信息记录介质用玻璃基板的制造方法

文档序号:9290930阅读:435来源:国知局
信息记录介质用玻璃基板的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在硬盘驱动器(HDD:Hard Disk Drive)等信息记录装置中作为信息记录介质的一部分所搭载的信息记录介质用玻璃基板的制造方法。
【背景技术】
[0002]近年来,随着HDD的存储容量飞跃性地增大,必不可少地需要减小I比特所使用的介质的记录面积。与其成正比地,记录用的磁性颗粒尺寸也必须微细化。但是微细化会导致下述问题:将记录的磁化的方向保持为一个方向的能量变小,容易受到热量的影响。为了使磁化的方向稳定,需要使介质从目前作为磁性材料广泛使用的CoCr系合金变为矫顽力高的Fe-Pt系磁性材料。
[0003]但是,在Fe-Pt系磁性材料的成膜中,Fe、Pt原子的排列变得不规则,无法得到高矫顽力。为了规则化而得到高矫顽力,必不可少地需要对成膜后的玻璃基板实施约600°C的高温热处理。
[0004]在得到这种玻璃基板的情况下,一般使用利用浮法的玻璃基板的制造方法。例如,在日本特开平7-53223号公报(专利文献I)、日本特开2001-357515号公报(专利文献2)和日本特开2003-36528号公报(专利文献3)中公开了利用浮法的信息记录介质用玻璃基板的制造方法。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开平7-53223号公报
[0008]专利文献2:日本特开2001-357515号公报
[0009]专利文献3:日本特开2003-36528号公报

【发明内容】

[0010]发明要解决的课题
[0011]如上所述,对于Fe-Pt系磁性材料必不可少地需要实施约600°C的高温热处理,因此使玻璃基板的成为耐热性指标的Tg升高至600°C以上的温度,在Fe-Pt系磁性材料在玻璃基板上的成膜时实施约600°C的高温热处理。
[0012]其结果,虽然耐热性未产生问题,但产生了信息记录介质(磁盘)仅单面发生磁特性变差的新问题。发明人进行深入的研究结果,对该信息记录介质(磁盘)的错误位置进行了成分分析,结果发现含有Sn。
[0013]此外,发明人对原因进行了查明,结果可知:在使用用于热辅助记录的高Tg材料的情况下,浮法中的浮槽工序中的温度高,成型时的温度高,因此熔融锡(锡)容易蒸发,玻璃的下表面的锡含量变多。
[0014]对于现有磁盘的记录密度来说,在玻璃基板中含有锡不是问题,但在形成热辅助记录用的磁性层的Fe-Pt合金等的成膜时需要进行高温热处理。该高温热处理中,玻璃基板的下表面的锡进行扩散。其结果,可知锡的扩散波及至磁性膜,磁盘下表面的SNR(信噪比(signal-noise rat1)或信号噪声比)品质变得不稳定。虽然能够预先用研磨工序除去锡扩散层,但平坦度和平行度变差,因而不优选。
[0015]因此,本发明是为了解决上述课题而进行的,其目的在于提供一种在作为信息记录介质使用的情况下能够使SNR品质稳定的信息记录介质用玻璃基板的制造方法。
[0016]用于解决课题的方案
[0017]在基于本发明的信息记录介质用玻璃基板的制造方法中,使用了浮法,其中,按照熔解槽、澄清槽、浮槽和除冷管线的顺序,在上述熔解槽中将玻璃原料制成熔融玻璃,使上述熔融玻璃通过上述澄清槽、上述浮槽和上述除冷管线,成型为平板玻璃,该制造方法具备以下的工序。
[0018]在上述浮槽内,通过加热而熔融的熔融锡的表面浮有上述熔融玻璃,上述熔融玻璃在粘度1gn = 4.0 (dPa.s)时的温度为IlOOcC以上,上述澄清槽的内部温度为上述熔融玻璃的液相温度以上,该制造方法包括在上述浮槽中以50°C /分钟以上的降温速度冷却上述熔融玻璃的工序。
[0019]冷却上述熔融玻璃的工序中从上述熔融玻璃流入上述浮槽的内部的位置起在上述熔融玻璃的流动方向至少领先50cm以上的冷却开始位置开始上述熔融玻璃的冷却,上述冷却开始位置处的上述熔融玻璃的粘度为1gn = 3.6(dPa.s)以下,在上述熔融玻璃的粘度达到1gn = 4.0 (dPa.s)以下为止的期间,以50°C /分钟以上的速度进行冷却。
[0020]其它方式中,冷却上述熔融玻璃的工序中向上述熔融玻璃喷吹气体。
[0021]其它方式中,冷却上述恪融玻璃的工序中使固体与上述恪融玻璃接触。
[0022]其它方式中,冷却上述熔融玻璃的工序中对上述浮槽中的上述熔融锡的温度进行控制。
[0023]其它方式中,上述信息记录介质用玻璃基板是用于热辅助的玻璃基板。
[0024]发明的效果
[0025]根据本发明,可以提供一种在作为信息记录介质使用的情况下能够使SNR品质稳定的信息记录介质用玻璃基板的制造方法。
【附图说明】
[0026]图1是示出信息记录装置的立体图。
[0027]图2是示出通过基于实施方式的信息记录介质用玻璃基板的制造方法所制造的玻璃基板I的俯视图。
[0028]图3是沿着图2中的II1-1II线的箭头方向观察截面图。
[0029]图4是示出具备玻璃基板I作为信息记录介质的信息记录介质10的俯视图。
[0030]图5是沿着图4中的V-V线的箭头方向观察截面图。
[0031]图6是示出玻璃基板的制造方法的流程图。
[0032]图7是示出玻璃基板成型工序中的浮法的示意图。
[0033]图8是示出实施方式中的浮法所用的浮槽中的玻璃基板的成型工序的图。
[0034]图9是示出另一个实施方式中的浮法所用的浮槽中的玻璃基板的成型工序的图。
[0035]图10是示出另一个实施方式中的浮法所用的浮槽中的玻璃基板的成型工序的图。
[0036]图11是示出熔融玻璃料的粘度曲线的图。
[0037]图12是示出实施例1-8和比较例1-4中的HDD运行试验的评价结果的图。
【具体实施方式】
[0038]关于基于本发明的实施方式和各实施例,下面参照附图进行说明。在实施方式和各实施例的说明中,在提到个数、量等的情况下,除有特别记载的情况外,本发明的范围未必限定于该个数、量等。在实施方式和各实施例的说明中,对相同的部件、相当的部件标记相同的参照编号,有时不反复进行重复的说明。
[0039][实施方式]
[0040](信息记录装置30)
[0041]参照图1,首先对信息记录装置30进行说明。图1是示出信息记录装置30的立体图。信息记录装置30具备通过实施方式中的信息记录介质用玻璃基板(下文中也简称为玻璃基板)的制造方法所制造的玻璃基板I作为信息记录介质10。
[0042]具体地说,信息记录装置30具备信息记录介质10、壳体20、磁头滑块21、悬架22、臂23、垂直轴24、音圈25、音圈电机26、夹紧部件27和固定螺丝28。在壳体20的上表面上设置有主轴电机(未图示)。
[0043]磁盘等信息记录介质10被夹紧部件27和固定螺丝28以能够旋转的方式固定于上述主轴电机。信息记录介质10通过该主轴电机以例如数千rpm的转速被旋转驱动。详细情况参照图4和图5在下文中进行说明,信息记录介质10通过在玻璃基板I形成压缩应力层12 (参照图5)和磁记录层14 (参照图4和图5)来进行制造。
[0044]臂23以能够摇动的方式安装于垂直轴24周围。在臂23的前端安装有形成为板簧(悬臂梁)状的悬架22。在悬架22的前端以夹入信息记录介质10的方式安装有磁头滑块21。
[0045]在臂23的与磁头滑块21相反的一侧安装有音圈25。音圈25被设置于壳体20上的磁体(未图示)夹住。通过音圈25和该磁体构成音圈电机26。
[0046]向音圈25供给规定的电流。臂23通过由流向音圈25的电流和上述磁体的磁场产生的电磁力的作用而在垂直轴24周围摇动。通过臂23的摇动,悬架22和磁头滑块21也向箭头ARl方向摇动。磁头滑块21在信息记录介质10的表面上和背面上在信息记录介质10的半径方向往复移动。设置于磁头滑块21的磁头(未图示)进行寻道操作。
[0047]进行该寻道操作的另一面,磁头滑块21通过与信息记录介质10的旋转相伴产生的空气流而受到浮力。通过该浮力与悬架22的弹性力(挤压力)的平衡,磁头滑块21相对于信息记录介质10的表面以一定的悬浮量运转。通过该运转,设置于磁头滑块21的磁头可以相对于信息记录介质10内的规定轨道进行信息(数据)的记录和再生。作为构成信息记录介质10的部件的一部分而搭载有玻璃基板I的信息记录装置30如上构成。
[0048](玻璃基板I)
[0049]图2是示出通过基于实施方式的信息记录介质用玻璃基板的制造方法所制造的玻璃基板I的俯视图。图3是沿着图2中的II1-1II线的箭头方向观察截面图。
[0050]如图2和图3所示,作为其一部分用于信息记录介质10 (参照图4和图5)的玻璃基板1(信息记录介质用玻璃基板)具有主表面2、主表面3、内周端面4、孔5和外周端面6,整体形成为圆盘状。
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