一种真空电弧法石英坩埚制造机往复旋转倾动装置的制造方法

文档序号:10241352阅读:302来源:国知局
一种真空电弧法石英坩埚制造机往复旋转倾动装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种电弧法坩祸制造机的配套装置,特别是涉及一种真空电弧法石英坩祸制造机往复旋转倾动装置。
【背景技术】
[0002]随着经济和技术的发展,人类对于新能源的要求越来越迫切。太阳能被认为是21世纪最重要的可再生绿色能源。利用太阳能,离不开单晶硅电池板,从而离不开生产电池板的高品质石英坩祸。真空电弧法是生产石英坩祸的主要方法。它以电弧为热源,用离心成型工艺制造坩祸。电弧法坩祸制造机主要包括加热装置、往复倾动装置、升降装置。设备已比较成熟,但在生产使用过程中发现:倾动箱体结构复杂、不易加工、制造成本较高。

【发明内容】

[0003]本实用新型的目的在于提供一种真空电弧法石英坩祸制造机往复旋转倾动装置,该装置往复运动方向与倾动方向垂直,避免惯性滑动,同时减小了导轨架的占地面积;用PLC控制系统实现主轴旋转、倾动、倾动台往复三种运动的整体控制,操作方便。
[0004]本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的:
[0005]—种真空电弧法石英坩祸制造机往复旋转倾动装置,所述装置倾动主轴为空心轴,中间设有真空管路和水路,上端连接水冷套,下端接旋转接头;倾动主轴通过倾动主轴轴承端盖、倾动主轴轴承、倾动主轴轴承座与倾动轴直接连接,倾动轴外设有支撑架,安装旋转电机、旋转减速器、小带轮,通过皮带与倾动主轴上大带轮连接;倾动轴通过倾动轴轴承座、倾动轴轴承与两侧的倾动支撑箱连接,倾动轴一侧通过倾动大齿轮、倾动小齿轮连接倾动电机,倾动支撑箱安装在倾动底框上;倾动底框下对称布置四个滑,滑块支撑在两个导轨上,导轨架在导轨架上,两导轨中间通过齿条座安装齿条,倾动底框前端安装往复电机、往复减速器、往复齿轮。
[0006]所述的一种真空电弧法石英坩祸制造机往复旋转倾动装置,所述倾动主轴通过法兰连接坩祸水冷套及模具。
[0007]本实用新型的优点与效果是:
[0008]本实用新型倾动轴为一体式设计,安装简单、定位精确;倾动装置往复运动方向与倾动方向垂直,避免惯性滑动,同时减小了导轨架的占地面积;用PLC控制系统实现主轴旋转、倾动、倾动台往复三种运动的整体控制,操作方便。
【附图说明】
[0009]图I为本实用新型的结构示意图;
[0010]图2是图I的左视图。
【具体实施方式】
[0011 ]下面结合实施例对本实用新型进行详细说明。
[0012]本装置采用一体式倾动轴与倾动主轴直接相连;旋转电机、减速器、带轮通过支撑板安装在倾动轴上;倾动轴两端由框架支撑,一侧框架上有倾动电机,通过齿轮减速机构与倾动轴相连;框架底部装有滑块,通过齿轮齿条传动机构,实现整个倾动台沿导轨往复运动,运动方向与倾动方向垂直;由PLC控制系统实现对主轴转动、倾动以及往复运动的控制并精确定位。
[0013]图中:旋转接头1、大带轮2、支撑架3、倾动主轴轴承座4、倾动支撑箱5、倾动轴6、倾动主轴轴承7、倾动主轴8、倾动主轴轴承端盖9、倾动轴轴承座10、倾动轴轴承11、倾动大齿轮12、倾动小齿轮13、倾动电机14、旋转电机15、旋转减速器16、小带轮17、往复电机18、往复减速器19、齿条20、往复齿轮21、齿条座22、倾动底框23、滑块24、导轨25、导轨架26。
[0014]倾动主轴8为空心轴,中间设有真空管路和水路,上端连接水冷套,下端接旋转接头I。倾动主轴8通过倾动主轴轴承端盖9、倾动主轴轴承7、倾动主轴轴承座4与倾动轴6直接连接,倾动轴6外设有支撑架3,安装旋转电机15、旋转减速器16、小带轮17,通过皮带与倾动主轴上大带轮2连接,实现倾动主轴8旋转。倾动轴6通过倾动轴轴承座10、倾动轴轴承11与两侧的倾动支撑箱5连接,倾动轴6—侧通过倾动大齿轮12、倾动小齿轮13连接倾动电机14,倾动电机14带动倾动轴6及倾动主轴8旋转。倾动支撑箱5安装在倾动底框23上。倾动底框23下对称布置四个滑块24,滑块24支撑在两个导轨25上,导轨25架在导轨架26上,两导轨25中间通过齿条座22安装齿条20,倾动底框23前端安装往复电机18、往复减速器19、往复齿轮21,往复电机18通过减速器19驱动齿轮21旋转带动整个装置沿齿条20行进,运动方向与倾动方向垂直。通过PLC编程实现对三个电机的精确控制,实现行程内任意位置运动和定位。
[0015]本实用新型倾动主轴8通过法兰连接20-22英寸坩祸水冷套及模具,倾动回转中心距地面900毫米,最大回转角度140°,定位点可以根据需要在编程时进行设定,往复行程1720毫米。工作时预先编程,系统可连续工作。
【主权项】
1.一种真空电弧法石英坩祸制造机往复旋转倾动装置,其特征在于,所述装置倾动主轴(8)为空心轴,中间设有真空管路和水路,上端连接水冷套,下端接旋转接头(I);倾动主轴(8)通过倾动主轴轴承端盖(9)、倾动主轴轴承(7)、倾动主轴轴承座(4)与倾动轴(6)直接连接,倾动轴(6)外设有支撑架(3),安装旋转电机(15 )、旋转减速器(16)、小带轮(17),通过皮带与倾动主轴上大带轮(2)连接;倾动轴(6)通过倾动轴轴承座(10)、倾动轴轴承(11)与两侧的倾动支撑箱(5)连接,倾动轴(6)—侧通过倾动大齿轮(12)、倾动小齿轮(13)连接倾动电机(14),倾动支撑箱(5)安装在倾动底框(23)上;倾动底框(23)下对称布置四个滑块(24),滑块(24)支撑在两个导轨(25)上,导轨(25)架在导轨架(26)上,两导轨(25)中间通过齿条座(22)安装齿条(20),倾动底框(23)前端安装往复电机(18)、往复减速器(19)、往复齿轮(21)。2.根据权利要求I所述的一种真空电弧法石英坩祸制造机往复旋转倾动装置,其特征在于,所述倾动主轴(8)通过法兰连接坩祸水冷套及模具。
【专利摘要】一种真空电弧法石英坩埚制造机往复旋转倾动装置,涉及一种电弧法坩埚制造机的配套装置,本装置采用一体式倾动轴与倾动主轴直接相连;旋转电机、减速器、带轮通过支撑板安装在倾动轴上;倾动轴两端由框架支撑,一侧框架上有倾动电机通过齿轮减速机构与倾动轴相连;框架底部装有滑块,通过齿轮齿条传动机构,实现整个倾动台沿导轨往复运动,运动方向与倾动方向垂直;由PLC控制系统实现对主轴转动、倾动以及往复运动的控制并精确定位。本实用新型提供了一种结构简单,操作方便的旋转倾动装置。
【IPC分类】C03B20/00
【公开号】CN205152053
【申请号】CN201520876612
【发明人】穆星宇
【申请人】辽宁工业大学
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年11月6日
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