一种扩散炉炉体调节装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及太阳能电池制备工艺中的扩散加工技术领域，尤其涉及一种扩散炉炉体调节装置。
【背景技术】
[0002]扩散炉主要用于硅片太阳能器件制造中的扩散、氧化工艺，炉体是扩散、氧化工艺的反应腔室，炉体为圆柱形，需要固定在支撑梁上。为能保证推舟送片机构顺利送入炉体，就必须将炉体与推舟送片机构的相对位置调正。由于推舟送片机构是固定在送料滑台上的，无法调节它与炉体的相对位置，因此，要想将炉体与之调正，就只能对炉体位置进行调节。炉体长度一般在2米左右，外径一般在0.3-0.6米之间，重量约50-100公斤，体型较大而且较为沉重，人力调节很费劲，也不准确。
[0003]现有炉体调节装置由四个坡面支架托起并固定炉体，需要用人力移动坡面支架，极为费力，也很不准确，调节距离完全凭目测；而且需要调节炉体两侧的坡面支架，受炉体柜结构需要，炉体的一侧是开放的，另一侧是封闭的，调节封闭一侧的坡面支架时就只能从开放的那一侧放入工具进行操作，因此，调节封闭一侧的三角形支撑块就非常不方便。
【发明内容】
[0004]本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、调节方便、调节精度和准确度高的扩散炉炉体调节装置。
[0005]为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案:
一种扩散炉炉体调节装置，包括固定座、调节座以及用于支撑所述扩散炉炉体的第一支撑件和第二支撑件，所述调节座包括水平调节支座和高度调节支座，所述第一支撑件安装于水平调节支座上，所述第二支撑件安装于高度调节支座上，所述水平调节支座可沿固定座移动地安装于固定座上，所述高度调节支座可沿水平调节支座移动地安装于水平调节支座上并带动第二支撑件靠近或远离第一支撑件。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进:
所述第一支撑件和第二支撑件为支撑圆杆。
[0007]所述固定座上设有第一调节块，所述水平调节支座的一端设有第二调节块，所述第一调节块和第二调节块之间设有推出螺栓和拉回螺栓，所述推出螺栓的尾端穿过第一调节块与水平调节支座抵靠，所述推出螺栓与第一调节块之间为螺纹配合，所述拉回螺栓依次穿过所述第一调节块和第二调节块，所述拉回螺栓与第一调节块之间为通孔配合，与第二调节块之间为螺纹配合。
[0008]所述固定座上设有腰型的调节孔，所述调节孔内设有用于将水平调节支座固定在固定座上的第二固定螺栓。
[0009]所述第二调节块与高度调节支座之间设有高度调节螺栓，所述高度调节螺栓依次穿过第二调节块与高度调节支座，所述高度调节螺栓与第二调节块之间为螺纹配合，与所述高度调节支座之间为通孔配合，所述高度调节螺栓上设有左螺母和右螺母，所述左螺母和右螺母位于所述高度调节支座的通孔的两侧。
[0010]所述高度调节支座上设有腰型的安装孔，所述安装孔内设有用于将高度调节支座固定在所述水平调节支座上的第一固定螺栓。
[0011 ] 所述扩散炉炉体调节装置设置为两组，沿所述扩散炉炉体轴向间隔布置。
[0012]所述第一支撑件和第二支撑件为支撑轮或支撑球。
[0013]与现有技术相比，本发明的优点在于:
本发明的扩散炉炉体调节装置，通过调节水平调节支座的水平位置，从而可以调节扩散炉炉体左右调节，通过调节高度调节支座的水平位置，使第一支撑件和第二支撑件之间的距离增大或减小，从而可以调节扩散炉炉体的高度。
[0014]进一步地，本发明的扩散炉炉体调节装置，只需要在扩散炉炉体开放的一侧进行相应的操作，操作简单，方便快捷；采用三个螺栓调节来调节扩散炉炉体水平位置和高度位置，十分方便，而且对扩散炉炉体相对位置调节的针对性很强，调节精度和准确性高。
【附图说明】
[0015]图1是本发明的结构示意图。
[0016]图2是本发明中推出螺栓、拉回螺栓和高度调节螺栓的结构示意图。
[0017]图中各标号表不:
1、固定座；2、调节座；21、水平调节支座；22、高度调节支座；3、第一支撑件；4、第二支撑件；51、第一调节块；52、第二调节块；61、推出螺栓；62、拉回螺栓；63、高度调节螺栓；71、左螺母；72、右螺母；81、安装孔；82、第一固定螺栓；83、调节孔；84、第二固定螺栓；9、扩散炉炉体。
【具体实施方式】
[0018]以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。
[0019]图1和图2示出了本发明扩散炉炉体调节装置的一种实施例，该扩散炉炉体调节装置包括固定座1、调节座2以及用于支撑扩散炉炉体9的第一支撑件3和第二支撑件4，调节座2包括水平调节支座21和高度调节支座22，第一支撑件3安装于水平调节支座21上，第二支撑件4安装于高度调节支座22上，水平调节支座21可沿固定座1移动地安装于固定座1上，高度调节支座22可沿水平调节支座21移动地安装于水平调节支座21上并带动第二支撑件4靠近或远离第一支撑件3。通过调节水平调节支座21的水平位置，从而可以调节扩散炉炉体9左右调节，通过调节高度调节支座22的水平位置，使第一支撑件3和第二支撑件4之间的距离增大或减小，从而可以调节扩散炉炉体9的高度。
[0020]本实施例中，第一支撑件3和第二支撑件4为支撑圆杆，支撑圆杆与扩散炉炉体9的轴线平行，采用支撑圆杆支撑扩散炉炉体9，支撑稳定。
[0021]本实施例中，固定座1上设有第一调节块51，水平调节支座21的一端设有第二调节块52，第一调节块51和第二调节块52之间设有推出螺栓61和拉回螺栓62，推出螺栓61的尾端穿过第一调节块51与水平调节支座21抵靠，推出螺栓61与第一调节块51之间为螺纹配合，拉回螺栓62依次穿过第一调节块51和第二调节块52，拉回螺栓62与第一调节块51之间为通孔配合，与第二调节块52之间为螺纹配合。固定座1上设有腰型的调节孔83，调节孔83内设有用于将水平调节支座21固定在固定座1上的第二固定螺栓84。水平调节支座21与固定座1的调节孔83为腰孔，水平调节支座21相对固定座1可进行左右移动；调节时，松开第二固定螺栓84，推出螺栓61推动水平调节支座21向右运动