惰性气体纯化再生系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种惰性气体纯化装置，具体说是一种惰性气体纯化再生系统。
【背景技术】
[0002]在化学工业及电子工业的很多工艺中大量使用超高纯度的惰性气体。而工业制备出的惰性气体中通常含有一些反应物、反应过程中的中间产物以及水、空气中的氧气等杂质因其化学性质而使所述气体无法适用于高工艺性的要求。因此要对超高纯度气体中的各种杂质进行除杂纯化。
[0003]目前工业上惰性气体常用的纯化方法主要有低温冷凝吸附分离法、变压吸附法、薄膜分离法、化学分离法等。一般冷凝吸附分离法和变压吸附法都是采用惰性气体纯化吸附材料填入纯化罐之中，通过特殊的温度、压力条件使原料惰性气体材料中的杂质转移到纯化吸附材料之中。纯化罐中的纯化吸附材料长时间使用会饱和。此时需要相应的再生系统将纯化吸附材料中吸附的杂质或者气体等反应掉，生成水分等再进行排出。使纯化吸附材料的饱和度降低并循环使用。惰性气体相对于氢气和氮气等气体在纯化再生系统的不同之处在于，还需要除去作为杂质的空气成分中的氧气。
【发明内容】
[0004]针对上述情况，本实用新型提供一种惰性气体纯化再生系统，在传统的氢气纯化再生系统上增设特殊设计的模块化的氢气接入装置改装成惰性气体纯化再生系统，可以有效除去惰性气体中的氧气，模块化的氢气接入装置安装方便，拆卸简单，减小了惰性气体纯化再生系统的成本，可以达到一机多用的效果。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0006]惰性气体纯化再生系统，包括纯化罐、再生气体进料管道、第一气动波纹管阀、第二气动波纹管阀、再生气体出料管道，所述再生气体进料管道与纯化罐顶部连接，所述再生气体出料管道与纯化罐底部贯通连接，再生气体出料管道也设置有第二气动波纹管阀，其特征在于，还包括氢气接入装置，所述氢气接入装置包括氢气原料接入管道、氢气过滤器、氢气压力表、氢气流量计、截止阀、氢气再生气体进料支路、固定面板，所述固定面板上固设有氢气压力表、氢气流量计、截止阀和氢气过滤器，所述氢气原料接入管道依次通过氢气压力表、氢气过滤器和氢气流量计之后连接至截止阀的输入端，所述氢气再生气体进料支路一端与截止阀的输出端连接，氢气再生气体进料支路另一端连接至再生气体进料管道。
[0007]还包括氢气过滤器支架，氢气过滤器支架为U型结构，U型结构一侧通过螺栓孔固定安装在固定面板上，另一侧设有氢气过滤器安装槽，氢气过滤器安装在安装槽内，氢气原料接入管道接入氢气过滤器的位置以及伸出的位置均安装在U型结构之中。氢气过滤器支架的这种结构不仅可以起到安装氢气过滤器的目的，还可以保护氢气原料接入管道接入氢气过滤器的位置以及伸出的位置的稳定性。
[0008]作为优选实施例，所述氢气再生气体进料支路从总支路上分出两条分支支路，这两条分支支路分别流入两个纯化罐中。这种结构适合两个纯化罐并列使用的惰性气体纯化再生系统。
[0009]本实用新型的优点是:在传统的氢气纯化再生系统上增设特殊设计的模块化的氢气接入装置改装成惰性气体纯化再生系统，可以有效除去惰性气体中的氧气，模块化的氢气接入装置安装方便，拆卸简单，减小了惰性气体纯化再生系统的成本，可以达到一机多用的效果。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的部分结构示意图。
[0011]图2为氢气接入装置的结构示意图。
[0012]在图中:1-纯化罐，2-再生气体进料管道，3-第一气动波纹管阀，4-第二气动波纹管阀，5-再生气体出料管道，6-氢气接入装置，61-氢气原料接入管道、62-氢气过滤器、63-氢气压力表、64-氢气流量计、65_截止阀、66-氢气再生气体进料支路、67-固定面板，68-氢气过滤器支架。
【具体实施方式】
[0013]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
[0014]参见图1~图2，惰性气体纯化再生系统，包括纯化罐、再生气体进料管道、第一气动波纹管阀、第二气动波纹管阀、再生气体出料管道，所述再生气体进料管道与纯化罐顶部连接，所述再生气体出料管道与纯化罐底部贯通连接，再生气体出料管道也设置有第二气动波纹管阀，其特征在于，还包括氢气接入装置，所述氢气接入装置包括氢气原料接入管道、氢气过滤器、氢气压力表、氢气流量计、截止阀、氢气再生气体进料支路、固定面板，所述固定面板上固设有氢气压力表、氢气流量计、截止阀和氢气过滤器，所述氢气原料接入管道依次通过氢气压力表、氢气过滤器和氢气流量计之后连接至截止阀的输入端，所述氢气再生气体进料支路一端与截止阀的输出端连接，氢气再生气体进料支路另一端连接至再生气体进料管道。
[0015]还包括氢气过滤器支架，氢气过滤器支架为U型结构，U型结构一侧通过螺栓孔固定安装在固定面板上，另一侧设有氢气过滤器安装槽，氢气过滤器安装在安装槽内，氢气原料接入管道接入氢气过滤器的位置以及伸出的位置均安装在U型结构之中。氢气过滤器支架的这种结构不仅可以起到安装氢气过滤器的目的，还可以保护氢气原料接入管道接入氢气过滤器的位置以及伸出的位置的稳定性。
[0016]作为优选实施例，所述氢气再生气体进料支路从总支路上分出两条分支支路，这两条分支支路分别流入两个纯化罐中。这种结构适合两个纯化罐并列使用的惰性气体纯化再生系统。
[0017]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
【主权项】
1.惰性气体纯化再生系统，包括纯化罐、再生气体进料管道、第一气动波纹管阀、第二气动波纹管阀、再生气体出料管道，所述再生气体进料管道与纯化罐顶部连接，所述再生气体出料管道与纯化罐底部贯通连接，再生气体出料管道也设置有第二气动波纹管阀，其特征在于，还包括氢气接入装置，所述氢气接入装置包括氢气原料接入管道、氢气过滤器、氢气压力表、氢气流量计、截止阀、氢气再生气体进料支路、固定面板，所述固定面板上固设有氢气压力表、氢气流量计、截止阀和氢气过滤器，所述氢气原料接入管道依次通过氢气压力表、氢气过滤器和氢气流量计之后连接至截止阀的输入端，所述氢气再生气体进料支路一端与截止阀的输出端连接，氢气再生气体进料支路另一端连接至再生气体进料管道。2.根据权利要求1所述的惰性气体纯化再生系统，其特征在于，还包括氢气过滤器支架，氢气过滤器支架为U型结构，U型结构一侧通过螺栓孔固定安装在固定面板上，另一侧设有氢气过滤器安装槽，氢气过滤器安装在安装槽内，氢气原料接入管道接入氢气过滤器的位置以及伸出的位置均安装在U型结构之中。3.根据权利要求1所述的惰性气体纯化再生系统，其特征在于，所述氢气再生气体进料支路从总支路上分出两条分支支路。
【专利摘要】本实用新型涉及一种惰性气体纯化再生系统，包括纯化罐、再生气体进料管道、再生气体出料管道，还包括氢气接入装置，所述氢气接入装置包括氢气原料接入管道、氢气过滤器、氢气压力表、氢气流量计、截止阀、氢气再生气体进料支路、固定面板，所述固定面板上固设有氢气压力表、氢气流量计、截止阀和氢气过滤器，所述氢气原料接入管道依次通过氢气压力表、氢气过滤器和氢气流量计之后连接至截止阀的输入端，所述氢气再生气体进料支路一端与截止阀的输出端连接，氢气再生气体进料支路另一端连接至再生气体进料管道。在特殊设计的模块化的氢气接入装置安装方便，拆卸简单，减小了惰性气体纯化再生系统的成本，可以达到一机多用的效果。
【IPC分类】C01B3/50
【公开号】CN204917955
【申请号】CN201520634329
【发明人】江晓松
【申请人】先普半导体技术(上海)有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年8月21日