一种喷淋装置的制作方法

文档序号:25543869发布日期:2021-06-18 20:41
一种喷淋装置的制作方法

本发明涉及半导体及显示面板技术领域,尤其涉及一种喷淋装置。



背景技术:

目前,在半导体及显示面板行业中,玻璃表面化学沉积的方法多采用水平沉积或单面悬挂沉积,通过输送滚轮外加喷嘴喷洒,以达到工艺基板表面形成化学沉积的目的。但是这种常规的沉积方法仅能应对比较粗犷、对工艺结果没有高要求的产品,无法适用在半导体及显示面板领域。所以亟需一种喷淋装置,能够在半导体及显示面板领域内,保证工艺基板喷洒喷淋液更加均匀,即能够有利于形成均匀的化学沉积,以提高工艺基板的沉积质量。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种喷淋装置,能够在工艺基板上喷洒喷淋液更加均匀,有利于形成均匀的化学沉积,以提高工艺基板沉积质量。

为达此目的,本发明采用以下技术方案:

一种喷淋装置,包括:

喷淋槽,所述喷淋槽内设置有容置腔以容置喷淋液;

喷流盒,所述喷流盒设置在所述容置腔内,所述喷流盒内设置有喷流腔以容置所述喷淋液,所述喷流盒包括喷流板、回流板和回流管,所述回流管依次穿过所述喷流板和所述回流板以连通所述喷流盒两侧的所述容置腔,所述喷流板上未设置所述回流管处间隔均匀开设有多个喷流孔,所述喷流孔连通所述喷流腔与所述容置腔,工艺基板浸没在所述喷淋槽内的所述喷淋液内,且所述工艺基板设置在所述喷流盒设置有所述喷流孔的一侧;

输液管路,所述输液管路的一端连通所述容置腔,另一端连通所述喷流腔。

可选地,所述喷流盒设置有两个,两个所述喷流盒的所述喷流板相对设置,所述工艺基板设置在两个所述喷流盒之间,所述输液管路相应设置有两套以分别与两个所述喷流盒连通。

可选地,还包括与所述喷流盒连接的汇流盒,所述汇流盒内设置有汇流腔,所述汇流腔连通所述输液管路和所述喷流腔。

可选地,所述汇流盒设置有两套,两套所述汇流盒分别连接于两个所述喷流盒,每套所述汇流盒设置有两组,两组所述汇流盒分别设置在所述喷流盒的上下两端,每组所述汇流盒设置有一个或多个,所述输液管路被配置为每个所述汇流盒能够与一个所述输液管路连通。

可选地,所述喷流盒的上下两端均设置有多个分流孔,所述分流孔连通所述汇流腔和所述喷流腔。

可选地,还包括调节阀,所述调节阀设置在所述输液管路连接所述汇流盒一端的管路上。

可选地,还包括泵,所述泵设置在所述输液管路上。

可选地,所述回流管在所述喷流腔内间隔设置有多个。

可选地,所述喷淋槽内设置有滑轨,所述喷流盒设置在所述滑轨上以调节所述喷流盒的位置。

可选地,所述滑轨上设置有定位件,所述定位件能够固定所述喷流盒的位置。

本发明的有益效果:

本发明提供了一种喷淋装置,包括喷淋槽、喷流盒和输液管路,其中,喷淋槽内设置有容置腔以容置喷淋液,喷流盒设置在容置腔内,喷流盒内设置有喷流腔以容置喷淋液,喷流盒包括喷流板、回流板和回流管,回流管依次穿过喷流板和回流板以连通喷流盒两侧的容置腔,喷流板上未设置回流管处间隔均匀开设有多个喷流孔,喷流孔连通喷流腔与容置腔,工艺基板浸没在喷淋槽内的喷淋液内,且工艺基板设置在喷流盒设置有喷流孔的一侧,输液管路的一端连通容置腔,另一端连通喷流腔。该喷淋装置通过喷流盒的喷流板上间隔设置的多个喷流孔向工艺基板喷洒喷淋液,喷流孔设置在喷流板上未设置回流管处,且喷流孔间隔均匀设置,有利于喷洒喷淋液的均匀性。此外,从工艺基板处反弹的喷淋液通过喷流盒的回流管流至喷流盒的另一侧,避免了反弹的喷淋液沿工艺基板的板面流动,从而影响喷淋液向工艺基板的喷洒。并且该喷淋装置通过输液管路,可实现喷淋液从喷淋槽的容置腔流至喷流盒的喷流腔内,以形成喷淋液的循环流动,有利于保证喷淋液成分的均匀性。所以,该喷淋装置能够在工艺基板上喷洒喷淋液更加均匀,有利于形成均匀的化学沉积,以提高工艺基板沉积质量。

附图说明

图1是本发明实施例所提供的喷淋装置的结构示意图;

图2是本发明实施例所提供的喷淋装置的喷流盒和汇流盒的结构示意图;

图3是本发明实施例所提供的喷淋装置的喷流盒的局部结构示意图。

图中:

1、喷淋槽;

2、喷流盒;21、喷流板;22、回流板;23、回流管;211、喷流孔;212、第一回流孔;

3、工艺基板;

4、汇流盒;

5、输液管路;51、输出管路;52、输入管路;

6、泵;

7、调节阀。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部。

在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

如图1-图3所示,本实施例提供了一种喷淋装置,包括:喷淋槽1、喷流盒2和输液管路5。其中,喷淋槽1内设置有容置腔以容置喷淋液,喷流盒2设置在容置腔内,喷流盒2内设置有喷流腔以容置喷淋液,喷流盒2包括喷流板21、回流板22和回流管23,回流管23依次穿过喷流板21和回流板22以连通喷流盒2两侧的容置腔,喷流板21上未设置回流管23处间隔均匀开设有多个喷流孔211,喷流孔211用以连通喷流腔与容置腔,工艺基板3浸没在喷淋槽1内的喷淋液内,且工艺基板3设置在喷流盒2设置有喷流孔211的一侧,输液管路5的一端连通容置腔,另一端连通喷流腔。该喷淋装置通过喷流盒2的喷流板21上间隔设置的多个喷流孔211向工艺基板3喷洒喷淋液,喷流孔211设置在喷流板21上未设置回流管23处,且喷流孔211间隔均匀设置,有利于喷洒喷淋液的均匀性。此外,从工艺基板3处反弹的喷淋液通过喷流盒2的回流管23流至喷流盒2的另一侧,避免了反弹的喷淋液沿工艺基板3的板面流动,从而影响喷淋液向工艺基板3的喷洒。并且该喷淋装置通过输液管路5,可实现喷淋液从喷淋槽1的容置腔流至喷流盒2的喷流腔内,以形成喷淋液的循环流动,有利于保证喷淋液成分的均匀性。所以,该喷淋装置能够在玻璃上喷洒喷淋液更加均匀,有利于形成均匀的化学沉积,以提高工艺基板沉积质量。

可选地,在本实施例中,工艺基板3与喷流盒2均竖直设置在喷淋槽1内,且二者平行设置,以使喷淋的均匀性更佳。由于多个喷流孔211均设置在喷流板21上未设置回流管23处,所以为了保证喷流孔211在整个喷流板21上均匀分布,可选地,回流管23在喷流腔内间隔设置有多个,且多个回流管23均匀分布在喷流盒2内。如图3所示,回流管23穿过喷流板21,且在喷流板21上开通了第一回流孔212,回流管23穿过回流板22,且在回流板22上开通了第二回流孔(图2中未示出)。可选地,喷流孔211均匀设置在第一回流孔212的周围,且由于喷流孔211的孔径更小,数量更多,能够一定程度上保证喷流孔211整体上分布的均匀性。

为了提高喷淋效率,即实现一块工艺基板3的两面同时喷淋,或者使两块工艺基板3同时实现单面喷淋,可选地,喷流盒2设置有两个,两个喷流盒2的喷流板21相对设置,工艺基板3设置在两个喷流盒2之间,输液管路5相应设置有两套,一套输液管路5用于连通容置腔与一个喷流盒2的喷流腔,另一套输液管路5用于连通容置腔与另一个喷流盒2的喷流腔。

为了使从输液管路5流至喷流盒2的喷流腔内的喷淋液成分较为均匀,可选地,该喷淋装置还包括与喷流盒2连接的汇流盒4,汇流盒4内设置有汇流腔,汇流腔连通输液管路5和喷流腔。喷淋液从输液管路5先流至汇流盒4的汇流腔内,在汇流腔内混合混合后再流至喷流盒2的喷流腔内。可选地,汇流盒4设置有两套,两套汇流盒4分别连接于两个喷流盒2,即一套汇流盒4与一个喷流盒2连接,另一套汇流盒4与另一个喷流盒2连接。并且每套汇流盒4设置有两组,两组汇流盒4分别设置在喷流盒2的上下两端,每组汇流盒4设置有一个或多个,输液管路5被配置为每个汇流盒4能够与一个输液管路5连通。如图2所示,在本实施例中,一个喷流盒2的上端设置有三个汇流盒4,下端设置有三个汇流盒4。当然在其他实施例中汇流盒4设置的数量可以不同,在此不做赘述。每个输液管路5包括相连通的输出管路51和输入管路52,且输出管路51与喷淋槽1的容置腔连通,输入管路52与喷流盒2的喷流腔连通。可选地,在本实施例中,一个输出管路51同时与两个输入管路52连通,且一个输入管路52连通上端的一个汇流盒4,另一个输入管路52连通下端的一个汇流盒4。即以上述上下均设置三个汇流盒4为例,与一个喷流盒2连通的输液管路5有三个,每个输液管路5包括一个输出管路51和两个输入管路52,两个输入管路52中一个与上端的一个汇流盒4连通,一个与下端的一个汇流盒4连通。

为了使汇流盒4中的喷淋液较为均匀的流至喷流腔中,可选地,喷流盒2的上下两端均设置有多个分流孔,分流孔连通汇流腔和喷流腔。可选地,一个汇流腔连通多个分流孔,在汇流腔内混合的喷淋液通过多个分流孔流至喷流腔内。

为了控制喷淋液从喷淋槽1流至喷流盒2内的流量,可选地,在输液管路5连接汇流盒4一端的管路上还设置有调节阀7。可选地,每个输入管路52与汇流盒4连通的一端均设置有一个调节阀7。

为了提供喷淋液在输液管路5中流动的动力,可选地,在输液管路5上还设置有泵6。具体地,在输出管路51上设置有泵6。

为了实现两个喷流盒2之间的距离可调,可选地,喷淋槽1内设置有滑轨,两个喷流盒2设置在滑轨上以调节两个喷流盒2之间的距离。可选地,在喷淋槽1的底面内侧设置有滑轨,滑轨包括能够相对滑动的固定件与滑动件,其中固定件固定在喷淋槽1的底面上,滑动件与其中一个喷流盒2可拆卸连接,即可实现两个喷流盒2的相对移动,当然也可以设置两个滑动件,且两个滑动件分别与两个喷流盒2可拆卸连接。为了在两个喷流盒2调节到合适的距离之后进行固定,可选地,滑轨上设置有定位件。可选地,定位件为定位销,固定件上设置有多个定位孔,定位销与定位孔的配合,即可实现在两个喷流盒2调节到合适的距离之后,固定喷流盒2的位置。

显然,本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例,而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

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