一种金刚石单晶生产用籽晶托盘的制作方法

本实用新型涉及籽晶托盘技术领域，尤其涉及一种金刚石单晶生产用籽晶托盘。

背景技术：

微波等离子体化学气相沉积法生长金刚石单晶时，籽晶放置在籽晶托盘的凹坑内，目前所用的籽晶托盘是一种带有阶梯状凹坑的圆柱状籽晶托盘。

公开号为cn204281889u公开了一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘，用于微波等离子体化学气相沉积装置的谐振腔腔体内，置于谐振腔腔体内的基台上，托盘的中心端面开设有凹坑，所述凹坑出口端与托盘端面所在水平面是由斜面过渡连接，所述凹坑大于等于1个，本实用新型是将托盘中心设计成一种凹坑，在金刚石生长过程中能够降低电磁场的不连续性，抑制籽晶边缘处的过快生长，提高金刚石单晶的品质，但用于单晶生产用的籽晶托盘是直接放置在基座上的，但是对于不同实验条件生产单晶时，可能会造成籽晶托盘滑倒翻转，如在倾斜的平台上，基座将不能够很好的将籽晶托盘进行放置，可能会影响金刚石单晶的生产，因此需要一种新型的金刚石单晶生产用籽晶托盘来满足人们的需求。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在不同实验条件生产单晶时，可能会造成籽晶托盘滑倒翻转，如在倾斜的平台上，基座将不能够很好的将籽晶托盘进行放置，可能会影响金刚石单晶生产的缺点，而提出的一种金刚石单晶生产用籽晶托盘。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种金刚石单晶生产用籽晶托盘，包括设备箱，所述设备箱内设有基座，基座的顶侧设有籽晶托盘，籽晶托盘上设有梯形凹槽，所述基座上开设有放置腔，放置腔的底侧内壁上固定安装有滑动杆，滑动杆上滑动套接有滑动块，滑动块上转动安装有两个转杆，转杆上螺纹状开设有滑槽，放置腔的一侧内壁上固定安装有滑杆，滑杆的一端滑动安装在滑槽内，所述转杆的顶端固定安装有挤压块，放置腔内活动安装有挤压板，挤压板的一侧与挤压块的一侧相接触，挤压板的顶侧固定安装有移动杆。

优选的，所述放置腔的一侧内壁上开设有螺纹孔，螺纹孔内螺纹安装有螺纹杆，螺纹杆的两端均延伸至螺纹孔外，螺纹杆的一端转动安装有移块，移块的一侧转动安装有连接杆，连接杆的一端转动安装在滑动块的一侧上,便于带动滑动块在滑动杆上滑动。

优选的，所述放置腔底侧内壁上开设有移槽，移块的底端滑动安装在移槽内。

优选的，所述放置腔的顶侧内壁上开设有移动孔，移动杆的顶端贯穿移动孔，移动杆的一侧固定安装有夹块，夹块与籽晶托盘相适配，便于稳固夹紧籽晶托盘。

优选的，所述放置腔的两侧内壁上固定安装有同一个限位杆，移动杆的一侧开设有限位孔，限位杆的一端贯穿限位孔，限位杆上套接有弹簧，弹簧的两端分别固定安装在两个移动杆相互靠近的一侧上移动杆移动后便于复位。

本实用新型中，所述一种金刚石单晶生产用籽晶托盘，由于设置了滑动块、转杆、滑杆、滑槽、挤压块、挤压板、移动杆、夹块、螺纹孔、螺纹杆、移块、连接杆，实现了螺纹杆转动在螺纹孔的作用下推动移块在移槽内移动，移块移动带动连接杆移动，连接杆移动带动滑动块在滑动杆上滑动，滑动块移动带动转杆移动，转杆移动在滑槽和滑杆的作用下进行自转，转杆转动带动挤压块转动，挤压块转动挤压挤压板，挤压板受到挤压带动移动杆在限位杆上移动，移动杆移动将挤压弹簧，挤压杆移动带动夹块移动，夹块移动将籽晶托盘进行夹紧；

本实用新型结构简单，螺纹杆移动从而带动滑动块移动，滑动块移动在滑杆和滑槽的作用下从而带动挤压块挤压挤压板，挤压板移动从而带动夹块夹紧籽晶托盘，有效解决了籽晶托盘不能够稳固放置的问题，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种金刚石单晶生产用籽晶托盘主视的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种金刚石单晶生产用籽晶托盘图1中a部分的结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种金刚石单晶生产用籽晶托盘挤压块与挤压杆俯视的结构示意图。

图中：1设备箱、2基座、3籽晶托盘、4梯形凹槽、5放置腔、6滑动杆、7滑动块、8转杆、9滑杆、10滑槽、11挤压块、12挤压板、13移动杆、14限位杆、15移动孔、16夹块、17螺纹孔、18螺纹杆、19移块、20连接杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例一

参照图1-3，一种金刚石单晶生产用籽晶托盘，包括设备箱1，设备箱1内设有基座2，基座2的顶侧设有籽晶托盘3，籽晶托盘3上设有梯形凹槽4，基座2上开设有放置腔5，放置腔5的底侧内壁上固定安装有滑动杆6，滑动杆6上滑动套接有滑动块7，滑动块7上转动安装有两个转杆8，转杆8上螺纹状开设有滑槽10，放置腔5的一侧内壁上固定安装有滑杆9，滑杆9的一端滑动安装在滑槽10内，转杆8的顶端固定安装有挤压块11，放置腔5内活动安装有挤压板12，挤压板12的一侧与挤压块11的一侧相接触，挤压板12的顶侧固定安装有移动杆13。

本实用新型中，放置腔5的一侧内壁上开设有螺纹孔17，螺纹孔17内螺纹安装有螺纹杆18，螺纹杆18的两端均延伸至螺纹孔17外，螺纹杆18的一端转动安装有移块19，移块19的一侧转动安装有连接杆20，连接杆20的一端转动安装在滑动块7的一侧上,便于带动滑动块7在滑动杆6上滑动。

本实用新型中，放置腔5底侧内壁上开设有移槽，移块19的底端滑动安装在移槽内。

本实用新型中，放置腔5的顶侧内壁上开设有移动孔15，移动杆13的顶端贯穿移动孔15，移动杆13的一侧固定安装有夹块16，夹块16与籽晶托盘3相适配，便于稳固夹紧籽晶托盘3。

本实用新型中，放置腔5的两侧内壁上固定安装有同一个限位杆14，移动杆13的一侧开设有限位孔，限位杆14的一端贯穿限位孔，限位杆14上套接有弹簧，弹簧的两端分别固定安装在两个移动杆13相互靠近的一侧上移动杆13移动后便于复位。

实施例二

参照图1-3，一种金刚石单晶生产用籽晶托盘，包括设备箱1，设备箱1内设有基座2，基座2的顶侧设有籽晶托盘3，籽晶托盘3上设有梯形凹槽4，基座2上开设有放置腔5，放置腔5的底侧内壁上通过螺栓固定安装有滑动杆6，滑动杆6上滑动套接有滑动块7，滑动块7上通过销轴转动安装有两个转杆8，转杆8上螺纹状开设有滑槽10，放置腔5的一侧内壁上通过螺栓固定安装有滑杆9，滑杆9的一端滑动安装在滑槽10内，转杆8的顶端通过螺栓固定安装有挤压块11，放置腔5内活动安装有挤压板12，挤压板12的一侧与挤压块11的一侧相接触，挤压板12的顶侧通过螺栓固定安装有移动杆13。

本实用新型中，放置腔5的一侧内壁上开设有螺纹孔17，螺纹孔17内螺纹安装有螺纹杆18，螺纹杆18的两端均延伸至螺纹孔17外，螺纹杆18的一端通过销轴转动安装有移块19，移块19的一侧通过销轴转动安装有连接杆20，连接杆20的一端通过销轴转动安装在滑动块7的一侧上,便于带动滑动块7在滑动杆6上滑动。

本实用新型中，放置腔5底侧内壁上开设有移槽，移块19的底端滑动安装在移槽内。

本实用新型中，放置腔5的顶侧内壁上开设有移动孔15，移动杆13的顶端贯穿移动孔15，移动杆13的一侧通过螺栓固定安装有夹块16，夹块16与籽晶托盘3相适配，便于稳固夹紧籽晶托盘3。

本实用新型中，放置腔5的两侧内壁上通过螺栓固定安装有同一个限位杆14，移动杆13的一侧开设有限位孔，限位杆14的一端贯穿限位孔，限位杆14上套接有弹簧，弹簧的两端分别通过螺栓固定安装在两个移动杆13相互靠近的一侧上移动杆13移动后便于复位。

本实用新型中，当籽晶托盘3放置在基座2上时需要进行固定，旋转螺纹杆18，螺纹杆18转动在螺纹孔17的作用下推动移块19在移槽内移动，移块19移动带动连接杆20移动，连接杆20移动带动滑动块7在滑动杆6上滑动，滑动块7移动带动转杆8移动，转杆8移动在滑槽10和滑杆9的作用下进行自转，转杆8转动带动挤压块11转动，挤压块11转动挤压挤压板12，挤压板12受到挤压带动移动杆13在限位杆14上移动，移动杆13移动将挤压弹簧，挤压杆12移动带动夹块16移动，夹块16移动将籽晶托盘3进行夹紧，便于将籽晶托盘3夹紧固定在基座2上，使用方便。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。