一种碳化硅外延炉尾气管道的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种尾气管道，特别涉及一种碳化硅外延炉尾气管道。
【背景技术】
[0002]碳化硅外延炉是用来生长碳化硅外延晶片的反应室，通常采用CVD(化学气相沉积)的方法来生长碳化硅外延晶片，碳化硅的CVD设备有很多种类型，其中暖壁式CVD因其结构简单、产能大而日益被市场所接受，是目前国际上主流的碳化硅外延生长设备，在商业碳化娃外延炉中，德国Aixtron公司的2400或2800系列碳化娃外延炉，采用大抽速的干泵通过尾气管道把腔体压力抽到生长所需要的压力，通过快速升温使得腔体的生长温度达到1500-1600摄氏度左右，生长反应过程中剩余的气体经过大抽速的干泵通过尾气管道排放到尾气吸附处理设备，这种碳化硅外延炉采用的尾气管道存在以下缺陷:
[0003]在碳化硅生长反应过程中，剩余的高温气体经过部分的冷却后温度还是很高，参照图1所示，其尾气管道的连接处往往采用一橡胶O型圈来固定，在运行了 10个左右的炉次后会把尾气管道连接处的耐高温的橡胶O型圈烤化(O型圈耐温290摄氏度)，引起设备真空漏气，需要频繁更换这个O型圈，降低设备的使用效率和增加人工费用及物料成本。
[0004]因此本发明人对上述碳化硅外延炉尾气管道进行改进，特别研制出一种能够快速冷却、防止碳化硅外延炉尾气管道，本案由此产生。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种碳化硅外延炉尾气管道，其能够使管道连接处快速冷却，防止管道漏气。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0007]一种碳化硅外延炉尾气管道，包括复数个主管道、支管道和水管；主管道由管道主体和连接端组成，主管道的两端和中间均设置连接端，支管道也形成连接端，主管道中间的连接端与支管道连接端对接，支管道的连接端设置一水管。
[0008]所述主管道连接端与支管道连接端形成O型对接头，O型对接头上设置复数个螺孔，螺孔中旋入螺栓，主管道与支管道通过螺栓连接。
[0009]所述主管道的连接端也设置水管。
[0010]所述水管嵌入主管道连接端和支管道连接端。
[0011]采用上述方案后，本实用新型通过在碳化硅外延炉尾气管道的连接处设置水管，在尾气管道排气和抽气过程中，利用冷水不断的在水管流动，由水流将气体中的大量热量导出，从而实现快速降温，使尾气管道连接处的温度保持较低温度，避免了以前高温烤化橡胶O型圈导致的漏气，从而延长了设备的使用时间，降低成本。
【附图说明】
[0012]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1是现有技术尾气管道的结构示意图；
[0014]图2是本实用新型的结构示意图。
[0015]标号说明
[0016]主管道1，管道主体11，主管道连接端12，支管道2，支管道连接端21，水管3，0型对接头4，螺孔5，螺栓6，橡胶O型圈7。
【具体实施方式】
[0017]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0018]如图2所示，本实用新型揭示的一种碳化硅外延炉尾气管道，包括复数个I主管道、支管道2和水管3 ;主管道I由管道主体11和连接端12组成，主管道I的两端和中间均设置连接端12，支管道2也形成连接端21，主管道I中间的连接端11与支管道连接端21对接，支管道2的连接端21设置一水管3。
[0019]在管道连接处增设的水管3，当碳化硅尾气管道抽气或排气时，水管3中不断的有冷水流动，及时降低管道温度，是管道一直保持相对较低的温度，有效防止管道过热对周围器件的损耗。
[0020]主管道连接端12与支管道连接端21形成O型对接头4，O型对接头4上设置复数个螺孔5，螺孔5中旋入螺栓6，主管道I与支管道2通过螺栓6连接，相对于以前管道之间利用无缝焊接及一橡胶O型圈固定的方式，本实用新型的尾气管道直接采用螺栓6紧固连接的方式，在增强连接处稳定性的同时，更方便尾气管道的安装、拆卸和维护，对管道中漏气等问题也能够及时的排查。
[0021]主管道I的连接端12也设置水管3，水管3嵌入主管道连接端12和支管道连接端21，在两个连接的管道的连接端均设置水管3使降温效果更好。
[0022]本实用新型对碳化硅尾气管道及其连接结构进行改进，有效的控制了管道中的温度，使尾气管道能够长时间地配合碳化硅外延炉的稳定工作，提高设备使用率和使用寿命，降低生产成本。
[0023]上述实施例和图式并非限定本实用新型的产品形态和式样，任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应视为不脱离本实用新型的专利范畴。
【主权项】
1.一种碳化硅外延炉尾气管道，其特征在于:包括复数个主管道、支管道和水管；主管道由管道主体和连接端组成，主管道的两端和中间均设置连接端，支管道也形成连接端，主管道中间的连接端与支管道连接端对接，支管道的连接端设置一水管。2.如权利要求1所述的一种碳化硅外延炉尾气管道，其特征在于:所述主管道连接端与支管道连接端形成O型对接头，O型对接头上设置复数个螺孔，螺孔中旋入螺栓，主管道与支管道通过螺栓连接。3.如权利要求1所述的一种碳化硅外延炉尾气管道，其特征在于:所述主管道的连接端也设置水管。4.如权利要求3所述的一种碳化硅外延炉尾气管道，其特征在于:所述水管嵌入主管道连接端和支管道连接端。
【专利摘要】本实用新型公开一种碳化硅外延炉尾气管道，包括复数个主管道、支管道和水管；主管道由管道主体和连接端组成，主管道的两端和中间均设置连接端，支管道也形成连接端，主管道中间的连接端与支管道连接端对接，支管道的连接端设置一水管；本实用新型实现管道的快速冷却，防止尾气管道漏气，降低生产成本。
【IPC分类】C30B25/14, C30B29/36
【公开号】CN204690165
【申请号】CN201520024815
【发明人】罗金云, 冯淦, 赵建辉
【申请人】瀚天天成电子科技（厦门）有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年1月14日