新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统的制作方法

本实用新型涉及扩散源瓶装置技术领域，特别是涉及一种新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统。

背景技术：

现有的扩散源瓶，随着源液的使用，源瓶液位降低，扩散的稳定性受到影响，液位降低到一定程度时，无法继续作业，此时就需要换源。

现有的扩散源瓶需要宕机才可以进行换源，对换源的时间要求较高，受环境影响也较大，换源操作麻烦，换源效率低。

目前，亟需一种便于换源的新型扩散源瓶装置。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统，以解决现有技术中存在的扩散源瓶装置不便于换源的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供的一种新型扩散源瓶装置，包括固定源瓶、进气管、出气管、供液源瓶及挡板；

所述进气管的一端位于所述固定源瓶的外部，所述进气管的另一端位于所述固定源瓶的内部且靠近所述固定源瓶的底部；

所述出气管的一端位于所述固定源瓶的外部，所述出气管的另一端位于所述固定源瓶的内部且靠近所述固定源瓶的顶部；

所述供液源瓶位于所述固定源瓶上方，通过加液管道与所述固定源瓶连通，且所述加液管道的底端靠近所述固定源瓶的底部；

所述挡板设于所述固定源瓶的内部，且所述进气管与所述出气管位于其一侧、所述加液管道位于其另一侧；

所述挡板的顶边高于所述加液管道的底端，所述挡板的侧边与所述固定源瓶的侧壁连接，所述挡板的底边与所述固定源瓶的底部连接，且所述挡板的底部设有通液孔。

进一步地，所述加液管道上设有加液控制阀。

该技术方案的技术效果在于：加液控制阀能够对供液源瓶的加液情况进行控制，从而能够对扩散过程进行调整。

进一步地，所述加液管道上设有与其连通的储液罐；

所述储液罐位于所述固定源瓶的外部。

该技术方案的技术效果在于：储液罐能够储存一定量的源液，作为在固定源瓶与供液源瓶之间的源液缓存元件，能够起到加液缓冲作用，使得固定源瓶内的源液体积波动小，从而使得扩散能够更加稳定地进行；并且，在更换供液源瓶时，储液罐内的源液能够继续补充到固定源瓶内，保证固定源瓶内部液位稳定。

进一步地，所述加液控制阀位于所述供液源瓶与所述储液罐之间。

该技术方案的技术效果在于：加液控制阀不仅能够控制加液情况，还能在更换供液源瓶时封闭加液管道，使得加液过程能够正常进行，扩散免受干扰。

进一步地，所述供液源瓶与所述加液管道活动连接。

该技术方案的技术效果在于：供液源瓶便于更换，使得换源操作简单化，换源速度快，换源效率高，受外界环境的影响小。

进一步地，所述供液源瓶的顶部设有加液口。

该技术方案的技术效果在于：在更换供液源瓶不方便时，可通过加液口对供液源瓶内的源液进行补充，操作方便、灵活。

进一步地，所述挡板的顶边与所述固定源瓶的顶部连接，且所述挡板的顶部设有通气孔。

该技术方案的技术效果在于：挡板的顶部延伸至固定源瓶的顶部，其顶边与固定源瓶的顶部连接，能够更稳定地阻挡由进气口进入的气体流窜到加液管道的底端，使得持续加液能够更加稳定地进行。

进一步地，所述进气管上设有进气控制阀。

该技术方案的技术效果在于：通过进气控制阀对进气情况进行调控。

进一步地，所述出气管上设有出气控制阀。

该技术方案的技术效果在于：通过出气控制阀对出气情况进行调控。

本实用新型还提供一种扩散源瓶系统，包括如前述的新型扩散源瓶装置。

本实用新型提供的新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统，气体由进气管进入固定源瓶，使得固定源瓶内部的源液由出气管扩散而出，供液源瓶内部充有源液，位于固定源瓶上方，随着扩散的进行，固定源瓶内源液的液位下降，当液位下降到加液管道的底端时，气体进入供液源瓶，供液源瓶内的源液落入固定源瓶，补充液位，从而保证固定源瓶内源液的液位平衡，进而使得扩散能够稳定地进行，供液源瓶的设置使得固定源瓶内的源液能够得到持续供给，液位保持恒定，避免了现有的换源操作，当供液源瓶内的源液用尽时，只需更换新的充有源液的供液源瓶即可，解决了现有的扩散源瓶装置不便于换源的问题，适于进行推广应用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有的扩散源瓶装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一提供的一种新型扩散源瓶装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例一提供的一种新型扩散源瓶装置的结构示意图；

图4为本实用新型实施例一提供的一种新型扩散源瓶装置的结构示意图。

附图标记：

100-固定源瓶； 200-进气管； 300-出气管；

400-供液源瓶； 500-挡板； 600-加液管道；

700-储液罐； 201-进气控制阀； 301-出气控制阀；

501-通液孔； 502-通气孔； 601-加液控制阀。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

在本实施例的可选方案中，如图2所示，本实施例提供的一种新型扩散源瓶装置，包括固定源瓶100、进气管200、出气管300、供液源瓶400及挡板500；

进气管200的一端位于固定源瓶100的外部，进气管200的另一端位于固定源瓶100的内部且靠近固定源瓶100的底部；

出气管300的一端位于固定源瓶100的外部，出气管300的另一端位于固定源瓶100的内部且靠近固定源瓶100的顶部；

供液源瓶400位于固定源瓶100上方，通过加液管道600与固定源瓶100连通，且加液管道600的底端靠近固定源瓶100的底部；

挡板500设于固定源瓶100的内部，且进气管200与出气管300位于其一侧、加液管道600位于其另一侧；

并且，挡板500的顶边高于加液管道600的底端，且不封死固定源瓶100的顶部，挡板500的侧边与固定源瓶100的侧壁连接，挡板500的底边与固定源瓶100的底部连接，且挡板500的底部设有通液孔501。

现有的扩散源瓶装置，如图1所示，随着扩散的进行，源瓶内的液位降低，液位降低到一定程度时，无法继续作业，需要换源，而其需要宕机才可以进行换源，对换源的时间要求较高，受环境影响也较大，换源操作麻烦，换源效率低。

在本实施例中，固定源瓶100为封闭瓶体，供液源瓶400也为封闭瓶体；进气管200的一端设置在固定源瓶100的顶部，进气管200的另一端延伸至固定源瓶100的内部，且靠近固定源瓶100的底部；出气管300的一端设置在固定源瓶100的顶部，出气管300的另一端延伸至固定源瓶100的内部，且靠近固定源瓶100的顶部；加液管道600的顶端与固定源瓶100的底部连接，加液管道600的底端延伸至固定源瓶100的内部，且靠近固定源瓶100的底部。

工作时，气体由进气管200进入固定源瓶100，使得固定源瓶100内部的源液由出气管300扩散而出；挡板500对由进气管200进入的气体进行阻挡，防止气体流窜到加液管道600所处区域，通液孔501的设置使得固定源瓶100内的源液能够流通；供液源瓶400内部充满源液，位于固定源瓶100上方，并通过加液管道600与固定源瓶100内的源液连通，进出气体的压力差使得固定源瓶100内的源液维持一定的初始液位，显然，初始液位需高于加液管道600底端所处的平面。

随着扩散的进行，固定源瓶100内源液的液位下降，如图3所示，当液位下降到加液管道600的底端时，气体进入供液源瓶400，供液源瓶400内的源液落入固定源瓶100，进行加液，补充液位，随着源液的落下，固定源瓶100源液的液位升至加液管道600的底端所处位置时，气体受阻而不能进入加液管道600，从而使得固定源瓶100内源液的液位能够保持平衡，使得扩散能够稳定地进行。

供液源瓶400的设置，实现对固定源瓶100的持续加液，使得固定源瓶100内的源液能够得到持续供给，液位保持恒定，避免了现有的换源操作，当供液源瓶400内的源液用尽时，只需更换新的充有源液的供液源瓶400即可，操作方便。

并且，在源使用的过程中，固定源瓶100内的液位保持不变，使得液面以下压力不变，因此无需调整工艺参数来补偿压力变化所带来的实际通源量波动；本装置也解决了传统的源瓶换源时无法完全用完瓶内源，本装置可以不间断使用，节省了POCl3。

在本实施例的可选方案中，加液管道600上设置有加液控制阀601。

在本实施例中，加液控制阀601能够对供液源瓶400的加液情况进行控制，从而能够对扩散进行一定程度的调整；加液控制阀601可选用单向阀。

在本实施例的可选方案中，加液管道600上设有与其连通的储液罐700，储液罐700位于固定源瓶100的外部。

在本实施例中，储液罐700能够储存一定量的源液，作为在固定源瓶100与供液源瓶400之间的源液缓存元件，能够起到加液缓冲作用，使得固定源瓶100内的源液体积波动小，从而使得扩散能够更加稳定地进行；并且，在更换供液源瓶400时，储液罐700内的源液能够继续补充到固定源瓶100内，保证换液过程中固定源瓶100内部的液位稳定。

并且，如图4所示，换源后可以先关闭加液控制阀601，优先使用储液罐700内的源，等新源的温度降至要求温度后再打开加液控制阀601，使用新源，储液罐700与加液控制阀601配合，最大程度地解决了换源后由于温度偏差所造成的大量返工。

在本实施例的可选方案中，加液控制阀601位于供液源瓶400与储液罐700之间。

在本实施例中，加液控制阀601不仅能够控制是否加液、加液速度，还能在更换供液源瓶400时封闭加液管道600，使得加液过程能够正常进行，减小外界环境对扩散作业的影响。

在本实施例的可选方案中，供液源瓶400与加液管道600活动连接。

在本实施例中，供液源瓶400便于更换，使得换源操作简单化，换源速度快，换源效率高，受外界环境的影响小；具体地，供液源瓶400可套接在加液管道600顶端，套接处可匹配安装密封配件，防止源液外溢。

在本实施例的可选方案中，挡板500的顶边与固定源瓶100的顶部连接，且挡板500的顶部设有通气孔502。

在本实施例中，挡板500的顶部延伸至固定源瓶100的顶部，其顶边与固定源瓶100的顶部连接，能够更稳定地阻挡由进气口进入的气体流窜到加液管道600的底端，使得持续加液能够更加稳定地进行。

优选地，挡板500垂直于固定源瓶100的底面，使得挡板500的用料最少，成本最低。

在本实施例的可选方案中，进气管200上设置有进气控制阀201。

在本实施例中，通过进气控制阀201对进气通断和流量进行调控。

在本实施例的可选方案中，出气管300上设置有出气控制阀301。

在本实施例中，通过出气控制阀301对出气通断和流量进行调控。

关于本装置的尺寸，优选地，加液管道600的直径为1.5cm-3cm，储液罐700的直径为8cm-15cm，进气管200的出气口与加液管道600的加液口的距离为5cm-10cm，进气管200、出气管300的直径为0.8cm-1.5cm，固定源瓶100的直径为15cm-20cm。

实施例二：

在本实施例的可选方案中，区别于实施例一，供液源瓶400的顶部设有加液口(图中未示出)。

在本实施例中，在更换供液源瓶400不方便时，可通过加液口对供液源瓶400内的源液进行补充，使得换源操作更加方便，更加灵活。

需要说明的是，通过加液口补充源液时，应将供液源瓶400补满，或者补入部分源液且将供液源瓶400顶部抽真空，而后关闭加液口，使得供液源瓶400内部处于负压状态，保证持续加液过程的正常进行。

实施例三：

在本实施例的可选方案中，本实施例提供的一种扩散源瓶系统，包括如实施例一或实施例二所述的新型扩散源瓶装置。

在本实施例中，进气管200与供气装置连接，出气管300与存储装置连接或直接通过管道连接到扩散源使用场所，实现扩散源的持续供给。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。