一种凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法_2

文档序号:8332405阅读:来源:国知局
体聚合过程中无需增加惰性气体保护装置,降低生产成本;第七,由于浆料固含量高,有机溶剂所占比例小,且固化过程升温,极大地加速了溶剂的挥发,缩短了干燥时间;第八,增塑剂的加入,使得溶剂在高挥发速度下,能有效抑制坯体表面裂纹的产生,提高生产效率。该方法工艺简单,产品稳定性较高,推进了 AlN陶瓷基片的工业化生产。
【附图说明】
[0019]图1凝胶流延AlN薄片的SEM图片
[0020]图2本发明制作方法的工艺流程图
【具体实施方式】
[0021]本发明利用凝胶流延技术,综合流延成型和凝胶注模成型的优点,能够提高氮化铝生坯薄片的均匀性和致密度,实现高性能氮化铝陶瓷基片(厚度0.3?3mm)的制备。
[0022]实施例1:
[0023]I)在55mL无水乙醇中加入:1.5g丙烯酰胺,0.15g N, N’ -亚甲基双丙烯酰胺,配成预混液;
[0024]2)然后加入1.5g分散剂PEI和150g氮化铝陶瓷粉末,球磨1h ;
[0025]3)加入增塑剂甘油3g,再次球磨10h,得到AlN凝胶流延浆料;
[0026]4)在浆料中加入引发剂偶氮二异丁基脒二盐酸盐0.05g,在40转/min的搅拌速度下真空脱泡20min,在流延机上40°C凝胶流延,流延带速度为5m/min,然后固化40min ;
[0027]5)在温度为30°C条件下,干燥lh,得到厚度为0.4mm?0.8mm的AlN生坯薄片。所得AlN生还的SEM图如图1所示。
[0028]实施例2:
[0029]如实施例1所述,不同之处在于:
[0030](I)丙烯酰胺为14g,N,N’ -亚甲基双丙烯酰胺为Ig;
[0031](2)磷酸酯为分散剂,其加入量为3g ;
[0032](3)增塑剂甘油15g;
[0033](4)在浆料中加入引发剂偶氮二异丁基脒二盐酸盐0.45g,在80转/min的搅拌速度下真空脱泡30min,在流延机上60°C凝胶流延,流延带速度为lm/min,然后固化40min ;
[0034](5)在温度为50°C条件下,干燥4h,得到厚度为2mm?3mm的AlN生还薄片。
[0035]实施例3:
[0036]如实施例1所述,不同之处在于:
[0037]( I)海茵环氧树脂为单体,其加入量为3g ;
[0038](2)磷酸酯为分散剂,其加入量为Ig ;
[0039](3)增塑剂甘油5g;
[0040](4)在浆料中加入引发剂3,3’ - 二氨基二丙胺0.lg,在60转/min的搅拌速度下真空脱泡15min ;
[0041](5)在温度为40°C条件下,干燥2h。
[0042]实施例4:
[0043]如实施例1所述,不同之处在于:
[0044](I)山梨醇聚缩水甘油醚为单体,其加入量为1g ;
[0045](2)磷酸酯为分散剂,其加入量为2g ;
[0046](3)增塑剂甘油1g;
[0047](4)在浆料中加入引发剂四乙基五胺0.5g,在100转/min的搅拌速度下真空脱泡20min,在流延机上45°C凝胶流延,流延带速度为2m/min,然后固化30min ;
[0048](5)在温度为40°C条件下,干燥6h,得到厚度为2mm?3mm的AlN生还薄片。
【主权项】
1.一种凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法,其特征是,该方法的制备工艺如下: (1)将有机单体和交联剂加入有机溶剂配置成预混液,然后将预混液、分散剂和AlN陶瓷粉体混合球磨;球料比为0.5:1?3:1,有机溶剂的加入量为AlN陶瓷粉末重量的20%?100%,球磨时间为2?50h ;所述有机单体是丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、山梨醇聚缩水甘油醚或海茵环氧树脂,所述交联剂为N,N’ -亚甲基双丙烯酰胺,所述有机溶剂为醇类,所述分散剂是聚甲基丙烯酸铵、PE1、磷酸酯或聚丙烯酸铵; (2)在得到的浆料中加入增塑剂,以增加AlN薄片的柔韧性,然后进行二次球磨;球磨时间为4h?30h ; (3)将二次球磨得到的浆料进行真空除泡,同时加入引发剂加以搅拌,搅拌速度为30?100转/min,真空脱泡时间为5?30min ; (4)将真空除泡得到的浆料进行流延操作; (5)薄片在固化一定时间后具有一定强度和韧性,然后进行干燥处理;坯体干燥到一定程度后,将坯体薄片从流延薄膜上剥离,然后进行切割和打孔,得到AlN陶瓷坯片。
2.如权利要求1所述的凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法,其特征是,步骤(I)中,对于厚度小于等于1.5mm的氮化铝生坯基片,有机单体和交联剂的总加入量为AlN粉体重量的1%?5%,有机单体与交联剂的质量比为10:1?30:1,分散剂的加入量为AlN陶瓷粉体重量的0.1%?1% ;对于厚度大于1.5mm的氮化铝生坯基片,有机单体和交联剂的总加入量为AlN粉体重量的3%?10%,有机单体与交联剂的质量比为5:1?20:1,分散剂的加入量为AlN陶瓷粉体重量的0.5%?2%。
3.如权利要求1所述的凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法,其特征是,步骤(2)中,所述增塑剂为甘油、聚乙二醇、邻苯二甲酸酯、聚醚多元醇、油酸或它们的混合物;对于厚度小于等于1.5mm的氮化铝生坯基片,增塑剂的加入量为AlN陶瓷粉末重量的0.2%?5% ;对于厚度大于1.5mm的氮化铝生坯基片,需适当增加增塑剂,以保证氮化铝坯体的柔韧性,增塑剂的加入量为AlN陶瓷粉末重量的1%?10%。
4.如权利要求1所述的凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法,其特征是,步骤(3)中,所述引发剂为偶氮二异丁基脒二盐酸盐、四乙基五胺或3,3’ - 二氨基二丙胺,引发剂的加入量为有机单体质量的0.25%?10%。
5.如权利要求1所述的凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法,其特征是,步骤(4)中,对于厚度小于等于1.5mm的氮化招生还基片,流延带速度为2m/min?5m/min,流延带加热区间温度为40?50°C,固化时间为1min?40min ;对于厚度大于1.5mm的氮化招生还基片,流延带速度为0.2m/min?4m/min,流延带加热区间温度为45?60°C,固化时间为30min ?Ih0
6.如权利要求1所述的凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法,其特征是,步骤(5)中,对于厚度小于等于1.5mm的氮化招生还基片,干燥温度为30?45°C,时间为30min?2h ;对于厚度大于1.5mm的氮化招生还基片,干燥温度为40?60°C,时间为2h?4h。
7.如权利要求1所述的凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法,其特征是,步骤(I)中,所述有机溶剂为乙醇、丙醇或异丙醇。
【专利摘要】一种凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法,以凝胶流延成型技术结合注凝成型和流延成型的优点,以醇类为溶剂,然后加入少量有机单体、交联剂、分散剂和增塑剂,球磨混合得到固含量高、粘度低和流动性好的浆料,再加入引发剂和催化剂,进行流延成型,在一定温度条件下引发单体聚合,AlN粉末均匀分布在高聚物形成的三维网络结构中。本发明所述的方法可制备出结构均匀,致密度高的AlN坯体和陶瓷。
【IPC分类】C04B35-581, C04B35-634
【公开号】CN104649677
【申请号】CN201310581000
【发明人】孙永健, 郭坚, 杨海艳
【申请人】北京大学
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年11月18日
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