一种新型氮气干燥罐的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种新型氮气干燥罐，其特征在于：由罐体及螺旋盘管构成，在罐体的下部制有氮气入口，在罐体的上部制有氮气出口，在罐体内安装螺旋盘管，螺旋盘管的两端伸出至罐体上部，螺旋盘管的一端为液氮入口，另一端为液氮出口。本新型氮气干燥罐，结构设计科学合理，氮气通入螺旋盘管，盘管外通入液氮，用液氮对氮气进行冷却，露点降低，水凝结后，氮气实现干燥；本干燥罐的结构紧凑，体积小巧，易于加工，可实现氮气快速高效冷却。
【专利说明】
一种新型氮气干燥罐
技术领域
[0001]本实用新型属于硅晶片生产设备领域，特别是一种新型氮气干燥罐。
【背景技术】
[0002]半导体生产中的扩散工艺流程在半导体的生产过程中，晶圆的扩散是一道非常重要的工序，一般在扩散炉内完成，具体的工艺流程如下:在推拉舟的托盘上，事先放置需要扩散的晶圆，通过推拉装置将其送入到扩散炉内。再向扩散炉内注入足够的氮气或氧气，保证扩散炉内部处于正压状态。按照既定的温度工艺曲线，升高扩散炉内的温度直到特定的温度值，此时同样要保证扩散炉内部处于恒温的状态。在保持扩散炉内部处于特定恒温状态的前提下，将各种所要掺杂的气体注入到扩散炉内。保持扩散炉内部温度恒定，扩散一定的时间之后，按照既定的温度曲线对扩散炉内部进行降温处理。在整个掺杂的过程中，要保证扩散炉炉体内部处于一个特定的恒温区，才能使晶圆得到充分而均匀的扩散。
[0003]扩散前对于氮气的干燥步骤也是必须的，采用常规的冷凝装置存在体积大，冷却速度慢，效率低，实用性查的问题。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种专用于半导体扩散前部氮气干燥的新型氮气干燥罐，其可与扩散炉的氮气入口连接，实现氮气在线高效干燥。
[0005]本实用新型解决其技术问题是通过以下技术方案实现的:
[0006]—种新型氮气干燥罐，其特征在于:由罐体及螺旋盘管构成，在罐体的下部制有氮气入口，在罐体的上部制有氮气出口，在罐体内安装螺旋盘管，螺旋盘管的两端伸出至罐体上部，螺旋盘管的一端为液氮入口，另一端为液氮出口。
[0007]而且，所述的螺旋盘管由6-8圈直径为70-90mm的内层盘管、8-10圈直径为I ΙΟ-? 20mm 的中层盘管及 10-12 圈直径为120-135mm 的外层盘管构成。
[0008]而且，所述的氮气出口连接有出口弯管，出口弯管端部制有喇叭形出口。
[0009]而且，所述的罐体轴向长度为130_160mm，直径为140-150mm。
[0010]本实用新型的优点和有益效果为:
[0011 ] 1、本新型氮气干燥罐，结构设计科学合理，氮气通入螺旋盘管，盘管外通入液氮，用液氮对氮气进行冷却，露点降低，水凝结后，氮气实现干燥;本干燥罐的结构紧凑，体积小巧，易于加工，可实现氮气快速高效冷却。
[0012]2、本新型氮气干燥罐，螺旋盘管由6-8圈直径为70-90mm的内层盘管、8-10圈直径为110-120mm的中层盘管及10-12圈直径为120-135mm的外层盘管构成，充分利用罐体内空间，实现小空间内的高传热效率。
[0013]3、本新型氮气干燥罐，氮气出口连接有出口弯管，出口弯管端部制有喇叭形出口，可直接与扩散炉的氮气入口进行连接安装，具有重量轻，安装简便，适配性强的优点。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型的结构不意图；
[0015]图2为图1的A-A向剖视图。
[0016]附图标注说明:
[0017]1-氮气入口、2-罐体、3-螺旋盘管、4-液氮出口、5-氮气出口、6_出口弯管、7_喇叭形出口、8_外层盘管、9-中层盘管、10-内层盘管、11-液氮入口。
【具体实施方式】
[0018]下面通过具体实施例对本实用新型作进一步详述，以下实施例只是描述性的，不是限定性的，不能以此限定本实用新型的保护范围。
[0019]—种新型氮气干燥罐，其由罐体2及螺旋盘管3构成，在罐体的下部制有氮气入口I，在罐体的上部制有氮气出口 5，在罐体内安装螺旋盘管，螺旋盘管的两端伸出至罐体上部，螺旋盘管的一端为液氮入口 11，另一端为液氮出口 4，罐体轴向长度为130-160mm，直径为140-150mm。氮气通入螺旋盘管，盘管外通入液氮，用液氮对氮气进行冷却，露点降低，水凝结后，氮气实现干燥。螺旋盘管由6-8圈直径为70-90mm的内层盘管1、8_10圈直径为110-120mm的中层盘管9及10-12圈直径为120-135mm的外层盘管8构成，充分利用罐体内空间，实现小空间内的高传热效率。氮气出口连接有出口弯管6，出口弯管端部制有喇叭形出口7，可直接与扩散炉的氮气入口进行连接安装，重量轻，安装简便，适配性强。
[0020]尽管为说明目的公开了本实用新型的实施例和附图，但是本领域的技术人员可以理解:在不脱离本实用新型及所附权利要求的精神和范围内，各种替换、变化和修改都是可能的，因此，本实用新型的范围不局限于实施例和附图所公开的内容。
【主权项】
1.一种新型氮气干燥罐，其特征在于:由罐体及螺旋盘管构成，在罐体的下部制有氮气入口，在罐体的上部制有氮气出口，在罐体内安装螺旋盘管，螺旋盘管的两端伸出至罐体上部，螺旋盘管的一端为液氮入口，另一端为液氮出口。2.根据权利要求1所述的一种新型氮气干燥罐，其特征在于:所述的螺旋盘管由6-8圈直径为70-90mm的内层盘管、8-10圈直径为110-120mm的中层盘管及10-12圈直径为120-135mm的外层盘管构成。3.根据权利要求1所述的一种新型氮气干燥罐，其特征在于:所述的氮气出口连接有出口弯管，出口弯管端部制有喇叭形出口。4.根据权利要求1所述的一种新型氮气干燥罐，其特征在于:所述的罐体轴向长度为130-160mm，直径为 140-150mm。
【文档编号】B01D53/26GK205687556SQ201620617049
【公开日】2016年11月16日
【申请日】2016年6月17日 公开号201620617049.6, CN 201620617049, CN 205687556 U, CN 205687556U, CN-U-205687556, CN201620617049, CN201620617049.6, CN205687556 U, CN205687556U
【发明人】周万群, 周雪峰
【申请人】旭丰（天津）电子设备有限公司