一种二次加料器的加料筒的制作方法

文档序号:10904020阅读:435来源:国知局
一种二次加料器的加料筒的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及单晶炉的二次加料装置领域,特别是一种二次加料器的加料筒。一种二次加料器的加料筒,包括筒套和通气法兰盘,还包括上定位环和下定位环,上定位环设置在筒套的顶端,下定位环位于筒套下部,通气法兰盘箍在筒套的上部,上定位环和下定位环的中心处都留有通孔且都在筒套的中轴位置。利用本实用新型可以实现二次加料,提高石英坩埚的容积率,降低生产单晶硅的生产成本。
【专利说明】
一种二次加料器的加料筒
技术领域
[0001]本实用新型涉及单晶炉的二次加料装置领域,特别是一种二次加料器的加料筒。
【背景技术】
[0002]单晶硅的拉制的一般方法有区熔法和直拉法,直拉法是生产单晶硅的主要方法,把原料多硅晶块放入石英坩祸中,在单晶炉中加热融化,在将一根直径只有1mm的晶种浸入溶液中,在合适的温度下,溶液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶,成为单晶体。把晶种微微的旋转向上提升,溶液中的硅原子会在前面形成的单晶体上继续结晶,并延续其原子的排列结构。直拉法的其工艺步骤包括:清炉、装料、化料、稳定、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、冷却十个环节。其中在装料和化料的过程中,由于多晶硅是块状的,料块之间存在间隙,在多晶硅化为液体之后,石英坩祸上部仍有一部分空间,为提高石英坩祸的利用率,多采用二次加料的方式来提高石英坩祸容积率,为此设计实用高效的加料设备有很大的经济意义。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种新型的二次加料筒,提高石英坩祸的利用率,提高生产效率。
[0004]为了实现上述目的,本实用新型所采取的技术手段是:
[0005]—种二次加料器的加料筒,包括筒套和通气法兰盘,还包括上定位环和下定位环,上定位环设置在筒套的顶端,下定位环位于筒套下部,通气法兰盘箍在筒套的上部,上定位环和下定位环的中心处都留有通孔且都在筒套的中轴位置。
[0006]所述的一种二次加料器的加料筒,还包括固定圈,固定圈箍在筒套的底部。
[0007]所述的一种二次加料器的加料筒,下定位环位于筒套底口往上100_200mm处。
[0008]所述的一种二次加料器的加料筒,通气法兰盘上均匀分布有16个直径18mm的通气孔。
[0009 ]所述的一种二次加料器的加料筒,加料筒的底部内沿呈31度倒角。
[0010]所述的一种二次加料器的加料筒,上定位环、下定位环和通气法兰盘的中心处的通孔直径为18mm。
[0011]所述的一种二次加料器的加料筒,上定位环和下定位环分别为条状结构且焊接在加料筒的内壁上。
[0012]本实用新型的有益效果是:加料筒采用不锈钢材质,经久耐用,损耗较少,节约成本。通气法兰盘,设计有16个均匀分布的通气孔,保证加料时氩气能够顺利的流通,同时使加料筒内各处的压强均匀。加料筒底部的固定圈保证加料筒不易变形,加料筒底部内沿的设计,将线接触改为了面接触,防止错位影响生产效率同时减少了设备碰撞时的损耗。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型的结构示意图。
[0014]图2是本实用新型的俯视图。
[00?5]图3是K处的局部示意图。
[0016]图中,1、筒套,2、上定位环,3、下定位环,4、通气法兰盘,5、固定圈。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步说明。
[0018]具体实施例,如图1、图2和图3所示,一种二次加料器的加料筒,包括筒套1、上定位环2、下定位环3和通气法兰盘4,上定位环2设置在筒套I的顶端,下定位环3位于筒套I底口往上100-200mm处,通气法兰盘4箍在筒套I的上部,上定位环2和下定位环3的中心处都留有直径为18mm的通孔且在一条直线上。
[0019]所述的一种二次加料器的加料筒,还包括固定圈5,固定圈5为高20mm厚6mm的不锈钢材质的环形结构,箍在筒套I的底部,保证加料筒底部不易变形。
[0020]所述的一种二次加料器的加料筒,筒套I为不锈钢材质,经久耐用,损耗较少,节约成本。
[0021]所述的一种二次加料器的加料筒,通气法兰盘4上均匀分布有16个直径18mm的通气孔,保证加料时氩气能够顺利的流通,使加料筒内各处的压强均匀,同时减轻加料器的总重量。
[0022]所述的一种二次加料器的加料筒,加料筒的底部内沿呈31度倒角,将线接触改为了面接触,防止错位影响生产效率同时减少了设备碰撞时的损耗。
[0023]所述的一种二次加料器的加料筒,上定位环2和下定位环3分别为条状结构且焊接在加料筒I的内壁上。
[0024]加料时将二次加料器从单晶炉的加料口放入,在下降过程中,加料器的通气法兰盘4卡在加料口上,通气孔可保证氩气流通顺畅,上下定位环保证内部装置固定在某一位置。
【主权项】
1.一种二次加料器的加料筒,包括筒套(I)和通气法兰盘(4),其特征在于:还包括上定位环(2)和下定位环(3),上定位环(2)设置在筒套(I)的顶端,下定位环(3)位于筒套(I)下部,通气法兰盘(4)箍在筒套(I)的上部,上定位环(2)和下定位环(3)的中心处都留有通孔且都在筒套(I)的中轴位置。2.根据权利要求1所述的一种二次加料器的加料筒,其特征在于:还包括固定圈(5),固定圈(5)箍在筒套(I)的底部。3.根据权利要求1所述的一种二次加料器的加料筒,其特征在于:下定位环(3)位于筒套(I)底口往上100-200mm处。4.根据权利要求1所述的一种二次加料器的加料筒,其特征在于:通气法兰盘(4)上均勾分布有16个直径18mm的通气孔。5.根据权利要求1所述的一种二次加料器的加料筒,其特征在于:加料筒的底部内沿呈31度倒角。6.根据权利要求1所述的一种二次加料器的加料筒,其特征在于:上定位环(2)、下定位环(3)和通气法兰盘(4)的中心处的通孔直径为18mm。7.根据权利要求1所述的一种二次加料器的加料筒,其特征在于:上定位环(2)和下定位环(3)分别为条状结构且焊接在筒套I)的内壁上。
【文档编号】C30B15/02GK205590833SQ201620382654
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年4月29日
【发明人】张晓朋, 赵会刚, 李德建, 李朝阳
【申请人】河北宁通电子材料有限公司
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