一种ald炉台高效多晶硅热场改进的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型设及多晶娃热场结构，尤其是一种ALD炉台高效多晶娃热场改进。
【背景技术】
[0002] 随着不可再生的传统能源日趋减少，光伏新能源日益受到重视，其中多晶娃太阳 电池 W其较高的性价比占据了大部分的市场份额，提高多晶娃电池转换效率和降低制造成 本仍是光伏行业亟待解决了两大瓶颈；
[0003]多晶娃电池片的主体是多晶娃片。目前局效多晶娃片是多晶娃片的主流。制造局 效多晶娃片的关键是多晶娃铸锭环节，即使用高效多晶娃铸锭技术制造的多晶娃片。
[0004]作为决定多晶娃铸锭晶体生长均匀性的热场保溫结构，在多晶娃铸锭品质提高方 面潜力很大。 【实用新型内容】
[000引实用新型目的:针对上述问题，本实用新型的目的提供一种结构简单，侧壁保溫效 果好，热场只有纵向溫度梯度的ALD炉台高效多晶娃热场改进。
[0006] 技术方案：为了解决W上问题，本实用新型提供一种ALD炉台高效多晶娃热场改 进，包括设于相蜗外侧的石墨护板W及设于石墨护板外的热场，所述的石墨护板与热场之 间的空隙内填充保溫结构，所述保溫结构由层叠式的保溫层组成;本实用新型结构简单，通 过对在相蜗外侧石墨护板与热场之间的空隙中设置保溫结构；可改善侧壁保溫效果，实现 热场只有纵向溫度梯度。
[0007] 所述的保溫层为石墨硬拉或石墨软拉的一种或两种;保溫结构可由石墨硬拉或石 墨软拉单独层叠而成;也可由石墨硬拉或石墨软拉混合层叠而成。
[000引所述的保溫结构的高度为咏胖=压鹏± 10cm。
[0009] 有益效果:与现有技术相比，本实用新型具有W下优点：
[0010] 1.保溫效果好:通过对在相蜗外侧石墨护板与热场之间的空隙中设置保溫结构； 可改善侧壁保溫效果；
[0011] 2.铸锭效果好:本实用新型通过设置保溫结构可实现热场只有纵向溫度梯度，有 效提高铸锭品质。
【附图说明】
[0012] 图1为ALD普通热场示意图；
[001引图2为ALD热场改进结构示意图；
[0014] 图3为保溫结构示意图；
[0015] 其中：1.石墨护板、2.热场、3.保溫结构、31.保溫层。
【具体实施方式】
[0016] 下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。W下实施例 用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。"下"、"左"、"右"、"内"、"外"、 "前端"、"后端"、"头部"、"尾部"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关 系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须 具有特定的方位、W特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外， 术语"第一"、"第二"、"第Ξ"等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0017] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语"安 装"、"相连"、"连接"应做广义理解，例如，可W是固定连接，也可W是可拆卸连接，或一体地 连接;可W是机械连接，也可W是电连接;可W是直接相连，也可W通过中间媒介间接相连。 对于本领域的普通技术人员而言，可W具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含 义。
[0018] 如图2-3所示的一种ALD炉台高效多晶娃热场2改进，包括设于相蜗外侧的石墨护 板及设于石墨护板1外的热场2,所述的石墨护板1与热场2之间的空隙内填充保溫结构 3,所述保溫结构3由层叠式的保溫层31组成;所述的保溫层31为石墨硬拉或石墨软拉的一 种或两种;保溫结构3可由石墨硬拉或石墨软拉单独层叠而成;也可由石墨硬拉或石墨软拉 混合层畳而成;所述的保溫结构3的局度为咏肿=圧鹏± 10cm。
[0019] 实施例1
[0020] 如图2、图3所示，一种ALD炉台高效多晶娃热场2改进，包括设于相蜗外侧的石墨护 板及设于石墨护板1外的热场2,所述的石墨护板1与热场2之间的空隙内填充保溫结构 3,所述保溫结构3由层叠式的保溫层31组成，所述的保溫层31由石墨硬拉或石墨软拉混合 层叠而成;所述的保溫结构3的高度与石英相蜗相等。
[0021] 使用本实用新型与普通炉台（参见图1)在相同条件（投料量同为480kg，娃料组成 方案相同）下铸锭，使用本实用新型的实验锭与普通铸锭相比，铸锭晶体品质数据较优。
[0022] 晶体品质数据：
[0023]
[0024] 本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将 本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易 见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的 普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
【主权项】
1. 一种ALD炉台高效多晶硅热场（2)改进，包括设于坩埚外侧的石墨护板（1)以及设于 石墨护板（1)外的热场(2)，其特征在于:所述的石墨护板（1)与热场(2)之间的空隙内填充 保温结构(3)，所述保温结构(3)由层叠式的保温层(31)组成。2. 根据权利要求1所述的一种ADL炉台高效多晶硅热场(2)改进，其特征在于:所述的保 温层(31)为石墨硬毡或石墨软毡的一种或两种。3. 根据权利要求1所述的一种ALD炉台高效多晶硅热场(2)改进，其特征在于:所述的保 温结构（3)的高度为Η?牛=H_±10cm〇
【专利摘要】本实用新型提供一种ALD炉台高效多晶硅热场改进，包括设于坩埚外侧的石墨护板以及设于石墨护板外的热场，所述的石墨护板与热场之间的空隙内填充保温结构，所述保温结构由层叠式的保温层组成；本实用新型结构简单，通过对在坩埚外侧石墨护板与热场之间的空隙中设置保温结构；可改善侧壁保温效果，实现热场只有纵向温度梯度。
【IPC分类】C30B29/06, C30B28/06
【公开号】CN205241853
【申请号】CN201521023372
【发明人】宋江, 郭宽新, 张斌
【申请人】奥特斯维能源（太仓）有限公司
【公开日】2016年5月18日
【申请日】2015年12月11日