新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统的制作方法

技术特征：

1.一种新型扩散源瓶装置，其特征在于，包括固定源瓶、进气管、出气管、供液源瓶及挡板；

所述进气管的一端位于所述固定源瓶的外部，所述进气管的另一端位于所述固定源瓶的内部且靠近所述固定源瓶的底部；

所述出气管的一端位于所述固定源瓶的外部，所述出气管的另一端位于所述固定源瓶的内部且靠近所述固定源瓶的顶部；

所述供液源瓶位于所述固定源瓶上方，通过加液管道与所述固定源瓶连通，且所述加液管道的底端靠近所述固定源瓶的底部；

所述挡板设于所述固定源瓶的内部，且所述进气管与所述出气管位于其一侧、所述加液管道位于其另一侧；

所述挡板的顶边高于所述加液管道的底端，所述挡板的侧边与所述固定源瓶的侧壁连接，所述挡板的底边与所述固定源瓶的底部连接，且所述挡板的底部设有通液孔。

2.根据权利要求1所述的新型扩散源瓶装置，其特征在于，所述加液管道上设有加液控制阀。

3.根据权利要求2所述的新型扩散源瓶装置，其特征在于，所述加液管道上设有与其连通的储液罐；

所述储液罐位于所述固定源瓶的外部。

4.根据权利要求3所述的新型扩散源瓶装置，其特征在于，所述加液控制阀位于所述供液源瓶与所述储液罐之间。

5.根据权利要求1所述的新型扩散源瓶装置，其特征在于，所述供液源瓶与所述加液管道活动连接。

6.根据权利要求1所述的新型扩散源瓶装置，其特征在于，所述供液源瓶的顶部设有加液口。

7.根据权利要求1所述的新型扩散源瓶装置，其特征在于，所述挡板的顶边与所述固定源瓶的顶部连接，且所述挡板的顶部设有通气孔。

8.根据权利要求1所述的新型扩散源瓶装置，其特征在于，所述进气管上设有进气控制阀。

9.根据权利要求1所述的新型扩散源瓶装置，其特征在于，所述出气管上设有出气控制阀。

10.一种扩散源瓶系统，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的新型扩散源瓶装置。