一种喷淋装置的制作方法

文档序号:25543869发布日期:2021-06-18 20:41阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种喷淋装置,其特征在于,包括:

喷淋槽(1),所述喷淋槽(1)内设置有容置腔以容置喷淋液;

喷流盒(2),所述喷流盒(2)设置在所述容置腔内,所述喷流盒(2)内设置有喷流腔以容置所述喷淋液,所述喷流盒(2)包括喷流板(21)、回流板(22)和回流管(23),所述回流管(23)依次穿过所述喷流板(21)和所述回流板(22)以连通所述喷流盒(2)两侧的所述容置腔,所述喷流板(21)上未设置所述回流管(23)处间隔均匀开设有多个喷流孔(211),所述喷流孔(211)连通所述喷流腔与所述容置腔,工艺基板(3)浸没在所述喷淋槽(1)内的所述喷淋液内,且所述工艺基板(3)设置在所述喷流盒(2)设置有所述喷流孔(211)的一侧;

输液管路(5),所述输液管路(5)的一端连通所述容置腔,另一端连通所述喷流腔。

2.根据权利要求1所述的喷淋装置,其特征在于,所述喷流盒(2)设置有两个,两个所述喷流盒(2)的所述喷流板(21)相对设置,所述工艺基板(3)设置在两个所述喷流盒(2)之间,所述输液管路(5)相应设置有两套以分别与两个所述喷流盒(2)连通。

3.根据权利要求2所述的喷淋装置,其特征在于,还包括与所述喷流盒(2)连接的汇流盒(4),所述汇流盒(4)内设置有汇流腔,所述汇流腔连通所述输液管路(5)和所述喷流腔。

4.根据权利要求3所述的喷淋装置,其特征在于,所述汇流盒(4)设置有两套,两套所述汇流盒(4)分别连接于两个所述喷流盒(2),每套所述汇流盒(4)设置有两组,两组所述汇流盒(4)分别设置在所述喷流盒(2)的上下两端,每组所述汇流盒(4)设置有一个或多个,所述输液管路(5)被配置为每个所述汇流盒(4)能够与一个所述输液管路(5)连通。

5.根据权利要求4所述的喷淋装置,其特征在于,所述喷流盒(2)的上下两端均设置有多个分流孔,所述分流孔连通所述汇流腔和所述喷流腔。

6.根据权利要求3-5任一项所述的喷淋装置,其特征在于,还包括调节阀(7),所述调节阀(7)设置在所述输液管路(5)连接所述汇流盒(4)一端的管路上。

7.根据权利要求1所述的喷淋装置,其特征在于,还包括泵(6),所述泵(6)设置在所述输液管路(5)上。

8.根据权利要求1所述的喷淋装置,其特征在于,所述回流管(23)在所述喷流腔内间隔设置有多个。

9.根据权利要求1-6和8中的任一项所述的喷淋装置,其特征在于,所述喷淋槽(1)内设置有滑轨,所述喷流盒(2)设置在所述滑轨上以调节所述喷流盒(2)的位置。

10.根据权利要求9所述的喷淋装置,其特征在于,所述滑轨上设置有定位件,所述定位件能够固定所述喷流盒(2)的位置。


技术总结
本发明涉及半导体及显示面板技术领域,尤其涉及一种喷淋装置,其包括喷淋槽、喷流盒和输液管路,其中,喷淋槽内设置有容置腔以容置喷淋液,喷流盒设置在容置腔内,喷流盒内设置有喷流腔以容置喷淋液,喷流盒包括喷流板、回流板和回流管,回流管依次穿过喷流板和回流板以连通喷流盒两侧的容置腔,喷流板上未设置回流管处间隔均匀开设有多个喷流孔,喷流孔连通喷流腔与容置腔,工艺基板浸没在喷淋槽内的喷淋液内,且工艺基板设置在喷流盒设置有喷流孔的一侧,输液管路的一端连通容置腔,另一端连通喷流腔。该喷淋装置能够使工艺基板上喷洒喷淋液更加均匀,显著提高相应的工艺质量。

技术研发人员:陈书良;蒋新;施利君
受保护的技术使用者:苏州晶洲装备科技有限公司
技术研发日:2021.02.20
技术公布日:2021.06.18
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