一种保温型退火炉的制作方法

本实用新型涉及退火炉技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种保温型退火炉。

背景技术：

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

但是在实际使用时，现有的退火炉，大多数无法在保温层不破坏的情况下进行拆卸，不利于对退火炉的维护。

技术实现要素：

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种保温型退火炉，通过设置固定机构，将保温罩放置在防护罩内部，使滑块滑槽内部进行滑动，而固定块与保温罩底部的第二固定槽内部相卡合，从而对保温罩进行固定，当保温罩固定好后，在将退火炉本体放置在放置块内部，便于对退火炉进行保温，而保温罩便于进行拆卸，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种保温型退火炉，包括防护罩，所述防护罩内部设置有固定机构；

所述固定机构包括保温罩，所述保温罩设置在防护罩内部，所述防护罩外部两侧均设置有滑块，所述防护罩内腔两侧均设置有滑槽，所述滑块一侧与保温罩外部一侧固定连接，所述滑块另一侧与滑槽内部滑动连接，所述防护罩内腔底部设置有第一固定槽，所述第一固定槽内部设置有固定块，所述保温罩底部设置有第二固定槽，所述固定块底部与第一固定槽内腔底部固定连接，所述固定块顶部与第二固定槽内腔顶部可拆卸连接，所述保温罩外部两侧均设置有把手，所述把手一侧与保温罩外部一侧固定连接，所述保温罩内腔底部设置有放置块，所述放置块底部与保温罩内腔底部固定连接，所述放置块内部设置有退火炉本体，所述退火炉本体底部与放置块内腔底部可拆卸连接。

在一个优选地实施方式中，所述保温罩内部设置有保温机构，所述保温机构包括保热耐火砖，所述保热耐火砖设置在保温罩内部。

在一个优选地实施方式中，所述保热耐火砖一侧设置有隔热板，所述保热耐火砖与隔热板之间设置有岩棉保温板。

在一个优选地实施方式中，所述岩棉保温板一侧与保热耐火砖一侧固定连接，所述岩棉保温板另一侧与隔热板一侧固定连接。

在一个优选地实施方式中，所述隔热板一侧设置有钢板，所述钢板一侧与隔热板一侧固定连接。

在一个优选地实施方式中，所述防护罩底部设置有底座，所述底座顶部与防护罩底部固定连接。

在一个优选地实施方式中，所述底座底部设置有防护垫，所述防护垫由海绵材质制成。

本实用新型的技术效果和优点：

1、通过设置固定机构，将保温罩放置在防护罩内部，而保温罩外部两侧的滑块，在防护罩内腔两侧的滑槽内部进行滑动，保温罩移动到一定位置后，使防护罩内腔底部的第一固定槽内部的固定块与保温罩底部的第二固定槽内部相卡合，从而对保温罩进行固定，增强保温罩的稳定性，当保温罩固定好后，将退火炉本体放置在保温罩内腔底部的放置块内部，便于对退火炉进行保温，而保温罩便于进行拆卸；

2、通过设置保温机构，温罩内部的保热耐火砖，可以提高了保温罩内部的热效率，隔热板可以对保护罩进行隔热，防止工作人员接触保护罩，造成伤害，钢板可以进一步保存退火炉本体内部的热量，从而对退火炉本体进行保温，增强退火炉本体的保温性，而防护罩底部的底座，可以对防护罩底部进行防护。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的防护罩内部具体结构示意图。

图3为本实用新型的固定机构具体结构示意图。

图4为本实用新型的辅助机构具体结构示意图。

附图标记为：1、防护罩；2、保温罩；3、滑块；4、滑槽；5、固定块；6、把手；7、放置块；8、退火炉本体；9、保热耐火砖；10、隔热板；11、岩棉保温板；12、钢板；13、底座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如附图1-4所示的一种保温型退火炉，包括防护罩1，防护罩1内部设置有固定机构；

固定机构包括保温罩2，保温罩2设置在防护罩1内部，防护罩1外部两侧均设置有滑块3，防护罩1内腔两侧均设置有滑槽4，滑块3一侧与保温罩2外部一侧固定连接，滑块3另一侧与滑槽4内部滑动连接，防护罩1内腔底部设置有第一固定槽，第一固定槽内部设置有固定块5，保温罩2底部设置有第二固定槽，固定块5底部与第一固定槽内腔底部固定连接，固定块5顶部与第二固定槽内腔顶部可拆卸连接，保温罩2外部两侧均设置有把手6，把手6一侧与保温罩2外部一侧固定连接，保温罩2内腔底部设置有放置块7，放置块7底部与保温罩2内腔底部固定连接，放置块7内部设置有退火炉本体8，退火炉本体8底部与放置块7内腔底部可拆卸连接。

如附图4所示的，保温罩2内部设置有保温机构，保温机构包括保热耐火砖9，保热耐火砖9设置在保温罩2内部，提高了保温罩2内部的热效率。

如附图4所示的，保热耐火砖9一侧设置有隔热板10，保热耐火砖9与隔热板10之间设置有岩棉保温板11，隔热板10便于对保护罩进行隔热，防止工作人员接触保护罩，造成伤害。

如附图4所示的，岩棉保温板11一侧与保热耐火砖9一侧固定连接，岩棉保温板11另一侧与隔热板10一侧固定连接，岩棉保温板11便于将隔热板10与保热耐火砖9进行固定。

如附图4所示的，隔热板10一侧设置有钢板12，钢板12一侧与隔热板10一侧固定连接，钢板12便于进一步保存热量。

如附图1所示的，防护罩1底部设置有底座13，底座13顶部与防护罩1底部固定连接，底座13便于对防护罩1底部进行防护。

如附图1所示的，底座13底部设置有防护垫，防护垫由海绵材质制成，防护垫便于对底座13进行防护。

本实用新型工作原理：使用前，先将防护罩1放置在使用位置，而防护罩1底部的底座13，可以对防护罩1底部进行防护，防止防护罩1与地面直接接触，延长防护罩1的使用寿命，当防护罩1放置好后，将保温罩2放置在防护罩1内部，而使滑块3在滑槽4内部进行滑动，保温罩2移动到一定位置后，使防护罩1内腔底部的固定块5与保温罩2底部的第二固定槽内部相卡合，从而对保温罩2进行固定，增强保温罩2的稳定性，当保温罩2固定好后，将退火炉本体8放置在保温罩2内腔底部的放置块7内部，便于对退火炉本体8进行放置，增强退火炉的稳定性，而保温罩2内部的保热耐火砖9，可以提高了保温罩2内部的热效率，隔热板10可以对保护罩进行隔热，防止工作人员接触保护罩，造成伤害，钢板12可以进一步保存退火炉本体8内部的热量，从而对退火炉本体8进行保温。

最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；

其次：本实用新型公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本实用新型同一实施例及不同实施例可以相互组合；

最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。