石英坩埚零点定位装置的制造方法

文档序号:10790998阅读:512来源:国知局
石英坩埚零点定位装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种石英坩埚零点定位装置,其特征在于:由垂直布置的导轨、设于导轨上的滑块、固定于滑块上的托架、固定于托架上的激光标线仪组成,所述托架上设有用于支撑激光标线仪的水平支撑板,所述激光标线仪的轴心线与水平支撑板平行,所述托架、滑块和导轨利用锁紧螺杆锁紧,所述导轨两端分别设有固定孔,所述激光标线仪的控制线与PLC控制器相连。其保证了熔制过程中电极位置始终有显示,保证了坩埚一致性。
【专利说明】
石英坩埚零点定位装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种生产石英坩祸过程中使用到的石英坩祸零点定位装置。
【背景技术】
[0002]石英坩祸是用高纯石英经过高温熔化形成的一种玻璃态器皿,在生产单晶硅的过程中是不可替代的容器。随着太阳能行业发展对坩祸质量要求也越来越高,由原来的每只坩祸只拉一根单晶棒,到现在每只坩祸需拉2-3根单晶棒,这就对坩祸内表面真空层要求较高,真空法石英坩祸真空层形成好坏主要靠熔制前2-3分钟,电极位置高低是真空层形成好坏的决定性因素,但现有坩祸制造机前期熔制过程中电极位置完全凭借工人经验来进行熔制,人为误差大,增加了工人在操作过程中的心理负担,对工人的专业水平有较高要求。

【发明内容】

[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种熔制过程中电极位置始终有显示、保证坩祸一致性的石英坩祸零点定位装置。
[0004]本实用新型的技术方案是:
[0005]—种石英坩祸零点定位装置,其特征在于:由垂直布置的导轨、设于导轨上的滑块、固定于滑块上的托架、固定于托架上的激光标线仪组成,所述托架上设有用于支撑激光标线仪的水平支撑板,所述激光标线仪的轴心线与水平支撑板平行,所述托架、滑块和导轨利用锁紧螺杆锁紧,所述导轨两端分别设有固定孔,所述激光标线仪的控制线与PLC控制器相连。
[0006]上述的石英坩祸零点定位装置,所述托架、滑块和导轨上分别对应设有同心的锁紧螺纹孔。
[0007]上述的石英坩祸零点定位装置,所述托架的水平支撑板上设有用于固定激光标线仪的固定套,所述固定套呈拱形,两端设有螺纹孔。
[0008]上述的石英坩祸零点定位装置,所述托架呈T形且T形底面与滑块利用螺栓连接固定。
[0009]本实用新型的有益效果是:每次熔制坩祸前清零一次,即调整电极高度,当标线仪打到电极头时停止调整,熔制操作台显示主机上带动电极升降的滑板位置为零,保证每只坩祸电极走位数值一样,进而保证坩祸的质量稳定性;保证整个熔制过程中每一步电极位置都受控,避免每组电极之间电极损耗带来的影响和不同型号之间位置变化后的影响,很好保证了坩祸质量和合格率。
【附图说明】
[00?0]图1是本实用新型的结构不意图;
[0011]图2是图1的俯视图。
[0012]图中:1.导轨、2.固定孔、3.托架、301.水平支撑板、302.T形底面、4.螺栓、5.锁紧螺杆、6.激光标线仪、7.固定套、8.滑块、9.控制线。
【具体实施方式】
[0013]如图所示,该石英坩祸零点定位装置,由垂直布置的导轨1、设于导轨I上的滑块8、固定于滑块8上的托架3、固定于托架3上的激光标线仪6组成。所述托架3上设有用于支撑激光标线仪6的水平支撑板301,本实施例中,所述托架3呈T形且T形底面302与滑块8利用螺栓4连接固定。所述激光标线仪6的轴心线与水平支撑板301平行,所述托架3的水平支撑板301上设有用于固定激光标线仪6的固定套7,所述固定套7呈拱形,两端设有螺纹孔。所述托架
3、滑块8和导轨I利用锁紧螺杆5锁紧,所述托架3、滑块8和导轨I上分别对应设有同心的锁紧螺纹孔。所述激光标线仪6的控制线9与PLC控制器(图中省略)相连,通过PLC控制器监测主机上带动电极升降的滑板位置。所述导轨I两端分别设有固定孔2,使用时,导轨I利用固定孔2固定在熔制炉隔音壁上。
[0014]工作时,调整滑块8的高度使之与水套上口平行,利用锁紧螺杆5将滑块8锁紧在导轨I上,此时调整电极高度,当激光标线仪6射线打到电极头时PLC控制器控制主机上带动电极升降的滑板停止运动,按下零点定位按钮,此时熔制操作台显示滑板位置为零,熔制过程完全执行熔制工艺来进行操作,当电极燃烧到最后一只时进行一定量补位,进而保证坩祸的质量稳定性。
【主权项】
1.一种石英坩祸零点定位装置,其特征在于:由垂直布置的导轨、设于导轨上的滑块、固定于滑块上的托架、固定于托架上的激光标线仪组成,所述托架上设有用于支撑激光标线仪的水平支撑板,所述激光标线仪的轴心线与水平支撑板平行,所述托架、滑块和导轨利用锁紧螺杆锁紧,所述导轨两端分别设有固定孔,所述激光标线仪的控制线与PLC控制器相连。2.根据权利要求1所述的石英坩祸零点定位装置,其特征在于:所述托架、滑块和导轨上分别对应设有同心的锁紧螺纹孔。3.根据权利要求1所述的石英坩祸零点定位装置,其特征在于:所述托架的水平支撑板上设有用于固定激光标线仪的固定套,所述固定套呈拱形,两端设有螺纹孔。4.根据权利要求1所述的石英坩祸零点定位装置,其特征在于:所述托架呈T形且T形底面与滑块利用螺栓连接固定。
【文档编号】C03B20/00GK205473350SQ201620322841
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年4月14日
【发明人】王震, 孙兴旺
【申请人】锦州佑鑫电子材料有限公司
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