优选为80%以上。若紫外线透射率过低，则通过紫外光的照射。难以通过粘 接层粘接加工基板于支承基板，而且难以通过剥离层从加工基板剥离支承基板。
[0038] 本发明的支承玻璃基板优选作为玻璃组成，以质量％计含有Si02 50~80%、 A1203 1 ~20%、B203 3 ~20%、Mg0 0 ~10%、Ca0 0 ~10%、Sr0 0 ~7%、Ba0 0 ~7%、 ZnO0~7%、Na20 5~15%、K20 0~10%。按上述方式限定各成分的含量的理由如下所 示。需要说明的是，在各成分的含量的说明中，除了有特殊说明的情况下，％的表达表示质 量％。
[0039] 3丨02是形成玻璃的骨架的主成分。Si02的含量优选为50~80%、55~75 %或 55~70%、特别优选为55~65%。若Si02的含量过少，则杨氏模量、耐酸性容易降低。另 一方面，若Si02的含量过多，则高温粘度变高，熔融性容易降低，而且方英石等失透结晶容 易析出，液相温度容易上升。
[0040] A1203是提高杨氏模量的成分，并且是抑制分相、失透的成分。A1 203的含量优选为 1~20%、3~18%、4~16%、5~13. 5%或6~12%、特别优选为7~10%。若A1203的 含量过少，则杨氏模量容易降低，另外，玻璃容易分相、失透。另一方面，若A1203的含量过 多，则高温粘度变高，熔融性、成形性容易降低。
[0041] B203是提高熔融性、耐失透性的成分，还是改善易损伤性、提高强度的成分。B203的 含量优选为3~20%、5~20%或7~18%、特别优选为10~15%。若B203的含量过少， 则熔融性、耐失透性容易降低，另外，对氢氟酸系的药液的耐性容易降低。另一方面，若B203 的含量过多，则杨氏模量、耐酸性容易降低。
[0042] MgO是降低高温粘性、提高熔融性的成分，在碱土类金属氧化物中，是显著提高杨 氏模量的成分。MgO的含量优选为0~10%、0~8%、0~6%或0~5%、特别优选为0~ 1 %。若MgO的含量过多，则耐失透性容易降低。
[0043]CaO是降低高温粘性、显著提高熔融性的成分。另外，在碱土类金属氧化物中，导入 原料比较廉价，因此是使原料成本低廉化的成分。CaO的含量优选为0~10%、0. 5~8% 或1~6%、特别优选为2~5%。若CaO的含量过多，则玻璃容易失透。需要说明的是，若 CaO的含量过少，则难以享有上述效果。
[0044] SrO是抑制分相的成分，另外，是提高耐失透性的成分。SrO的含量优选为0~7%、 0~5%或0~3%、特别优选0~低于1%。若SrO的含量过多，则玻璃容易失透。
[0045] BaO是提高耐失透性的成分。BaO的含量优选为0~7%、0~5%、0~3%或0~ 低于1%。若BaO的含量过多，则玻璃容易失透。
[0046]ZnO是降低高温粘性、显著提高熔融性的成分。ZnO的含量优选为0~7%或0. 1~ 5%、特别优选为0. 5~3%。若ZnO的含量过少，则难以享有上述效果。需要说明的是，若 ZnO的含量过多，则玻璃容易失透。
[0047] Na20是用于优化热膨胀系数的重要成分，还是降低高温粘性、显著提高熔融性、并 有助于玻璃原料的初期的熔融的成分。Na20的含量优选为5~15%或6~13. 5%、特别优 选为7~13%。若Na20的含量过少，则熔融性容易降低，而且热膨胀系数有可能不当地降 低。另一方面，若Na20的含量过多，则热膨胀系数有可能不当地升高。
[0048] 从优化热膨胀系数的观点出发，质量比（Al203+Na20)/Si02优选为0· 2~0· 4、 0· 23~0· 35或0· 25~0· 3、特别优选为0· 26~0· 29。
[0049] K20是用于调整热膨胀系数的成分，还是降低高温粘性、提高熔融性、并有助于玻 璃原料的初期的熔融的成分。Κ20的含量优选为0~15%、0~10%或0~5%、特别优选 为0~1%。若Κ20的含量过多，则热膨胀系数有可能不当地升高。
[0050] 除上述成分以外，作为任意成分，可以导入其它成分。需要说明的是，从确实地享 有本发明的效果的观点出发，除上述成分以外的其它成分的含量以总量计优选为10%以 下、特别优选为5%以下。
[0051] Fe203是作为杂质成分、或清澄剂成分能够导入的成分。然而，若Fe203的含量过多， 贝1J紫外线透射率有可能降低。即，若Fe203的含量过多，则难以通过树脂层、剥离层适当进行 加工基板与支承玻璃基板的接合和脱离。因此，Fe203的含量优选为0. 05%以下或0. 03% 以下、特别优选为〇. 02%以下。需要说明的是，本发明所说的"Fe203"包含2价氧化铁和3 价氧化铁，2价氧化铁是换算成Fe203来操作的。关于其它氧化物也同样地是以记载的氧化 物为基准操作的。
[0052] 作为清澄剂，As203、Sb203有效地发挥作用，但从环境的观点来说，优选尽量减少这 些成分。As203的含量优选为1 %以下或0. 5%以下、特别优选为0. 1 %以下，期望实质上不 含有。此处，"实质上不含有As203"是指，玻璃组成中的As203的含量低于0.05%的情况。另 外，Sb203的含量优选为1 %以下或0. 5%以下、特别优选为0. 1 %以下，期望实质上不含有。 此处，"实质上不含有Sb203"是指，玻璃组成中的Sb203的含量低于0. 05%的情况。
[0053]Sn02是在高温域具有良好的清澄作用的成分，还是降低高温粘性的成分。Sn〇d9 含量优选为〇~1%、〇· 001~1%或0.01~0.9%、特别优选为0.05~0.7%。若Sn(y9 含量过多，则Sn02的失透结晶容易析出。需要说明的是，若SnO2的含量过少，则难以享有上 述效果。
[0054] 此外，只要不损害玻璃特性，作为清澄剂，可以将F、Cl、S03、C、或Al、Si等金属粉 末分别导入3%左右。另外，&02等也可以导入到3%左右为止，但需要留意紫外线透射率 的降低。
[0055]C1是促进玻璃的熔融的成分。若在玻璃组成中导入C1，则能够实现熔融温度的低 温化、清澄作用的促进，其结果是，容易达成熔融成本的低廉化、玻璃制造窑的长寿命化。然 而，若C1的含量过多，则有可能腐蚀玻璃制造窑周围的金属部件。因此，C1的含量优选为 3%以下、1%以下或0.5%以下、特别优选为0. 1%以下。
[0056]P205是能够抑制失透结晶的析出的成分。但是，若大量导入P205，则玻璃容易分相。 因此，P2〇5的含量优选为0~2. 5%、0~1. 5%或0~0. 5%、特别优选为0~0. 3%。
[0057] 1102是降低高温粘性、提高恪融性的成分，并且是抑制负感（solarization)的成 分。然而，若大量导入Ti02,则玻璃着色，透射率容易降低。因此，Ti02的含量优选为0~ 5%、0~3%或0~1%、特别优选为0~0.02%。
[0058]Zr02是改善耐化学药品性、杨氏模量的成分。然而，若大量导入Zr02,则玻璃容易 失透，另外，因为导入原料是难熔解性的，所以未熔解的结晶性异物有可能混入产品基板。 因此，Zr02的含量优选为0~5%、0~3%或0~1%、特别优选为0~0. 5%。
[0059]Y203、Nb205、La203具有提高应变点、杨氏模量等的作用。然而，若这些成分的含量分 别多于5%或1%，则原料成本、产品成本有可能高涨。
[0060] 本发明的支承玻璃基板优选具有以下特性。
[0061] 在本发明的支承玻璃基板中，杨氏模量优选为65GPa以上、67GPa以上、68GPa以 上、69GPa以上或70GPa以上、特别优选为71GPa以上。若杨氏模量过低，则难以维持搬送体 的刚性，容易发生加工基板的变形、翘曲、破损。
[0062] 液相温度优选为低于1150°C、1120°C以下、1100°C以下、1080°C以下、1050°C以下、 1010°C以下、980°C以下、960°C以下或950°C以下、特别优选为940°C以下。这样一来，容易 利用下拉法、特别是溢出下拉法将玻璃基板成形，因此容易制作板厚小的玻璃基板，并且即 使不研磨表面，也能够降低厚偏差，其结果是，还能够使玻璃基板的制造成本低廉化。进一 步，在玻璃基板的制造工序时，容易防止产生失透结晶、玻璃基板的生产率降低的情况。此 处，"液相温度"可以通过将穿过标准筛30筛眼（500μm)而残留于50筛眼（300μm)的玻 璃粉末放入铂舟后，在温度梯度炉中保持24小时，并测定结晶析出的温度从而算出。
[0063] 液相温度下的粘度优选为lOOOOdPa·s以上、30000dPa·s以上、60000dPa·s 以上、lOOOOOdPa·s以上、150000dPa·s以上、200