一种泡生法蓝宝石长晶设备称重系统的电动自卸载装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本专利涉及泡生法蓝宝石晶体制造领域，尤其涉及一种一种泡生法蓝宝石长晶设备称重系统的电动自卸载装置，同时可适用于其他相似领域。
【背景技术】
[0002]由于蓝宝石晶体的光学穿透带很宽，从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性，因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度激光镜片材料及掩模材料上。目前超尚壳度白/蓝光LED的品质取决于氣化嫁外延(GaN)的材料品质，而氣化嫁外延品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关，蓝宝石(单晶Al2O3)C面II1- V和I1- VI族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN外延工艺中耐高温的要求，使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料。
[0003]目前最成熟的生长大尺寸低应力无缺陷蓝宝石晶体的技术仍然还是泡生法。目前泡生法生长蓝宝石晶体的重量越来越大，从35kg级，发展到60kg级，80kg级，10kg级，甚至到120kg级。而晶体重量是体现晶体生长状况的重要参数，但是随着晶体重量的增加，所采用的传感器的重量等级也在不断增加，同时称重传感器的可分辨最小重量也在不断增加，最终导致这些低精度的称重数据失去参考价值。
【发明内容】
[0004](一)要解决的技术问题
[0005]为了能在大公斤级设备上继续使用小量程的称重传感器，本专利提供一种泡生法蓝宝石长晶设备称重系统的电动自卸载装置，在引晶结束以后，卸除晶体重量，保护小量程的称重传感器不受损害。
[0006](二)技术方案
[0007]提供一种泡生法蓝宝石长晶设备称重系统的电动自卸载装置，设置起到容纳作用的容腔，所述的容腔顶部设置起到密封作用的顶盖，所述的顶盖的底面设置传感器支架，所述的传感器支架两边至少分别设置一个安装孔，设置螺栓穿过所述的安装孔，与所述的顶盖固定连接，并设置所述的传感器支架与所述的顶盖之间具有间隙，所述的传感器支架下面设置称重传感器，所述的称重传感器连接籽晶杆支架，所述的籽晶杆支架连接籽晶杆，所述的籽晶杆穿过所述的容腔底部的通孔，所述的容腔底部设置至少一个电动力举装置，所述的电动力举装置设置在所述的籽晶杆支架下方，所述的传感器支架与所述的顶盖之间设置至少一个位置检测传感器。
[0008]所述的电动力举装置设置电动机和传动装置，所述的传动装置将所述的电动机的旋转运动转换成成上下运动。
[0009]所述的传动装置的输出轴向上运动推动所述的籽晶杆支架触发所述的位置检测传感器。
[0010]所述的位置检测传感器安装在所述的传感器支架上，也可以安装在所述的顶盖上。
[0011]所述的位置检测传感器设置为微动开关，也可以设置为接近开关。
[0012](三)有益效果
[0013]从上述技术方案可以看出，本专利具有以下有益效果:
[0014]1、引晶阶段，让晶体重量施加在称重传感器上，获得高精度的称重数据；
[0015]2、引晶结束以后，将重量从称重传感器上卸载下来，避免蓝宝石晶体长大以后损害称重传感器。
【附图说明】
[0016]图1为泡生法蓝宝石长晶设备的外形示意图；
[0017]图2为电动自卸载装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]下面结合具体的实施实例对本专利作进一步展开说明，但需要指出的是，本发明所要求保护的结构并不限于实施例及说明书附图中的具体结构。对于本领域普通技术人员可以推知的其他结构形式，亦属于本发明所要求保护的范围之内。
[0019]请参阅图1、图2，一种泡生法蓝宝石长晶设备称重系统的电动自卸载装置，设置在炉膛11的顶部，包括起到容纳作用的容腔I，所述的容腔I顶部设置起到密封作用的顶盖2，所述的顶盖2上设置了带密封圈的开孔，可以为所述的容腔I内部的装置提供连接线。
[0020]所述的顶盖2的底面设置传感器支架3，所述的传感器支架3两边至少分别设置一个安装孔，设置螺栓9穿过所述的安装孔，与所述的顶盖2固定连接，并设置所述的传感器支架3与所述的顶盖2之间具有间隙。因此，所述的传感器支架3可以上下移动，最低位置由所述的螺栓9的头部位置决定。
[0021]所述的传感器支架3下面设置称重传感器4，所述的称重传感器4连接籽晶杆支架5，所述的籽晶杆支架5连接籽晶杆6，所述的籽晶杆6穿过所述的容腔I底部的通孔，所述的籽晶杆6末端设置籽晶夹头，所述的籽晶夹头设置籽晶，所述的籽晶进行蓝宝石晶体的生长。
[0022]所述的容腔I底部设置至少一个电动力举装置，所述的电动力举装置设置电动机8和传动装置7，所述的传动装置7将所述的电动机8的旋转运动转换成成上下运动。所述的电动力举装置设置在所述的籽晶杆支架5下方。
[0023]所述的传感器支架3与所述的顶盖2之间设置至少一个位置检测传感器10，所述的位置检测传感器10设置为微动开关，也可以设置为接近开关。所述的位置检测传感器10安装在所述的传感器支架3上，也可以安装在所述的顶盖2上。
[0024]所述的传动装置7的输出轴在所述的电动机8的驱动下向上运动推动所述的籽晶杆支架5，并触发所述的位置检测传感器10。
[0025]工作过程如下:
[0026]I)在引晶过程中，所述的电动力举装置不工作，将所述的传感器支架3处在最低位置，所述的位置检测传感器10不被触发，蓝宝石晶体通过所述的籽晶杆6承重到所述的称重传感器4上；
[0027]这个阶段，蓝宝石晶体生长重量小，需要精确的称重数据来判断晶体生长阶段，并且没有超出所述的称重传感器4的量程范围。
[0028]2)引晶结束以后，所述的电动力举装置开始工作，推动所述的传感器支架3向上运动并触发所述位置检测传感器10，所述的电动力举装置停止并保持位置不变，所述的称重传感器4无负载。
[0029]这个阶段，蓝宝石晶体已经生长到一定阶段，不需要高精确的称重数据，并且会超出所述的称重传感器4的量程范围。
【主权项】
1.一种泡生法蓝宝石长晶设备称重系统的电动自卸载装置，设置起到容纳作用的容腔，所述的容腔顶部设置起到密封作用的顶盖，其特征在于:所述的顶盖的底面设置传感器支架，所述的传感器支架两边至少分别设置一个安装孔，设置螺栓穿过所述的安装孔，与所述的顶盖固定连接，并设置所述的传感器支架与所述的顶盖之间具有间隙，所述的传感器支架下面设置称重传感器，所述的称重传感器连接籽晶杆支架，所述的籽晶杆支架连接籽晶杆，所述的籽晶杆穿过所述的容腔底部的通孔，所述的容腔底部设置至少一个电动力举装置，所述的电动力举装置设置在所述的籽晶杆支架下方，所述的传感器支架与所述的顶盖之间设置至少一个位置检测传感器。
2.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石长晶设备称重系统的电动自卸载装置，其特征在于:所述的电动力举装置设置电动机和传动装置，所述的传动装置将所述的电动机的旋转运动转换成成上下运动。
3.根据权利要求2所述的一种泡生法蓝宝石长晶设备称重系统的电动自卸载装置，其特征在于:所述的传动装置的输出轴向上运动推动所述的籽晶杆支架触发所述的位置检测传感器。
4.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石长晶设备称重系统的电动自卸载装置，其特征在于:所述的位置检测传感器安装在所述的传感器支架上，也可以安装在所述的顶盖上。
5.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石长晶设备称重系统的电动自卸载装置，其特征在于:所述的位置检测传感器设置为微动开关，也可以设置为接近开关。
【专利摘要】公开一种泡生法蓝宝石长晶设备称重系统的电动自卸载装置，设置容腔和顶盖，所述的顶盖的底面设置传感器支架，所述的传感器支架两边至少分别设置一个安装孔，设置螺栓穿过所述的安装孔，与所述的顶盖固定连接，并设置所述的传感器支架与所述的顶盖之间具有间隙，所述的传感器支架下面设置称重传感器，所述的称重传感器连接籽晶杆支架，所述的籽晶杆支架连接籽晶杆，所述的容腔底部设置至少一个电动力举装置，所述的电动力举装置设置在所述的籽晶杆支架下方，所述的传感器支架与所述的顶盖之间设置至少一个位置检测传感器，所述的电动力举装置设置电动机和传动装置，所述的传动装置的输出轴向上运动推动所述的籽晶杆支架触发所述的位置检测传感器。
【IPC分类】C30B17-00, C30B29-20
【公开号】CN204417637
【申请号】CN201520034736
【发明人】刘瑜, 杜慧江, 邢明
【申请人】杭州晶一智能科技有限公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2015年1月19日