惰性气体纯化器的制造方法

文档序号:10008452阅读:814来源:国知局
惰性气体纯化器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种气体提纯装置,具体说是一种惰性气体纯化器。
【背景技术】
[0002]在化学工业及电子工业的很多工艺中大量使用超高纯度的惰性气体。而工业制备出的惰性气体中通常含有一些反应物、反应过程中的中间产物以及水、空气中的氧气等杂质因其化学性质而使所述气体无法适用于高工艺性的要求。因此要对超高纯度气体中的各种杂质进行除杂纯化。
[0003]目前工业上惰性气体常用的纯化方法主要有低温冷凝吸附分离法、变压吸附法、薄膜分离法、化学分离法等。一般冷凝吸附分离法和变压吸附法都是采用惰性气体纯化吸附材料填入纯化罐之中,通过特殊的温度、压力条件使原料惰性气体材料中的杂质转移到纯化吸附材料之中。所以要求惰性气体纯化器腔内是高温或者高压的状态,目前,常用的气体纯化器即气体纯化罐在内部会安装加热装置,传统的加热装置经常存在加热不均匀的问题。另外多数气体纯化罐保温性不好,造成纯化罐外部温度高,无保护措施容易使工作人员受到烫伤。

【发明内容】

[0004]针对上述情况,本实用新型提供一种惰性气体纯化器,采用陶瓷加热圈内的较高绝缘耐火程度的陶瓷内穿上电阻丝,具有安全性高,加热均匀,高温稳定等特点,陶瓷层具有温度不外泄,工作安全,可节省电能的优点。另外,绝热棉进一步起到绝热作用,绝热棉和纯化罐外壳之间的真空间隙保护工作人员的安全,防止高温或者触电事故。
[0005]为了实现上述目的,本实用新型的技术方案如下:
[0006]惰性气体纯化器,包括纯化器本体、加热装置,纯化器本体顶部设有气体输入管道,纯化器本体底部设有气体输出管道,其特征在于,所述加热装置为陶瓷加热圈,陶瓷加热圈安装在纯化器本体侧壁外缘,陶瓷加热圈外部设置有一圈绝热棉,绝热棉外部设置有纯化罐外壳。
[0007]所述绝热棉和纯化罐外壳之间设置有一圈真空间隙,真空间隙的单边间距为32~48晕米。
[0008]所述绝热棉外缘设有一层保温材料,保温材料为铝箔。
[0009]所述绝热棉的厚度为16~20毫米。
[0010]所述纯化器本体的内径为80~120毫米,纯化器本体的外径为110~130毫米,陶瓷加热圈的内径与纯化器本体外径匹配,陶瓷加热圈的厚度为10~20毫米。
[0011]所述纯化罐外壳由弧形钢板拼接而成,拼接处通过螺栓连接。
[0012]还包括传感器接管道,传感器接管道一端伸入纯化器本体内腔之中,传感器接管道另一端外露在纯化罐外壳外部。
[0013]所述纯化器本体上至少有一个传感器连接管道。
[0014]本实用新型的优点是:采用陶瓷加热圈内的较高绝缘耐火程度的陶瓷内穿上电阻丝,具有安全性高,加热均匀,高温稳定等特点,陶瓷层具有温度不外泄,工作安全,可节省电能的优点。另外,绝热棉进一步起到绝热作用,绝热棉和纯化罐外壳之间的真空间隙保护工作人员的安全,防止高温或者触电事故。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型的主视图。
[0016]图2为图1中A-A面的剖视图。
[0017]在图中:1_纯化器本体,2-气体输入管道,3-气体输出管道,4-陶瓷加热圈,5-绝热棉,6-纯化罐外壳,7-真空间隙,8-铝箔,9-传感器接管道。
【具体实施方式】
[0018]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。
[0019]参见图1~图2,惰性气体纯化器,包括纯化器本体、加热装置,纯化器本体顶部设有气体输入管道,纯化器本体底部设有气体输出管道,其特征在于,所述加热装置为陶瓷加热圈,陶瓷加热圈安装在纯化器本体侧壁外缘,陶瓷加热圈外部设置有一圈绝热棉,绝热棉外部设置有纯化罐外壳。
[0020]所述绝热棉和纯化罐外壳之间设置有一圈真空间隙,真空间隙的单边间距为32~48晕米。
[0021]所述绝热棉外缘设有一层保温材料,保温材料为铝箔。
[0022]所述绝热棉的厚度为16~20毫米。
[0023]所述纯化器本体的内径为80~120毫米,纯化器本体的外径为110~130毫米,陶瓷加热圈的内径与纯化器本体外径匹配,陶瓷加热圈的厚度为10~20毫米。
[0024]所述纯化罐外壳由弧形钢板拼接而成,拼接处通过螺栓连接。
[0025]还包括传感器接管道,传感器接管道一端伸入纯化器本体内腔之中,传感器接管道另一端外露在纯化罐外壳外部。
[0026]所述纯化器本体上至少有一个传感器连接管道。
[0027]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
【主权项】
1.惰性气体纯化器,包括纯化器本体、加热装置,纯化器本体顶部设有气体输入管道,纯化器本体底部设有气体输出管道,其特征在于,所述加热装置为陶瓷加热圈,陶瓷加热圈安装在纯化器本体侧壁外缘,陶瓷加热圈外部设置有一圈绝热棉,绝热棉外部设置有纯化罐外壳。2.根据权利要求1所述的惰性气体纯化器,其特征在于,所述绝热棉和纯化罐外壳之间设置有一圈真空间隙,真空间隙的单边间距为32~48毫米。3.根据权利要求1所述的惰性气体纯化器,其特征在于,所述绝热棉外缘设有一层保温材料,保温材料为招猜。4.根据权利要求1所述的惰性气体纯化器,其特征在于,还包括传感器接管道,传感器接管道一端伸入纯化器本体内腔之中,传感器接管道另一端外露在纯化罐外壳外部。5.根据权利要求4所述的惰性气体纯化器,其特征在于,所述纯化器本体上至少有一个传感器连接管道。
【专利摘要】本实用新型涉及一种惰性气体纯化器,包括纯化器本体、加热装置,纯化器本体顶部设有气体输入管道,纯化器本体底部设有气体输出管道,所述加热装置为陶瓷加热圈,陶瓷加热圈安装在纯化器本体侧壁外缘,陶瓷加热圈外部设置有一圈绝热棉,绝热棉外部设置有纯化罐外壳。本实用新型采用陶瓷加热圈内的较高绝缘耐火程度的陶瓷内穿上电阻丝,具有安全性高,加热均匀,高温稳定等特点,陶瓷层具有温度不外泄,工作安全,可节省电能的优点。另外,绝热棉进一步起到绝热作用,绝热棉和纯化罐外壳之间的真空间隙保护工作人员的安全,防止高温或者触电事故。
【IPC分类】C01B23/00, B01D53/04
【公开号】CN204917973
【申请号】CN201520634101
【发明人】江晓松
【申请人】先普半导体技术(上海)有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年8月21日
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