水冷式磁流体装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种水冷式磁流体装置，尤其是一种用于泡生法蓝宝石单晶炉晶体生长用的水冷磁流体装置。
【背景技术】
[0002]蓝宝石单晶炉是LED产业链中重要的晶体生长设备。目前，世界上用于蓝宝石单晶体生长的主流方法有以下几种:导模法、提拉法、热交换法和泡生法。泡生法在引晶、扩肩生长后的晶锭直径较大，有利于生长出大尺寸、低缺陷密度、高品质的蓝宝石单晶体，因此具有更大的优势。
[0003]泡生法是将一根受冷的籽晶与三氧化二铝熔液接触后熔化。当界面的温度低于凝固点，则籽晶开始生长，为了使籽晶晶体不断长大，需逐渐降低熔体的温度，同时旋转籽晶装置，以改善熔体的温度分布。当晶体生长到一定阶段时，须缓慢上提籽晶装置，以扩大散热面积。晶体生长过程中，炉体最高温度超过2000°C。为保证内部零部件不在高温下氧化及晶体的纯度，炉内需要为高真空环境。以保持在炉内无氧化性气体。当引晶和晶体生长初期，为了观察晶体生长情况，需要从观察窗处观察三氧化二铝液面附近情况，此时需要打开观察窗，当晶体生长到一定重量后，则无需观察，此时需要关闭观察窗，防止热量从观察窗逸出，晶体可以进行按照程序的自动生长。
[0004]由于设备在运行过程中，处于极高温度的高真空的环境内，当观察窗关闭时，观察窗遮挡片会直接受到高温辐射，温度升高，温度会接近2000°C，此时热量会传导到与其相连的转轴上，其转轴温度也会升高，当转轴的温度到达一定的程度后，有可能破坏密封，水冷式磁流体采用了水冷磁流体的转轴方式进行冷却，使磁流体的主要部位温度控制100°C以内完成了带动观察窗遮挡片的作用同时使磁流体的温度在一个合理的范围内。类似装置未见报道。
【发明内容】
[0005]发明目的:本实用新型的目的在于针对现有泡生法蓝宝石长晶炉的观察窗遮挡片旋转问题和运行时温度较高的问题，提供一种新型安全可靠的装置，解决了此问题。
[0006]技术方案:本实用新型所述的水冷式磁流体装置，包括壳体、磁流体转轴，所述磁流体转轴穿过所述壳体，所述磁流体转轴内设置有水冷通道，所述磁流体转轴的一端设置有旋转接头，所述旋转接头连通至所述水冷通道。
[0007]进一步地，所述磁流体转轴的另一端设置有单晶炉观察窗遮挡片。
[0008]进一步地，所述壳体将所述磁流体转轴分隔成常压侧和真空侧，旋转接头设置于所述磁流体转轴的常压端。
[0009]进一步地，所述的旋转接头为双通道旋转接头，所述磁流体转轴内设置的水冷通道设置有水冷通道入口与水冷通道出口，水冷通道入口与双通道旋转接头的双通道之一连通，水冷通道出口与双通道旋转接头的双通道的另一通道连通。
[0010]进一步地，所述磁流体转轴的水冷通道内还设置有套管，所述套管的一端为所述水冷通道入口。
[0011 ]进一步地，所述壳体内还设置有磁流体气密结构，所述磁流体气密结构环绕穿过所述壳体的磁流体转轴。
[0012]—种用于蓝宝石单晶炉的水冷式磁流体装置，包括水冷式磁流体、旋转接头、套管、视窗遮挡片。特征在于:
[0013]a)水冷式磁流体一一磁流体的转轴为水冷式；
[0014]b)旋转接头--------为高压双通道旋转接头；
[0015]c)套管---------为不锈钢材质的钢管；
[0016]d)观察窗遮挡片钼材质的装配件
[0017]在本实用新型方案中:通过磁流体将真空外部运动传递到真空内部的运动即带动观察窗遮挡片运动，来遮挡观察窗。水冷式磁流体为转轴为水冷，通过水冷却将磁流体的温度保持在合理的范围内。
[0018]本实用新型与现有技术相比，其有益效果是:水冷式磁流体为转轴为水冷，通过磁流体将真空外部运动传递到真空内部的运动即带动观察窗遮挡片运动，来遮挡观察窗。一般的水冷式磁流体为冷却外壳，不是直接冷却热源，本实用新型采用的磁流体水冷却转轴，直接冷却热源，效果好。而磁流体本身是真空环境动密封的非常优良的密封部件，故而整个装置效果良好。
【附图说明】
[0019]图1为本实用新型所述的水冷式磁流体装置示意图。
【具体实施方式】
[0020]下面对本实用新型技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。
[0021]实施例1:
[0022]如图一所示，整个装置分为磁流体转轴5、旋转接头1、壳体2、套管3、观察窗遮挡片4和磁流体气密结构6。
[0023]其中，磁流体转轴5穿过壳体2内的磁流体气密结构6，磁流体气密结构6将磁流体转轴5两侧分隔成常压侧和真空侧，双通道旋转接头I固定在壳体2的磁流体转轴5上的常压侧，套管3固定在双通道旋转接头I上，观察窗遮挡片4与水冷式磁流体装置的转轴真空侧固定，当设备运行时，可以通过控制磁流体转轴5的运动而控制观察窗遮挡片4的运动，而冷却水可以通过套管3，进入磁流体转轴5，再从双通道旋转接头I返回。
[0024]如上所述，尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本实用新型，但其不得解释为对本实用新型自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本实用新型的精神和范围前提下，可对其在形式上和细节上作出各种变化。
【主权项】
1.一种水冷式磁流体装置，其特征在于，包括壳体(2)、磁流体转轴(5)，所述磁流体转轴(5)穿过所述壳体(2)，所述磁流体转轴(5)内设置有水冷通道，所述磁流体转轴(5)的一端设置有旋转接头(I)，所述旋转接头(I)连通至所述水冷通道。2.根据权利要求1所述的水冷式磁流体装置，其特征在于，所述磁流体转轴(5)的另一端设置有单晶炉观察窗遮挡片(4)。3.根据权利要求1所述的水冷式磁流体装置，其特征在于，所述壳体(2)将所述磁流体转轴(5)分隔成常压侧和真空侧，所述旋转接头(I)设置于所述磁流体转轴(5)的常压侧。4.根据权利要求1所述的水冷式磁流体装置，其特征在于，所述的旋转接头(I)为双通道旋转接头，所述磁流体转轴(5)内设置的水冷通道设置有水冷通道入口与水冷通道出口，水冷通道入口与双通道旋转接头的双通道之一连通，水冷通道出口与双通道旋转接头的双通道的另一通道连通。5.根据权利要求4所述的水冷式磁流体装置，其特征在于，所述磁流体转轴(5)的水冷通道内还设置有套管(3)，所述套管(3)的一端为所述水冷通道入口。6.根据权利要求1所述的水冷式磁流体装置，其特征在于，所述壳体(2)内还设置有磁流体气密结构(6 )，所述磁流体气密结构(6)环绕穿过所述壳体(2)的磁流体转轴(5)。
【专利摘要】本实用新型公开一种水冷式磁流体装置，包括壳体、磁流体转轴，所述磁流体转轴穿过所述壳体，所述磁流体转轴内设置有水冷通道，所述磁流体转轴的一端设置有旋转接头，所述旋转接头连通至所述水冷通道。本实用新型水冷式磁流体为转轴为水冷，通过磁流体将真空外部运动传递到真空内部的运动即带动观察窗遮挡片运动，来遮挡观察窗。一般的水冷式磁流体为冷却外壳，不是直接冷却热源，本实用新型采用的磁流体水冷却转轴，直接冷却热源，效果好。而磁流体本身是真空环境动密封的非常优良的密封部件，故而整个装置效果良好。
【IPC分类】C30B29/20, C30B17/00
【公开号】CN205258657
【申请号】CN201521055208
【发明人】张洪涛, 宁斯琴, 毛瑞川, 李洪风
【申请人】南京晶升能源设备有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年12月17日