技术总结
本实用新型公开了一种硅片加热扩散炉，包括炉体和设置于炉体内的多根炉管，炉体上设有控制柜，炉管相互间隔的横向装设于炉体内，且炉管的两端设为炉口和炉尾，且炉口和炉尾于炉体上设有炉门。炉管的炉口、炉尾和炉管的中部分别设有加热元件，炉管内设有石英层，且炉管的炉口和炉尾的外表面分别套设有石棉垫和石棉圈，控制柜实时监控和控制炉体内的温度。本实用新型的炉口和炉尾的外表面分别套设有石棉垫和石棉圈，进而可达到对炉口和炉尾保温的作用，防止其散热导致炉口、炉尾和炉管的中部三点温度不一致影响产品质量，因此，本实用新型采用上述结构不仅可以保证产品质量，还可以防止炉口和炉尾因散热导致炉门处温度过高导致变形的情况。
技术研发人员：赵阿强
受保护的技术使用者：重庆长捷电子有限公司
技术研发日：2017.11.06
技术公布日：2018.07.10