采用复合结构的蓝宝石长晶炉侧保温屏的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及泡生法蓝宝石长晶炉的热场领域，尤其涉及采用复合结构的蓝宝石长晶炉侧保温屏，同时可适用于其他相似领域。
【背景技术】
[0002]蓝宝石又称白宝石，是世界上硬度仅次于金刚石的晶体材料，由于具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高（2045°C)等优良的物理、机械、化学及红外透光性能，一直是微电子、航空航天、军工等领域急需的材料，凭借其极高的强度、硬度、红外透过性能和抗热冲击性能。该材料在光学窗口、半导体照明、微波器件等领域都有广泛的应用，已成为用量仅次于硅单晶的一种功能晶体材料。尤其是光学级大尺寸蓝宝石材料，由于其具有性能稳定、市场需求量大、综合利用率及产品附加值高等特点，成为近年国内外研究开发和产业化热点。蓝宝石晶体的生长方法很多，但只有泡生法才能获得缺陷和应力少的大尺寸高光学质量的蓝宝石晶体，目前70%的蓝宝石材料是由泡生法制造的。
[0003]泡生法蓝宝石长晶炉包括炉体、热场、控制系统、真空系统、水冷系统及动力系统。为保证原料三氧化二铝能够保持在熔融状态，从化料到长晶结束，内部需要维持2000°C以上的高温，因此热场作为保温材料具有非常重要的作用。同时，因为温度高，热场经常损坏，必须更换，这就大大增加了蓝宝石的生产成本。而其中，侧保温屏更换的频率最高，价格也较昂贵。
【发明内容】
[0004](一)要解决的技术问题
[0005]为了克服上述技术问题，本实用新型设计了采用复合结构的蓝宝石长晶炉侧保温屏，在侧保温屏最容易损坏的地方增加一层可替换的结构，可经常更换，因为面积小，因此成本也低。
[0006](二)技术方案
[0007]为达到上述目的，本实用新型提供了采用复合结构的蓝宝石长晶炉侧保温屏，包括钼侧屏I和中内侧屏2，所述的中内侧屏2的直径小于所述的钼侧屏I的直径，所述的中内侧屏2设置在所述的钼侧屏I内部的中部高温区，所述的中内侧屏2通过钼卡环3与所述的钼侦_1连接。
[0008]本实用新型的有益效果主要表现在:将侧保温屏最容易损坏的地方，增加一层可替换的结构，因为面积减小，从而达到降低成本的目的。
【附图说明】
[0009]图I为复合结构的蓝宝石长晶炉侧保温屏的结构图。
【具体实施方式】
[0010]下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步展开说明，但需要指出的是，本实用新型所要求保护的结构并不限于实施例及说明书附图中的具体结构。对于本领域普通技术人员可以推知的其他结构形式，亦属于本发明所要求保护的范围之内。
[0011]请一并参阅图1，采用复合结构的蓝宝石长晶炉侧保温屏，包括钼侧屏I，所述的钼侧屏I是采用钼材料制成的圆筒状保温层，具有耐高温，热反射性能好的优点。由于蓝宝石长晶炉的发热元件是设置在所述的钼侧屏I的中部，由于高温的原因钼材料会挥发，并且经过高温烧烤以后，钼材料会变脆，易损害，因此所述的钼侧屏I是一个经常更换的易损件。
[0012]因此，设置中内侧屏2。所述的中内侧屏2的直径小于所述的钼侧屏I的直径，将所述的中内侧屏2设置在所述的钼侧屏I内部的中部高温区。这样，在使用过程中，所述的中内侧屏2最容易损耗，因为面积减少到三分之一左右了，所以更换成本也大大降低。
[0013]为了固定，设置多个钼卡环3，将所述的中内侧屏2与所述的钼侧屏I连接。
【主权项】
1.采用复合结构的蓝宝石长晶炉侧保温屏，其特征在于：包括钼侧屏（1)和中内侧屏(2)，所述的中内侧屏(2)的直径小于所述的钼侧屏（1)的直径，所述的中内侧屏（2)设置在所述的钼侧屏（1)内部的中部高温区，所述的中内侧屏（2)通过钼卡环(3)与所述的钼侧屏(1)连接。
【专利摘要】本实用新型公开了一种采用复合结构的蓝宝石长晶炉侧保温屏，包括钼侧屏（1）和中内侧屏（2），所述的中内侧屏（2）的直径小于所述的钼侧屏（1）的直径，所述的中内侧屏（2）设置在所述的钼侧屏（1）内部的中部高温区，所述的中内侧屏（2）通过钼卡环（3）与所述的钼侧屏（1）连接。本实用新型可实现处于高温区的部件经常更换，避免整体更换侧保温屏，达到降低成本的效果。
【IPC分类】C30B17/00, C30B29/20
【公开号】CN205152394
【申请号】CN201520878992
【发明人】杜慧江, 胡轩, 刘瑜
【申请人】宁波晶工晶体科技有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年11月6日