一种单晶炉用废气孔罩的制作方法

本实用新型涉及单晶硅设备技术领域，更具体的说是涉及一种单晶炉用废气孔罩。

背景技术：

单晶炉在拉直单晶的过程中，多晶硅料需要熔化，温度至少1420℃，由于受到石墨件、石英埚等物资的质量问题或者人为操作不当，存在着渗硅、漏硅事故的发生；当事故发生时，高温会从上往下流入到废气孔，通过废气孔流入不锈钢管道，从而烫坏管道，甚至威胁到人身安全，发生更大的安全事故。

因此，如何在发生上述事故时防止废气烫坏管道，保证人员安全是本领域技术人员亟需解决的问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型提供了一种单晶炉用废气孔罩，至少解决了上述技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种单晶炉用废气孔罩，其安装在废气孔上；废气孔设置在单晶炉底盘上；包括：罩盘本体及支撑爪；罩盘本体呈圆形与废气孔适配；支撑爪为多个设置在罩盘本体下部并围设在废气孔周围支撑罩盘本体。

经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种单晶炉用废气孔罩，首先由于在废气孔上设置了废气孔罩，拉晶过程中，由于投料量增大后，多晶料与石英埚反应就会增强，挥发物也会随着增多，增多的挥发物通过排气孔时，通过排气孔罩，改变了挥发物原有的运行路径，既起到了分离、过滤挥发物作用，防止阻塞排气孔，导致整炉液体硅拉不成单晶，造成焖炉；其次，当发生石英埚破裂导致硅液溢流后，由于废气孔罩设于热场内部与排气孔之间，增加了缓冲，一旦发生硅液溢流，有效防止了硅液直接通过排气口流向单晶炉两侧的不锈钢管道，造成不锈钢管道被高温硅溶液烫坏迅速破裂，甚会危及操作者安全的问题。

优选地，罩盘本体为石墨压制而成。防止由于其他材料高温反映生成其他物质，影响单晶质量，石墨材质在高温下，使用寿命长。

优选地，每一个支撑爪均包括固定块和支撑块，固定块与支撑块一体连接，且支撑块连接罩盘本体底部，且其厚度h大于固定块厚度f。其中支撑块厚度h为5-6mm，固定块厚度f为2-3mm。

优选地，固定块与支撑块外侧面处于同一条直线上；支撑块内侧面相对固定块内侧面具有一定斜度或倒角。

采用此方案的效果为：高温气体与挥发物通过废气孔罩的缓冲后，由于斜度与倒角的存在，更有利于气体的排除，保证了排气的通畅。

优选地，支撑爪的高度为50±1mm，其中，支撑块的高度为36±1mm。采用此方案的效果为：由于支撑块具有一定的高度，在保证单晶炉内正常操作的同时，保证了具有一定的缓冲空间。

优选地，罩盘本体顶部具有5X30°-6X45°倒角。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1附图为本实用新型提供的一种单晶炉用废气孔罩安装在废气孔上的的结构示意图；

图2附图为本实用新型提供的一种单晶炉用废气孔罩的主视图；

图3附图为本实用新型提供的一种单晶炉用废气孔罩的仰视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

本实用新型提供的一种单晶炉用废气孔罩，用于安装在废气孔3上；废气孔3设置在单晶炉底盘上；废气孔罩4包括：罩盘本体1及支撑爪2；罩盘本体1呈圆形与废气孔3适配；支撑爪2为多个设置在罩盘本体1下部并围设在废气孔3周围支撑罩盘本体1。

本实用新型公开提供了一种单晶炉用废气孔罩，首先由于在废气孔上设置了废气孔罩4，拉晶过程中，由于投料量增大后，晶料与石英埚反应就会增强，挥发物也会随着增多，增多的挥发物通过排气孔时，通过排气孔罩4，改变了挥发物原有的运行路径，既起到了分离、过滤挥发物作用，防止阻塞排气孔，导致整炉液体硅拉不成单晶，造成焖炉；其次，当发生石英埚破裂导致硅液溢流后，由于废气孔罩设于热场内部与排气孔之间，增加了缓冲，一旦发生硅液溢流，有效防止了硅液直接通过排气口流向单晶炉两侧的不锈钢管道，造成不锈钢管道被高温硅溶液烫坏迅速破裂，甚会危及操作者安全的问题。

有利的，罩盘本体1为石墨压制而成。防止由于其他材料高温反应生成其他物质，影响单晶质量，石墨材质在高温下，使用寿命长。

实施例2

本实用新型提供的一种单晶炉用废气孔罩，用于安装在废气孔3上；废气孔3设置在单晶炉底盘上；废气孔罩4包括：罩盘本体1及支撑爪2；罩盘本体1呈圆形与废气孔3适配；支撑爪2为四个设置在罩盘本体1下部并围设在废气孔3周围支撑罩盘本体1。

有利的，每一个支撑爪2均包括固定块21和支撑块22，固定块21与支撑块22一体连接，且支撑块22厚度h大于固定块21厚度f。其中支撑块22厚度h为5-6mm，固定块21厚度f为2-3mm。

更有利的，固定块21与支撑块22外侧面处于同一条直线上；支撑块22内侧面相对固定块21内侧面具有一定斜度或倒角。

采用此方案的效果为：高温气体与挥发物通过废气孔罩4的缓冲后，由于斜度与倒角的存在，更有利于气体的排除，保证了排气的通畅。

实施例3

本实用新型提供的一种单晶炉用废气孔罩，用于安装在废气孔3上；废气孔3设置在单晶炉底盘上；废气孔罩4包括：罩盘本体1及支撑爪2；罩盘本体1呈圆形与废气孔3适配；支撑爪2为三个设置在罩盘本体1下部并围设在废气孔3周围支撑罩盘本体1。

有利的，每一个支撑爪2均包括固定块21和支撑块22，固定块21与支撑块22一体连接，且支撑块22厚度h大于固定块21厚度f。其中支撑块22厚度h为5-6mm，固定块21厚度f为2-3mm。

更有利的，固定块21与支撑块22外侧面处于同一条直线上；支撑块22内侧面相对固定块21内侧面具有一定斜度或倒角。

其中，支撑爪2的高度为50±1mm，其中，支撑块22的高度为36±1mm。采用此方案的效果为：由于支撑块22具有一定的高度，在保证单晶炉内正常操作的同时，保证了具有一定的缓冲空间。

有利的，罩盘本体1顶部具有5X30°-6X45°倒角。保证工件表面的光洁，降低对于拉晶的影响。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。