芯清洗台座之间的距离为300mm。

本实用新型的有益效果是:

该结构装置提供的硅芯清洗架,使得硅芯在人工清洗的过程中不但可以得到可靠的装夹固定,同时有效的保证了在硅芯清洗后硅芯装夹部位不会残留沉料,有效的保证了硅芯人工清洗的洁净度等级,同时在硅芯进行人工清洗后可以得到较快的干燥,有效的提高硅芯的清洗效率和干燥效率,降低了工人的劳动强度,提高了企业的经济效益。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图;

图2为本实用新型的硅芯清洗台座的结构示意图;

图3为本实用新型的硅芯清洗卡盘的结构示意图;

图4为本实用新型的通风固定板的结构示意图之一;

图5为本实用新型的通风固定板的结构示意图之二。

图中;1为硅芯清洗台座;2为卡接槽;3.硅芯清洗卡盘;4为定位通孔;5为定位芯轴;6为通风固定板;7为悬挂托架;8为硅芯卡槽;9为三角形卡底;10为平衡定位孔;11为平衡芯轴;12为键槽型通风口;13为旋流通风口。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式做出详细的描述。

提供了一种硅芯清洗架,该硅芯清洗架主要包括多个并排设置的硅芯清洗台座1,其中每一个硅芯清洗台座呈U型框架结构设置,在每一个硅芯清洗台座的左右两端面内侧还分别设置有卡接槽2,在每一个硅芯清洗台座的卡接槽之间堆叠放置有多个硅芯清洗卡盘3,在每一个硅芯清洗台座的左右两端部还分别设置有定位通孔4,在定位通孔内穿接的定位芯轴5依次将多个硅芯清洗台座穿接固定;在定位芯轴的两端部还通过焊接固定有通风固定板6;在通风固定板的上部还设置有悬挂托架7。

所述的硅芯清洗卡盘上设置有多个硅芯卡槽8,其中每个硅芯卡槽的底部设置为三角形卡底9。

在每一个硅芯清洗台座的底部还对称设置有平衡定位孔10,在平衡定位孔内穿接的平衡芯轴11依次将多个硅芯清洗台座穿接固定。

在每个硅芯卡槽的底部设置的三角形卡底为等腰三角形,且腰长为14mm。

在定位芯轴的两端部焊接固定的通风固定板上设置有键槽型通风口12。

在定位芯轴的两端部焊接固定的通风固定板上设置有内外风道组成的旋流通风口13。

所述的相邻的硅芯清洗台座之间的距离为300mm。

该结构设置的硅芯清洗架结构简单适用,在具体使用的过程中只要将硅芯本体放置在该清洗架上并排设置的硅芯清洗台座上,将硅芯本体放置在清洗卡盘上的硅芯卡槽内,该硅芯清洗卡盘卡接在硅芯清洗台座上的卡接槽内,并且特殊的在每个硅芯卡槽的底部设置为三角形卡底,这样一来在硅芯进行人工冲洗的过程中,不但可以直接冲洗到硅芯与卡接盘的接触部位,避免了后期人工在进一步移动硅芯冲洗的麻烦;而且在硅芯人工冲洗后,可以有效的进行风干;在硅芯装备冲洗的过程中,可以通过将多个硅芯清洗卡盘相互堆叠放置的方式,放置多层的硅芯清洗卡盘在硅芯清洗台座内,从而有效的提高硅芯的清洗效率和清洗数量;在硅芯清洗完毕后通过鼓风机从两端部的通风固定板上设置的键槽型通风口或旋流通风口进行吹风将人工清洗过的硅芯有效的进行风干;为了保证风干过程中的风流效果,相邻的硅芯清洗台座之间的距离为300mm,该结构装置提供的硅芯清洗架,使得硅芯在人工清洗的过程中不但可以得到可靠的装夹固定,同时有效的保证了在硅芯清洗后硅芯装夹部位不会残留沉料,有效的保证了硅芯人工清洗的洁净度等级,同时在硅芯进行人工清洗后可以得到较快的干燥,有效的提高硅芯的清洗效率和干燥效率,降低了工人的劳动强度,提高了企业的经济效益。

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