一种60KG蓝宝石晶体成长用改进型温场的制作方法

本实用新型涉及单晶炉热场技术领域，具体为一种60kg蓝宝石晶体成长用改进型温场。

背景技术：

蓝宝石单晶具有优异的机械、光学、热学、力学等方面的性能，被广泛的用作半导体衬底、消费类电子产品、航空航天、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料等方面，热场温梯较小，温度分布不均，导致能耗过大、生产效率较低、保温性能差，损耗较多等问题因此，不能满足人们的需求。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种60kg蓝宝石晶体成长用改进型温场，结构简单，生产方便，不但使得保温效果更好，而且保温更全面，可以节省大量的能源，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种60kg蓝宝石晶体成长用改进型温场，包括加热组件、支撑装置、底隔热屏、坩埚组件和上端隔热组件；

支撑装置：所述支撑装置包括底座，所述底座的上表面设有外部连接桶，外部连接桶的内侧设有环形氧化锆纤维隔热层，所述环形氧化锆纤维隔热层的内侧设有防护钨桶；

坩埚组件：所述坩埚组件设置在底座的上表面中心，且坩埚组件设置在防护钨桶的内部；

底隔热屏：所述底隔热屏设置在底座的上表面，且底隔热屏上设有与坩埚组件对应的通孔；

加热组件：所述加热组件包括加热钨丝，且加热钨丝与坩埚组件的支撑杆上端外侧连接，所述加热钨丝的上端设有支撑环，支撑环的侧面设有电极；

上端隔热组件：所述上端隔热组件包括l型架，所述l型架上均匀设有固定杆，固定杆下端之间设有隔热屏，隔热屏的中间设有通孔，所述隔热屏的下方设有隔热盖屏，隔热盖屏的中间设有锥形通孔；

其中：还包括籽晶夹头，所述籽晶夹头位于隔热屏的通孔中间。

进一步的，所述防护钨桶为组合装，并且防护钨桶包括两个连接桶，连接桶上下相互卡接，通过两个连接桶使得对防护钨桶组装更方便，使得安装更牢固。

进一步的，所述底隔热屏包括下端钼片层，所述下端钼片层的上表面设有中部氧化锆纤维隔热层，且中部氧化锆纤维隔热层的上表面设有上端钼片层，通过中部氧化锆纤维隔热层可以进行隔热，使得隔热效果更好，防止热量流失。

进一步的，所述加热钨丝为网桶状，且加热钨丝下端设有三个环形加热网，通过三个环形加热网使得对坩埚加热效果更好，为人们提供了方便。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本60kg蓝宝石晶体成长用改进型温场，具有以下好处：

1、本实用新型上设置了环形氧化锆纤维隔热层，通过环形氧化锆纤维隔热层使得保温效果更好，以此可以降低热量的损耗，节省了大量的电能，能够满足人们的需求。

2、本实用新型上设置了隔热盖屏和隔热屏，通过隔热盖屏和隔热屏可以对设备的上端进行保温，使得隔热效果更好，可以有效的提高良品率，降低了生产的成本。

3、本实用新型上设置了中部氧化锆纤维隔热层，通过中部氧化锆纤维隔热层可以对设备底部进行隔热，使得保温效果更全面，该60kg蓝宝石晶体成长用改进型温场结构简单，生产方便，不但使得保温效果更好，而且保温更全面，可以节省大量的能源。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中：1加热组件、11电极、12支撑环、13加热钨丝、2支撑装置、21外部连接桶、22环形氧化锆纤维隔热层、23底座、24防护钨桶、3底隔热屏、31下端钼片层、32中部氧化锆纤维隔热层、33上端钼片层、4坩埚组件、41支撑杆、42坩埚、5上端隔热组件、51隔热盖屏、52隔热屏、53l型架、6.籽晶夹头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种60kg蓝宝石晶体成长用改进型温场，包括加热组件1、支撑装置2、底隔热屏3、坩埚组件4和上端隔热组件5；

支撑装置2：支撑装置2包括底座23，底座23的上表面设有外部连接桶21，外部连接桶21的内侧设有环形氧化锆纤维隔热层22环形氧化锆纤维隔热层22的内侧设有防护钨桶24，通过环形氧化锆纤维隔热层22使得保温效果更好，以此可以降低热量的损耗，节省了大量的电能，能够满足人们的需求；

坩埚组件4：坩埚组件4设置在底座23的上表面中心，且坩埚组件4设置在防护钨桶24的内部；

底隔热屏3：底隔热屏3设置在底座23的上表面，且底隔热屏3上设有与坩埚组件4对应的通孔；

加热组件1：加热组件1包括加热钨丝13，且加热钨丝13与坩埚组件4的支撑杆41上端外侧连接，加热钨丝13的上端设有支撑环12，支撑环12的侧面设有电极11；

上端隔热组件5：上端隔热组件5包括l型架53，l型架53上均匀设有固定杆，固定杆下端之间设有隔热屏52，隔热屏52的中间设有通孔，隔热屏52的下方设有隔热盖屏51，隔热盖屏51的中间设有锥形通孔，通过隔热盖屏51和隔热屏52可以对设备的上端进行保温，使得隔热效果更好；

其中：还包括籽晶夹头6，籽晶夹头6位于隔热屏52的通孔中间，防护钨桶24为组合装，并且防护钨桶24包括两个连接桶，连接桶上下相互卡接，通过两个连接桶使得对防护钨桶24组装更方便，使得安装更牢固，底隔热屏3包括下端钼片层31，下端钼片层31的上表面设有中部氧化锆纤维隔热层32，且中部氧化锆纤维隔热层32的上表面设有上端钼片层33，通过中部氧化锆纤维隔热层32可以进行隔热，使得隔热效果更好，防止热量流失，加热钨丝13为网桶状，且加热钨丝13下端设有三个环形加热网，通过三个环形加热网使得对坩埚42加热效果更好，为人们提供了方便，该60kg蓝宝石晶体成长用改进型温场结构简单，生产方便，不但使得保温效果更好，而且保温更全面，可以节省大量的能源。

在使用时：通过环形氧化锆纤维隔热层22使得保温效果更好，以此可以降低热量的损耗，通过中部氧化锆纤维隔热层32可以对设备底部进行隔热，通过隔热盖屏51和隔热屏52对设备的上端进行保温，且通过隔热盖屏51和隔热屏52对设备的上端进行保温。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种60kg蓝宝石晶体成长用改进型温场，其特征在于：包括加热组件、支撑装置、底隔热屏、坩埚组件和上端隔热组件；

支撑装置：所述支撑装置包括底座，所述底座的上表面设有环形氧化锆纤维隔热层，所述环形氧化锆纤维隔热层的内侧设有外部连接桶，所述外部连接桶的内侧设有防护钨桶；

坩埚组件：所述坩埚组件设置在底座的上表面中心，且坩埚组件设置在防护钨桶的内部；

底隔热屏：所述底隔热屏设置在底座的上表面，且底隔热屏上设有与坩埚组件对应的通孔；

加热组件：所述加热组件包括加热钨丝，且加热钨丝与坩埚组件的支撑杆上端外侧连接，所述加热钨丝的上端设有支撑环，支撑环的侧面设有电极；

上端隔热组件：所述上端隔热组件包括l型架，所述l型架上均匀设有固定杆，固定杆下端之间设有隔热屏，隔热屏的中间设有通孔，所述隔热屏的下方设有隔热盖屏，隔热盖屏的中间设有锥形通孔；

其中：还包括籽晶夹头，所述籽晶夹头位于隔热屏的通孔中间。

2.根据权利要求1所述的一种60kg蓝宝石晶体成长用改进型温场，其特征在于：所述防护钨桶为组合装，并且防护钨桶包括两个连接桶，连接桶上下相互卡接。

3.根据权利要求1所述的一种60kg蓝宝石晶体成长用改进型温场，其特征在于：所述底隔热屏包括下端钼片层，所述下端钼片层的上表面设有中部氧化锆纤维隔热层，且中部氧化锆纤维隔热层的上表面设有上端钼片层。

4.根据权利要求1所述的一种60kg蓝宝石晶体成长用改进型温场，其特征在于：所述加热钨丝为网桶状，且加热钨丝下端设有三个环形加热网。

技术总结
本实用新型公开了一种60KG蓝宝石晶体成长用改进型温场，包括加热组件、支撑装置、底隔热屏、坩埚组件和上端隔热组件；支撑装置：所述支撑装置包括底座，所述底座的上表面设有环形氧化锆纤维隔热层，所述环形氧化锆纤维隔热层的内侧设有外部连接桶，所述外部连接桶的内侧设有防护钨桶；坩埚组件：所述坩埚组件设置在底座的上表面中心，且坩埚组件设置在防护钨桶的内部；底隔热屏：所述底隔热屏设置在底座的上表面，通过中部氧化锆纤维隔热层可以对设备底部进行隔热，使得保温效果更全面，该60KG蓝宝石晶体成长用改进型温场结构简单，生产方便，不但使得保温效果更好，而且保温更全面，可以节省大量的能源。

技术研发人员：李兴中
受保护的技术使用者：河南晶鸿光电科技有限公司
技术研发日：2019.10.30
技术公布日：2020.08.04