一种环形预热式气体烧结炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶体的技术领域，具体涉及一种环形预热式气体烧结炉，适用于晶体的烧结及退火制成。
【背景技术】
[0002]电子学、光学等现代技术应用申所需要的单晶材料，大部分是用熔体生长法制备的。某些碱金属和碱土金属的卤族化合物等，许多晶体早已进入不同规模的工业化生产。
[0003]晶体生长中退火过程是一个相当重要的制程，因为退火制程关系到晶体内应力的释放及内部微观缺陷的改善，所使用的高温烧结炉由于对炉体内的饿温度控制不稳定，容易造成晶体质量不佳，由于晶体的成本较高，从而导致重大浪费。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型主要解决的技术问题是提供一种环形预热式气体烧结炉，适用于晶体的烧结及退火，气体管道环绕在炉体的周围并分别与预热器上下两端相连接，通过预热器将气体管道内的气体进行预热，采用循环利用方式进行预热，气体经过预热后进入炉体内，保持炉体内恒温性，加快了烧结及退火的效率，避免冷气体直接进入高温炉的冷热冲击，使晶体因为冷热冲击而开裂，保证了晶体的质量及完整性。
[0005]为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是:提供了一种环形预热式气体烧结炉，包括控制台、固定座、炉体、炉盖、气体管道以及预热器，所述的固定座安装在控制台上，所述的炉体安装在固定座内并凸出于固定座上部的中间位置，所述的炉盖扣合于炉体的上端，所述的气体管道环绕在炉体的周围并分别与预热器上下两端相连接。
[0006]在本实用新型一个较佳实施例中，所述的炉盖上设置有管道孔，所述的气体管道经过预热器后连接至炉盖的管道孔内。
[0007]在本实用新型一个较佳实施例中，所述的炉体和气体管道内采用惰性气体。
[0008]在本实用新型一个较佳实施例中，所述的炉体为带有腔体的圆柱体结构，所述的炉盖为带有弧形顶部的圆形结构，其中，所述的炉体的直径与炉盖的直径相对应。
[0009]在本实用新型一个较佳实施例中，所述的控制台上设置有温度显示器、人机界面以及按钮。
[0010]在本实用新型一个较佳实施例中，所述的环形预热式气体烧结炉还包括耐火砖，所述的耐火砖安装在预热器的顶部。
[0011]本实用新型的有益效果是:本实用新型的环形预热式气体烧结炉，适用于晶体的烧结及退火，气体管道环绕在炉体的周围并分别与预热器上下两端相连接，通过预热器将气体管道内的气体进行预热，采用循环利用方式进行预热，气体经过预热后进入炉体内，保持炉体内恒温性，加快了烧结及退火的效率，避免冷气体直接进入高温炉的冷热冲击，使晶体因为冷热冲击而开裂，保证了晶体的质量及完整性。
【附图说明】
[0012]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中:
[0013]图1是本实用新型环形预热式气体烧结炉的一较佳实施例的结构示意图；
[0014]附图中的标记为:1、控制台，2、固定座，3、炉体，4、炉盖，5、气体管道，6、预热器，7、耐火砖，11、温度显示器，12、人机界面，13、按钮，41、管道孔。
【具体实施方式】
[0015]下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0016]如图1所示，本实用新型实施例包括:
[0017]一种环形预热式气体烧结炉，包括控制台1、固定座2、炉体3、炉盖4、气体管道5以及预热器6，所述的固定座2安装在控制台I上，所述的炉体3安装在固定座2内并凸出于固定座2上部的中间位置，所述的炉盖4扣合于炉体3的上端，所述的气体管道5环绕在炉体3的周围并分别与预热器6上下两端相连接。
[0018]上述中，所述的炉体3为带有腔体的圆柱体结构，所述的炉盖4为带有弧形顶部的圆形结构，其中，所述的炉体3的直径与炉盖4的直径相对应。
[0019]进一步的，所述的炉盖4上设置有管道孔41，所述的气体管道5经过预热器6后连接至炉盖4的管道孔41内从而键入炉体3内。其中，所述的炉体4和气体管道5内采用惰性气体。
[0020]采用上述方法通过预热器6将气体管道内的气体进行预热，采用循环利用方式进行预热，气体经过预热后进入炉体3内，保持炉体3内恒温性。
[0021]再进一步的，所述的环形预热式气体烧结炉还包括耐火砖7，所述的耐火砖7安装在预热器6的顶部，气体管道5插入耐火砖7后再通过预热器6进行气体预热。
[0022]在本实用新型中，所述的控制台I上设置有温度显示器11、人机界面12以及按钮13，用查看炉体内的温度情况、各种参数的设置以及开启或关闭环形预热式气体烧结炉的运行。
[0023]综上所述，本实用新型的环形预热式气体烧结炉，适用于晶体的烧结及退火，气体管道5环绕在炉体3的周围并分别与预热器6上下两端相连接，通过预热器6将气体管道5内的气体进行预热，采用循环利用方式进行预热，气体经过预热后进入炉体3内，保持炉体3内恒温性，加快了烧结及退火的效率，避免冷气体直接进入高温炉的冷热冲击，使晶体因为冷热冲击而开裂，保证了晶体的质量及完整性。
[0024]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种环形预热式气体烧结炉，其特征在于，包括控制台、固定座、炉体、炉盖、气体管道以及预热器，所述的固定座安装在控制台上，所述的炉体安装在固定座内并凸出于固定座上部的中间位置，所述的炉盖扣合于炉体的上端，所述的气体管道环绕在炉体的周围并分别与预热器上下两端相连接。
2.根据权利要求1所述的环形预热式气体烧结炉，其特征在于，所述的炉盖上设置有管道孔，所述的气体管道经过预热器后连接至炉盖的管道孔内。
3.根据权利要求1所述的环形预热式气体烧结炉，其特征在于，所述的炉体和气体管道内采用惰性气体。
4.根据权利要求1所述的环形预热式气体烧结炉，其特征在于，所述的炉体为带有腔体的圆柱体结构，所述的炉盖为带有弧形顶部的圆形结构，其中，所述的炉体的直径与炉盖的直径相对应。
5.根据权利要求1所述的环形预热式气体烧结炉，其特征在于，所述的控制台上设置有温度显示器、人机界面以及按钮。
6.根据权利要求1所述的环形预热式气体烧结炉，其特征在于，所述的环形预热式气体烧结炉还包括耐火砖，所述的耐火砖安装在预热器的顶部。
【专利摘要】本实用新型公开了一种环形预热式气体烧结炉，包括控制台、固定座、炉体、炉盖、气体管道以及预热器，所述的固定座安装在控制台上，所述的炉体安装在固定座内并凸出于固定座上部的中间位置，所述的炉盖扣合于炉体的上端，所述的气体管道环绕在炉体的周围并分别与预热器上下两端相连接。通过上述方式，本实用新型提供的环形预热式气体烧结炉，适用于晶体的烧结气体管道环绕在炉体的周围并分别与预热器上下两端相连接，通过预热器将气体管道内的气体进行预热，采用循环利用方式进行预热，气体经过预热后进入炉体内，保持炉体内恒温性，避免冷气体直接进入高温炉的冷热冲击，使晶体因为冷热冲击而开裂，保证了晶体的质量及完整性。
【IPC分类】C30B33-02, C30B9-00
【公开号】CN204385316
【申请号】CN201420855011
【发明人】陈远帆, 陈冠廷, 彭志豪
【申请人】苏州晶特晶体科技有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2014年12月30日