一种电极、加热器及硅芯炉的制作方法

文档序号:10009385阅读:645来源:国知局
一种电极、加热器及硅芯炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到硅芯生产的技术领域,尤其涉及到一种电极、加热器及硅芯炉。
【背景技术】
[0002]铜电极是炉内加热热场与炉外电源的连接通道,在炉内与热场通过螺栓连接,炉外通过水冷电缆与变压器连接。如图1所示,图1示出了现有技术中的电极的结构,其由电极法兰1、电极杆体2、电极堵头3焊接而成。焊接完成后,经过机加工,形成最终尺寸。其中的电极是纯铜原料加工而成,从原材料到成品,要经过多道工序,每道工序都会产生应力,故容易变形。尤其是焊接工序,因为焊接过程中产生的热量会使应力释放,工件很可能会严重变形,精加工的所有公差尺寸都会受到影响。由于铜电极的大部分都在炉体内部,炉体内部为高温高真空的环境,因此铜电极的焊接有非常高的要求。既不能因焊接降低导电率,又绝对不能有任何渗漏,否则会造成不可挽回的事故。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型提供了一种电极、加热器及硅芯炉,用以提高电极的导电效率。
[0004]本实用新型提供了一种电极,该电极包括杆状的电极主体,且所述电极主体内设置有阶梯孔,且所述阶梯孔中直径较大的孔为螺纹孔,所述电极主体背离所述阶梯孔孔口的一端设置有螺纹,所述电极主体上设置有定位的档肩。
[0005]在上述技术方案中,整个电极采用一体化结构设计,从而避免了由于焊接不严密漏水,同时也可以更好的传递电流。具体的,整个电极由电极主体上加工出阶梯孔及档肩,使得电极能够将线缆与加热器连接,同时,由于电极主体及档肩为一体结构,从而使得电极能够更好的传递电流,避免了现有技术中由于焊接工艺带来的不良后果。
[0006]优选的,所述杆状的电极主体为阶梯杆,且所述档肩设置在所述阶梯杆的阶梯面。
[0007]优选的,所述螺纹孔的孔口位于所述阶梯杆中直径较大的一端,且所述螺纹孔的深度小于所述阶梯杆中直径较大的杆的长度。
[0008]优选的,还包括设置在所述阶梯孔内的冷却管,且所述冷却管为双层管。
[0009]本实用新型还提供了一种加热器,该加热器为直线型的石墨加热器,所述直线型的石墨加热器具有波浪形的折弯结构,且所述石墨加热器的设置两端分别设置有第一连接端口及第二连接端口,位于所述两个连接端口之间的石墨加热器上间隔设置有第三连接端口及第四连接端口,其中,所述第一连接端口、第二连接端口、第三连接端口及第四连接端口上分别设置有上述任一项所述的电极,且所述第一连接端口及第二连接端口连接在同一相电源线,第三连接端口及第四连接端口分别连接在另外两相电源线。
[0010]在上述技术方案中,整个电极采用一体化结构设计,从而避免了由于焊接不严密漏水,同时也可以更好的传递电流。具体的,整个电极由电极主体上加工出阶梯孔及档肩,使得电极能够将线缆与加热器连接,同时,由于电极主体及档肩为一体结构,从而使得电极能够更好的传递电流,避免了现有技术中由于焊接工艺带来的不良后果。[0011 ] 优选的,所述波浪形折弯结构的形状不相同。
[0012]优选的,所述石墨电极的折弯结构形成避让所述硅芯炉上的测温口及观察口的间隙。
[0013]本实用新型还提供了一种硅芯炉,该炉包括炉膛以及设置在所述炉膛内的保温罩,还包括固定在所述保温罩内顶部的上述任一项所述的加热器。
[0014]在上述技术方案中,整个电极采用一体化结构设计,从而避免了由于焊接不严密漏水,同时也可以更好的传递电流。具体的,整个电极由电极主体上加工出阶梯孔及档肩,使得电极能够将线缆与加热器连接,同时,由于电极主体及档肩为一体结构,从而使得电极能够更好的传递电流,避免了现有技术中由于焊接工艺带来的不良后果。
【附图说明】
[0015]图1为现有技术中的电极的结构示意图;
[0016]图2为本实用新型实施例提供的电极的结构示意图;
[0017]图3为本实用新型实施例提供的加热器的结构示意图。
[0018]附图标记:
[0019]1-电极法兰2-电极杆体3-电极堵头
[0020]11-电极主体 12-档肩13-阶梯孔
[0021]14-冷却管15-冷却腔20-石墨电极
[0022]21-第一连接端口 22-第二连接端口 23-第三连接端口
[0023]24-第四连接端口 25-避让测温口的间隙26-避让观察口的间隙
【具体实施方式】
[0024]以下结合附图对本实用新型的具体实施例进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限制本实用新型。
[0025]如图2所示,图2示出了本实用新型实施例提供的电极的结构。
[0026]本实用新型实施例提供了一种电极,该电极包括杆状的电极主体11,且电极主体11内设置有阶梯孔13,且阶梯孔13中直径较大的孔为螺纹孔,电极主体11背离阶梯孔13孔口的一端设置有螺纹,电极主体11上设置有定位的档肩12。
[0027]在上述实施例中,整个电极采用一体化结构设计,从而避免了由于焊接不严密漏水,同时也可以更好的传递电流。具体的,整个电极由电极主体11上加工出阶梯孔13及档肩12,使得电极能够将线缆与加热器连接,同时,由于电极主体11及档肩12为一体结构,从而使得电极能够更好的传递电流,避免了现有技术中由于焊接工艺带来的不良后果。
[0028]为了方便对本实施例提供的电极有更加清晰的了解,下面结合附图2对其结构进行详细的描述。
[0029]继续参考图2,杆状的电极主体11为阶梯杆,且档肩12设置在阶梯杆的阶梯面。其具体加工时,将一根棒
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