一种单晶硅加料器的制作方法

文档序号:15127248发布日期:2018-08-08 08:52阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶硅加料器,包括外筒,其特征在于:所述外筒表面设置有多个调节法兰,调节法兰沿外筒轴线方向设置,所述调节法兰上沿其轴线方向设置有多个调节孔,所述调节法兰外套设有导向圈,导向圈上沿圆周方向设置有至少一个定位孔;所述定位孔和调节法兰上的调节孔相对应,在定位孔和调节孔中设置连接件,导向圈通过连接件固定安装在调节法兰上。

2.根据权利要求1所述的单晶硅加料器,其特征在于:所述调节法兰为条形结构,调节孔沿调节法兰长度方向设置在调节法兰的外表面上。

3.根据权利要求2所述的单晶硅加料器,其特征在于:所述导向圈内侧在调节法兰位置设置有与调节法兰配合的导槽。

4.根据权利要求1所述的单晶硅加料器,其特征在于:所述外筒表面设置有四个调节法兰,各调节法兰沿外筒圆周方向均布设置。

5.根据权利要求4所述的单晶硅加料器,其特征在于:所述导向圈上沿圆周方向设置有两个或四个定位孔,所述定位孔在导向圈上均布设置。

6.根据权利要求1所述的单晶硅加料器,其特征在于:所述调节孔和定位孔为螺纹孔,所述连接件为定位螺钉。

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