真空溅射单元观察窗玻璃及其制备方法

文档序号:10587121阅读:400来源:国知局
真空溅射单元观察窗玻璃及其制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种真空溅射单元观察窗玻璃及其制备方法,其中,所述制备方法包括:将石英砂、纯碱、石灰石、方解石、二氧化硅、三氧化二铬和添加剂混合形成混合物M;将所述混合物M加入模具中,经过热处理、冷却后形成所述真空溅射单元观察窗玻璃。解决了传统的玻璃耐受温度低,耐腐蚀能力差,造成玻璃易受高温变形的问题。
【专利说明】
真空瓣射单元观察窗玻璃及其制备方法
技术领域
[0001] 本发明设及玻璃制备,具体地,设及真空瓣射单元观察窗玻璃及其制备方法。
【背景技术】
[0002] 在玻璃锻膜工艺中,真空锻膜是一种常见的方法,其主要是在真空室内将材料的 原子从加热源离析出来打到玻璃的表面上。玻璃的真空锻膜是在锻膜室内进行的,玻璃通 过传输机构运送到锻膜室中进行锻膜,锻膜室的侧壁上往往会安装透明的观察玻璃,方便 对内部运行状况就行观察,由于锻膜室工作时内部溫度较高,传统的玻璃耐受溫度低,耐腐 蚀能力差,造成玻璃易受高溫变形。

【发明内容】

[0003] 本发明的目的是提供一种真空瓣射单元观察窗玻璃及其制备方法,解决了传统的 玻璃耐受溫度低,耐腐蚀能力差,造成玻璃易受高溫变形的问题。
[0004] 为了实现上述目的,本发明提供了一种真空瓣射单元观察窗玻璃的制备方法,其 中,所述制备方法包括:
[0005] (1)将石英砂、纯碱、石灰石、方解石、二氧化娃、Ξ氧化二铭和添加剂混合形成混 合物M;
[0006] (2)将所述混合物Μ加入模具中,经过热处理、冷却后形成所述真空瓣射单元观察 窗玻璃,其中,
[0007] 相对于100重量份的石英砂,所述纯碱的用量为20-30重量份,所述石灰石的用量 为10-25重量份,所述方解石的用量为5-15重量份,所述二氧化娃的用量为1-10重量份,所 述Ξ氧化二铭的用量为2-12重量份,所述添加剂的用量为0.1-1重量份。
[000引本发明还提供了一种真空瓣射单元观察窗玻璃,其中,所述真空瓣射单元观察窗 玻璃由上述的制备方法制得。
[0009] 通过上述技术方案,本发明提供了一种真空瓣射单元观察窗玻璃的制备方法,其 中,所述制备方法包括:将石英砂、纯碱、石灰石、方解石、二氧化娃、Ξ氧化二铭和添加剂混 合形成混合物Μ;将所述混合物Μ加入模具中,经过热处理、冷却后形成所述真空瓣射单元观 察窗玻璃,通过各组分之间的协同作用,使得制备出的观察窗玻璃具备优良的耐高溫能力 和耐腐蚀能力,玻璃不易受高溫变形,同时,制备该观察窗玻璃的方法简单,原料易得。
[0010] 本发明的其他特征和优点将在随后的【具体实施方式】部分予W详细说明。
【具体实施方式】
[0011] W下对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体 实施方式仅用于说明和解释本发明,并不用于限制本发明。
[0012] 本发明提供了一种真空瓣射单元观察窗玻璃的制备方法,其中,所述制备方法包 括:将石英砂、纯碱、石灰石、方解石、二氧化娃、Ξ氧化二铭和添加剂混合形成混合物Μ;将 所述混合物Μ加入模具中,经过热处理、冷却后形成所述真空瓣射单元观察窗玻璃,其中,相 对于100重量份的石英砂,所述纯碱的用量为20-30重量份,所述石灰石的用量为10-25重量 份,所述方解石的用量为5-15重量份,所述二氧化娃的用量为1-10重量份,所述Ξ氧化二铭 的用量为2-12重量份,所述添加剂的用量为0.1-1重量份。通过各组分之间的协同作用,使 得制备出的观察窗玻璃具备优良的耐高溫能力和耐腐蚀能力,玻璃不易受高溫变形,同时, 制备该观察窗玻璃的方法简单,原料易得。
[0013] 为了改善玻璃生产过程中的各项性能,使其达到符合生产条件、更易烙化、成型、 尽量少的缺陷产生,所述添加剂的组分为氧化錬、氧化神和氧化侣,优选的,所述添加剂中 氧化錬、氧化神和氧化侣的质量比为1:1-2:1-2.5。
[0014] 为了使得制备出的玻璃具备更为优良的耐高溫能力和力学性能,使其在高溫环境 下不易发生变形,所述热处理包括依次进行的第一热处理和第二热处理,且所述第一热处 理的溫度为900-1200°C,处理时间为5-lOmin,所述第二热处理的溫度为1300-1350°c,处理 时间为10-15min。
[0015] 为了使得原料冷却更快,冷却效果更为优良,所述冷却采用水冷的方式,且冷却用 水的溫度为l〇-15°C。
[0016] 为了使得原料之间更好的烙融,所述模具在使用前需要预热,且预热溫度为50-70 Γ。
[0017] 本发明还提供了一种真空瓣射单元观察窗玻璃,其中,所述真空瓣射单元观察窗 玻璃由上述的制备方法制得。
[0018] W下将通过实施例对本发明进行详细描述。
[0019]实施例1
[0020] 将lOOg石英砂、20g纯碱、lOg石灰石、5g方解石、Ig二氧化娃、2gS氧化二铭和O.lg 添加剂混合形成混合物Μ;将所述混合物Μ加入模具(模具在使用前需要预热,且预热溫度为 50°C)中,经过热处理(热处理包括依次进行的第一热处理和第二热处理,且所述第一热处 理的溫度为900°C,处理时间为5min,所述第二热处理的溫度为1300°C,处理时间为lOmin)、 水冷(冷却用水的溫度为10°C)后形成所述真空瓣射单元观察窗玻璃A1。
[0021] 实施例2
[0022] 将lOOg石英砂、30g纯碱、25g石灰石、15g方解石、lOg二氧化娃、lOgS氧化二铭和 Ig添加剂混合形成混合物M;将所述混合物Μ加入模具(模具在使用前需要预热,且预热溫度 为70°C)中,经过热处理(热处理包括依次进行的第一热处理和第二热处理,且所述第一热 处理的溫度为1200°C,处理时间为lOmin,所述第二热处理的溫度为1350°C,处理时间为 15min)、水冷(冷却用水的溫度为15°C)后形成所述真空瓣射单元观察窗玻璃A2。
[0023] 实施例3
[0024] 将lOOg石英砂、25g纯碱、20g石灰石、lOg方解石、5g二氧化娃、8gS氧化二铭和 〇.5g添加剂混合形成混合物M;将所述混合物Μ加入模具(模具在使用前需要预热,且预热溫 度为60°C)中,经过热处理(热处理包括依次进行的第一热处理和第二热处理,且所述第一 热处理的溫度为l〇〇〇°C,处理时间为8min,所述第二热处理的溫度为1320°C,处理时间为 12min)、水冷(冷却用水的溫度为12°C)后形成所述真空瓣射单元观察窗玻璃A3。
[0025] 对比例1
[0026] 按照实施例1的方法进行制备,不同的是,石英砂的用量为100重量份,所述纯碱的 用量为lOg,所述石灰石的用量为5g,所述方解石的用量为2g,所述二氧化娃的用量为0.5g, 所述Ξ氧化二铭的用量为Ig,所述添加剂的用量为〇.〇5g,制备出所述真空瓣射单元观察窗 玻璃D1。
[0027] 对比例2
[0028] 按照实施例3的方法进行制备,不同的是,石英砂的用量为100重量份,所述纯碱的 用量为40g,所述石灰石的用量为30g,所述方解石的用量为20g,所述二氧化娃的用量为 15g,所述Ξ氧化二铭的用量为15g,所述添加剂的用量为3g,制备出所述真空瓣射单元观察 窗玻璃D2。
[0029] 表 1
[0030]
[0031] ~通过上表可W看出,在本发明的范围内制得的玻璃A1-A3其最高耐受溫度要高于I 在本发明范围外制得的玻璃D1和D2,由此可W得到耐受溫度较高的玻璃。
[0032] W上详细描述了本发明的优选实施方式,但是,本发明并不限于上述实施方式中 的具体细节,在本发明的技术构思范围内,可W对本发明的技术方案进行多种简单变型,运 些简单变型均属于本发明的保护范围。
[0033] 另外需要说明的是,在上述【具体实施方式】中所描述的各个具体技术特征,在不矛 盾的情况下,可W通过任何合适的方式进行组合,为了避免不必要的重复,本发明对各种可 能的组合方式不再另行说明。
[0034] 此外,本发明的各种不同的实施方式之间也可W进行任意组合,只要其不违背本 发明的思想,其同样应当视为本发明所公开的内容。
【主权项】
1. 一种真空溅射单元观察窗玻璃的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括: (1) 将石英砂、纯碱、石灰石、方解石、二氧化硅、三氧化二铬和添加剂混合形成混合物 M; (2) 将所述混合物M加入模具中,经过热处理、冷却后形成所述真空溅射单元观察窗玻 璃,其中, 相对于100重量份的石英砂,所述纯碱的用量为20-30重量份,所述石灰石的用量为10-25重量份,所述方解石的用量为5-15重量份,所述二氧化娃的用量为1-10重量份,所述三氧 化二铬的用量为2-12重量份,所述添加剂的用量为0.1-1重量份。2. 根据权利要求1所述的制备方法,其中,所述添加剂的组分为氧化锑、氧化砷和氧化 错。3. 根据权利要求2所述的制备方法,其中,所述添加剂中氧化锑、氧化砷和氧化铝的质 量比为 1:1-2:1-2.5。4. 根据权利要求1所述的制备方法,其中,所述热处理包括依次进行的第一热处理和第 二热处理,且所述第一热处理的温度为900-1200 °C,处理时间为5-10min,所述第二热处理 的温度为1300-1350 °C,处理时间为10-15min。5. 根据权利要求1所述的制备方法,其中,所述冷却采用水冷的方式,且冷却用水的温 度为 10-15°C。6. 根据权利要求1所述的制备方法,其中,所述模具在使用前需要预热,且预热温度为 50-70。。。7. -种真空溅射单元观察窗玻璃,其特征在于,所述真空溅射单元观察窗玻璃由权利 要求1 -6中任意一项所述的制备方法制得。
【文档编号】C03C6/04GK105948492SQ201610269667
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年4月27日
【发明人】金海涛, 薛辉, 昌江, 任俊春
【申请人】芜湖真空科技有限公司
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